[發明專利]一種管式PECVD石墨舟結構

有效

• 申請號: 201811354016.7
• 申請日: 2018-11-14
• 公開（公告）號: CN109524336B
• 公開（公告）日: 2020-09-18
• 發明（設計）人: 肖潔;吳德軼;成秋云;張春成
• 申請（專利權）人: 湖南紅太陽光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L31/18
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙) 43008
• 代理人: 周長清;戴玲

1.一種管式PECVD石墨舟結構，其特征在于：包括陶瓷基座(200)、兩個舟片鎖緊盤組件(300)、兩個陶瓷固定環(400)、石墨棒(500)和多個舟片(100)，所述舟片鎖緊盤組件(300)包括陶瓷絕緣盤(310)和石墨導電盤(320)，所述石墨導電盤(320)上沿周向設有多個卡槽(321)和多個第一導電槽(322)，所述卡槽(321)與第一導電槽(322)均勻交錯布置，所述陶瓷絕緣盤(310)上設有多個卡齒(311)，所述卡齒(311)與卡槽(321)的數量相等，且卡齒(311)可與卡槽(321)配合，所述卡齒(311)上設有第二導電槽(312)，兩個舟片鎖緊盤組件(300)固定在陶瓷基座(200)的前后兩端，且前端的第一導電槽(322)與后端的第二導電槽(312)位于同一直線上，所述石墨棒(500)穿設于陶瓷基座(200)內，且石墨棒(500)前端與前端的石墨導電盤(320)之間絕緣連接，石墨棒(500)后端與后端的石墨導電盤(320)之間為導電連接，所述石墨棒(500)的前端具有第一電極孔(501)，所述石墨導電盤(320)上設有第二電極孔(301)，所述陶瓷固定環(400)具有開口，兩個陶瓷固定環(400)的通過各自的開口分別固定在陶瓷基座(200)兩端，且陶瓷固定環(400)的直徑大于石墨導電盤(320)的直徑，所述陶瓷基座(200)上設有安裝柱面(210)，所述安裝柱面(210)上設有多個周向均勻布置的舟片安裝槽(211)，所述陶瓷固定環(400)上設有多個固定槽(401)，所述舟片(100)可沿軸向插入舟片安裝槽(211)內，所述舟片(100)前端同時卡在前端的第一導電槽(322)和陶瓷固定環(400)的固定槽(401)內，所述舟片(100)的后端同時卡在后端的第二導電槽(312)和陶瓷固定環(400)的固定槽(401)內。

2.根據權利要求1所述的管式PECVD石墨舟結構，其特征在于：沿著陶瓷基座(200)的軸向設有多個陶瓷連接環(600)，所述陶瓷連接環(600)具有開口，所述陶瓷連接環(600)依次穿過各舟片(100)，并通過開口的兩端固定在陶瓷基座(200)上，所述陶瓷連接環(600)的直徑大于石墨導電盤(320)的直徑。

3.根據權利要求1所述的管式PECVD石墨舟結構，其特征在于：所述舟片(100)的每一面設有多組用于卡住硅片的卡點(101)，各組卡點(101)沿軸向均勻布置，每組卡點(101)包括三個卡點(101)，一個卡點(101)位于一端，另外兩個卡點(101)位于另一端，且三個卡點(101)之間形成等腰三角形結構，在舟片(100)安裝在陶瓷基座(200)上之后，具有一個卡點(101)的一端位于外側。

4.根據權利要求1至3任意一項所述的管式PECVD石墨舟結構，其特征在于：所述舟片安裝槽(211)為T形槽，且T形槽的豎槽(2111)朝外，所述舟片(100)上設有可與T形槽的橫槽(2112)配合的凸條(102)。

5.根據權利要求1至3任意一項所述的管式PECVD石墨舟結構，其特征在于：所述石墨導電盤(320)具有臺階孔(323)，所述石墨棒(500)的前端穿設在臺階孔(323)內，且二者之間設有絕緣凸環(220)，所述絕緣凸環(220)固定在這一端的陶瓷基座(200)上。

6.根據權利要求5所述的管式PECVD石墨舟結構，其特征在于：所述石墨棒(500)的后端與這一端的石墨導電盤(320)的臺階孔(323)的臺階相抵接。

7.根據權利要求1至3任意一項所述的管式PECVD石墨舟結構，其特征在于：所述陶瓷基座(200)為倒V字形結構。

8.根據權利要求1至3任意一項所述的管式PECVD石墨舟結構，其特征在于：所述陶瓷固定環(400)的圓心角大于180°。