[發明專利]膜層的制作方法、顯示基板及其制作方法與設備

有效

• 申請號: 201811353103.0
• 申請日: 2018-11-14
• 公開（公告）號: CN109546011B
• 公開（公告）日: 2021-04-23
• 發明（設計）人: 王世龍;蔣志亮;郜明浩
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L51/52;H01L33/52
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 焦玉恒

一種膜層的制作方法、顯示基板及其制作方法以及制作顯示基板的設備。膜層的制作方法包括：在基板上形成有機層，其中，有機層包括平坦部和位于平坦部周圍的斜坡部；對平坦部加熱以使平坦部的材料向斜坡部流動，從而斜坡部的靠近平坦部的一部分的厚度與平坦部的厚度相同以增加平坦部的平行于基板的方向的尺寸。本公開實施例提供的膜層制作方法可以減小斜坡部的平行于基板的方向的尺寸，從而有利于在保證有機層厚度均一性的同時減小有機層的厚度。

技術領域

本公開至少一個實施例涉及一種膜層的制作方法、顯示基板及其制作方法以及制作顯示基板的設備。

背景技術

在薄膜封裝工藝中，薄膜封裝層中的有機層的一個重要的作用就是平坦化。采用噴墨打印方法制作的有機層的平坦化程度會影響顯示裝置的顯示質量。

發明內容

本公開的至少一實施例提供一種膜層的制作方法、顯示基板及其制作方法以及制作顯示基板的設備。

本公開的至少一實施例提供一種膜層的制作方法，包括：在基板上形成有機層，其中，所述有機層包括平坦部和位于所述平坦部周圍的斜坡部；對所述平坦部加熱以使所述平坦部的材料向所述斜坡部流動，從而所述斜坡部的靠近所述平坦部的一部分的厚度與所述平坦部的厚度相同以增加所述平坦部的平行于所述基板的方向的尺寸。

在一些示例中，所述有機層的材料為在加熱狀態下可流動的材料。

在一些示例中，采用噴墨打印的方法形成所述有機層。

在一些示例中，采用噴墨打印的方法形成所述有機層包括：在所述基板上打印有機材料，所述有機材料在流平過程中形成了所述平坦部和所述斜坡部。

在一些示例中，對所述平坦部加熱包括：僅對所述平坦部加熱，或者對所述平坦部加熱的溫度高于對所述斜坡部加熱的溫度。

在一些示例中，對所述平坦部加熱包括：采用熱源對所述平坦部進行加熱，且所述有機層的被所述熱源加熱的區域在所述基板上的正投影位于加熱前的所述平坦部在所述基板上的正投影內。

在一些示例中，所述平坦部的厚度均勻。

在一些示例中，在加熱過程中，所述有機層在所述基板上的正投影的尺寸不變。

本公開的至少一實施例提供一種顯示基板的制作方法，包括：在襯底基板上形成多個發光顯示單元；在所述多個發光顯示單元遠離所述襯底基板的一側采用上述任一示例所述的制作方法形成所述有機層。

在一些示例中，所述有機層為薄膜封裝層。

在一些示例中，所述顯示基板包括顯示區和圍繞所述顯示區的周邊區，所述多個發光顯示單元形成在所述顯示區。加熱前，所述平坦部在所述襯底基板上的正投影位于所述顯示區在所述襯底基板上的正投影內，所述斜坡部在所述襯底基板上的正投影與所述顯示區在所述襯底基板上的正投影有交疊；加熱后，所述斜坡部在所述襯底基板上的正投影與所述顯示區在所述襯底基板上的正投影沒有交疊。

在一些示例中，對所述平坦部加熱的溫度不大于85℃。

本公開的至少一實施例提供一種顯示基板，由上述顯示基板的制作方法制作而成。

本公開的至少一實施例提供一種制作上述顯示基板的設備，包括：基臺，被配置為放置所述襯底基板；加熱片，位于所述基臺的面向所述襯底基板的一側，且所述加熱片在所述基臺上的正投影位于加熱前的所述平坦部在所述基臺上的正投影內。

在一些示例中，所述加熱片和所述襯底基板真空吸附在所述基臺的表面。

采用本公開實施例提供的膜層制作方法，可以有效提高有機層的流平性能，以減小斜坡部的平行于基板的方向的尺寸，從而有利于在保證有機層厚度均一性的同時減小有機層的厚度。

附圖說明