[發明專利]有機物沉積裝置以及利用此的有機物沉積方法

在審

• 申請號: 201811357355.0
• 申請日: 2018-11-15
• 公開（公告）號: CN110117770A
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發明（設計）人: 李侑鐘;許明洙;鄭成鎬;韓尚辰;姜有珍;徐敏逵;韓種馩
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/12
• 分類號: C23C14/12;C23C14/24
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 孫昌浩;李盛泉

1.一種有機物沉積裝置，設置于真空腔室內，其中，包括：

至少一個沉積物質供應部；

容器部，存儲從所述沉積物質供應部供應的至少一個沉積物質；

氣化部，在內部設置有使所述沉積物質氣化的第一加熱器；

移送部，結合于所述容器部，借助直線往復運動而將所述容器部移送至所述氣化部的內部；以及

噴嘴部，與所述氣化部分離布置，且借助連接管而與所述氣化部連通，并具有向基板噴射沉積物質的通道。

2.如權利要求1所述的有機物沉積裝置，其中，

在所述氣化部布置有使所述容器部進入的投入口，

在所述移送部結合有密封板，所述密封板在移送所述容器部時位于所述投入口而將氣化部的內部封閉。

3.如權利要求1所述的有機物沉積裝置，其中，

在所述氣化部、連接管、噴嘴部的內部或外部布置有第二加熱器，以防止被氣化的沉積物質沉積在所述氣化部、連接管、噴嘴部的內部，

施加到所述第一加熱器的溫度與施加到第二加熱器的溫度相同或高于施加到第二加熱器的溫度。

4.如權利要求1所述的有機物沉積裝置，其中，

在所述連接管設置有開關閥，所述開關閥連接于感測沉積在所述基板上的沉積物質的量的傳感器，從而根據沉積量開閉所述連接管的通道，

并且，設置有旁通管，所述旁通管與所述連接管連通，并具有開閉旁通管的通道的旁通閥，以將殘留于所述連接管的通道的沉積物質排出到外部。

5.如權利要求1所述的有機物沉積裝置，其中，

在所述腔室的外部還設置有向所述沉積物質供應部供應沉積物質的外部供應裝置，

在所述外部供應裝置配備有存儲所述沉積物質的存儲容器，

在所述沉積物質供應部與存儲容器之間設置有閘閥，所述閘閥將向沉積物質供應部供應所述沉積物質的通道開閉。

6.一種有機物沉積裝置，設置于真空腔室內，其中，包括：

多個沉積物質供應部；

多個容器部，存儲從所述沉積物質供應部供應的多個沉積物質；

氣化部，在內部設置有使所述沉積物質氣化的第一加熱器；

移送部，安裝有所述容器部，并借助于旋轉及升降運動而使所述多個容器部中的任意一個容器部被移送至所述氣化部的內部；以及

噴嘴部，與所述氣化部分離布置，且借助連接管而與所述氣化部連通，并具有向基板噴射沉積物質的通道。

7.如權利要求6所述的有機物沉積裝置，其中，

所述移送部包括轉臺，在所述移送部的下部設置有使所述移送部旋轉及升降的驅動部，

所述多個容器部沿著所述移送部的圓周方向而相隔布置，

所述多個沉積物質供應部分別位于多個容器部上，

所述氣化部位于所述容器部中的某一個容器部上。

8.如權利要求6所述的有機物沉積裝置，其中，

在所述氣化部布置有使所述容器部進入的投入口，

在所述容器部的下端結合有密封板，所述密封板在移送所述容器部時位于所述投入口而將所述氣化部的內部封閉。

9.如權利要求6所述的有機物沉積裝置，其中，

在所述連接管設置有開關閥，所述開關閥連接于感測沉積在所述基板上的沉積物質的量的傳感器，從而根據沉積量開閉所述連接管的通道，

并且，設置有旁通管，所述旁通管與所述連接管連通，并具有開閉旁通管的通道的旁通閥，以將殘留于所述連接管的通道的沉積物質排出到外部。

10.一種有機物沉積方法，包括如下步驟：

從至少一個沉積物質供應部向容器部供應至少一個沉積物質；

使結合于移送部的容器部進行直線往復運動，從而將所述容器部通過氣化部的投入口移送至氣化部的內部；

將設置于所述氣化部的內部的第一加熱器加熱而使沉積物質氣化；以及使氣化的沉積物質通過彼此分離布置的氣化部與噴嘴部之間的連接管而流動，并通過所述噴嘴部噴射，從而沉積在基板上。