[發(fā)明專利]一種雙向聚焦質(zhì)量分析器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811357795.6
• 申請(qǐng)日: 2018-11-15
• 公開（公告）號(hào): CN111190215B
• 公開（公告）日: 2022-02-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張喻召;肖志強(qiáng);李士會(huì)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): G01T1/29
• 分類號(hào): G01T1/29
• 代理公司: 長沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 43113
• 代理人: 馬強(qiáng)

1.一種雙向聚焦質(zhì)量分析器，包括：磁軛(1)、磁極(2)、線圈(3)、磁屏蔽板(4)、真空盒(5)，質(zhì)量分析器采用扇形磁極曲面、偏轉(zhuǎn)角度φ為90°，在雙向聚焦質(zhì)量分析器入口和出口處有磁屏蔽板，防止磁場泄露引起的束流軌跡偏移，其特征在于：質(zhì)量分析器磁極半徑R為400mm，磁極間距D為50mm，焦距為83mm，質(zhì)量分析器的質(zhì)量分辨率為125，磁極曲面夾角為34.84°，束流垂直真空盒入射時(shí)，離子束的入射角度和出射角度均為27.58度，磁極邊緣場效應(yīng)使水平方向出射的離子束焦點(diǎn)在一個(gè)位置，且使豎直方向出射的離子束平行。

2.如權(quán)利要求1所述的一種雙向聚焦質(zhì)量分析器，其特征在于，雙向聚焦作用的焦距為83mm。

3.如權(quán)利要求1所述的一種雙向聚焦質(zhì)量分析器，其特征在于，在半徑比較小的情況下，在出、入射束流尺寸小于1.8mm時(shí)，質(zhì)量分辨率m/Δm為125，即小體積，大分辨率。

4.如權(quán)利要求1所述的一種雙向聚焦質(zhì)量分析器，其特征在于，在真空盒入口和出口處有磁屏蔽板，屏蔽板位置距離磁極邊緣距離為D＝50mm，可有效防止磁場泄漏引起的束流軌跡偏移。