[發明專利]有機物沉積裝置以及利用此的有機物沉積方法

在審

• 申請號: 201811357355.0
• 申請日: 2018-11-15
• 公開（公告）號: CN110117770A
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發明（設計）人: 李侑鐘;許明洙;鄭成鎬;韓尚辰;姜有珍;徐敏逵;韓種馩
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/12
• 分類號: C23C14/12;C23C14/24
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 孫昌浩;李盛泉

本發明公開一種有機物沉積裝置以及利用此的有機物沉積方法。本發明的有機物沉積裝置設置于真空腔室內，并包括：沉積物質供應部；容器部，存儲從沉積物質供應部供應的沉積物質；氣化部，在內部設置有使沉積物質氣化的第一加熱器；移送部，結合于容器部，借助直線往復運動而將容器部移送至所述氣化部的內部；以及噴嘴部，與氣化部分離布置，且借助連接管而與氣化部連通，并具有向基板噴射沉積物質的通道。

技術領域

本發明涉及一種有機物沉積裝置以及利用此的有機物沉積方法。

背景技術

通常，顯示裝置可以用于智能電話、膝上型計算機、數碼相機、便攜式攝像機、便攜式信息終端、筆記本電腦、平板個人電腦等的移動設備或者手表(watch)、臺式計算機、電視機、室外廣告牌、展示用顯示裝置、汽車用儀表板、平視顯示器(HUD；Head Up Display)等的電子裝置。

最近，上市了更加纖薄化的顯示裝置。

柔性顯示裝置(flexible display device)易于攜帶，且可以應用于多種形狀的裝置。其中，基于有機發光顯示技術的顯示裝置是最具影響力的柔性顯示裝置。

在配備于顯示裝置的基板上可以形成有多個薄膜層。薄膜層可以通過多種方法形成。例如，薄膜層可以通過向沉積物質施加預定的熱的熱蒸發(thermal evaporation)法而形成。但是，當沉積物質在長期暴露于氣化或升華溫度以上時，可能導致沉積物質變性。因此，在實現高速的成膜工序時存在限制。

發明內容

本發明的實施例的目的在于提供一種有機物沉積裝置和利用此的有機物沉積方法。

根據本發明的一方面的有機物沉積裝置設置于真空腔室內，并包括：至少一個沉積物質供應部；容器部，存儲從所述沉積物質供應部供應的至少一個沉積物質；氣化部，在內部設置有使所述沉積物質氣化的第一加熱器；移送部，結合于所述容器部，借助直線往復運動而將所述容器部移送至所述氣化部的內部；以及噴嘴部，與所述氣化部分離布置，且借助連接管而與所述氣化部連通，并具有向基板噴射沉積物質的通道。

一實施例中，在所述氣化部可以布置有使所述容器部進入的投入口，在所述移送部結合有密封板，所述密封板可以在移送所述容器部時位于所述投入口而將氣化部的內部封閉。

一實施例中，在所述氣化部、連接管、噴嘴部的內部或外部可以布置有第二加熱器，以防止氣化的沉積物質沉積在所述氣化部、連接管、噴嘴部的內部，施加到所述第一加熱器的溫度可以與施加到第二加熱器的溫度相同或高于施加到第二加熱器的溫度。

一實施例中，在所述連接管可以設置有開關閥，所述開關閥連接于感測沉積在所述基板上的沉積物質的量的傳感器，從而根據沉積量開閉所述連接管的通道，并且，設置有旁通管，所述旁通管與所述連接管連通，并具有開閉旁通管的通道的旁通閥，以將殘留于所述連接管的通道的沉積物質排出到外部。

一實施例中，在所述腔室的外部還可以設置有向所述沉積物質供應部供應沉積物質的外部供應裝置，在所述外部供應裝置配備有存儲所述沉積物質的存儲容器，在所述沉積物質供應部與存儲容器之間設置有閘閥，所述閘閥將向沉積物質供應部供應所述沉積物質的通道開閉。

根據本發明的另一方面的有機物沉積裝置設置于真空腔室內，并包括：多個沉積物質供應部；多個容器部，存儲從所述沉積物質供應部供應的多個沉積物質；氣化部，在內部設置有使所述沉積物質氣化的第一加熱器；移送部，安裝有所述容器部，并借助于旋轉及升降運動而使多個所述容器部中的任意一個容器部被移送至所述氣化部的內部；以及噴嘴部，與所述氣化部分離布置，且借助連接管而與所述氣化部連通，并具有向基板噴射沉積物質的通道。

一實施例中，所述移送部可以包括轉臺，在所述移送部的下部設置有使所述移送部旋轉及升降的驅動部，所述多個容器部沿著所述移送部的圓周方向而相隔布置，所述多個沉積物質供應部分別位于多個容器部上，所述氣化部位于所述容器部中的某一個容器部上。