[發明專利]壓電驅動裝置、電子元件輸送裝置以及機器人

在審

• 申請號: 201811338700.6
• 申請日: 2018-11-12
• 公開（公告）號: CN109787507A
• 公開（公告）日: 2019-05-21
• 發明（設計）人: 荒川豊;巖崎友壽
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H02N2/06
• 分類號: H02N2/06;H02N2/04
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 玉昌峰;吳孟秋

本申請提供了一種壓電驅動裝置、電子元件輸送裝置以及機器人，能夠實現兼顧穩定的驅動和省電化。壓電驅動裝置具有：支承部；第一移動部，能夠相對于支承部沿第一方向移動；第二移動部，能夠相對于第一移動部沿第二方向移動；第一驅動部，通過第一壓電致動器的驅動而使第一移動部相對于支承部移動，并通過第一壓電致動器的停止而使第一移動部保持于支承部；以及第二驅動部，通過第二壓電致動器的驅動而使第二移動部相對于第一移動部移動，通過第二壓電致動器的停止而使第二移動部保持于第一移動部，將第一移動部保持于支承部的第一保持力與將第二移動部保持于第一移動部的第二保持力互不相同。

技術領域

本發明涉及壓電驅動裝置、電子元件輸送裝置以及機器人。

背景技術

例如，在專利文獻1中記載有如下臺，該臺具有：支承臺；第一移動體，配置于支承臺上；第二移動體，配置于第一移動體上；第一壓電致動器，相對于支承臺使第一移動體沿X軸方向移動；以及第二壓電致動器，相對于第一移動體使第二移動體沿Y軸方向移動。

專利文獻1：日本特開2008-122381號公報

在這樣的臺中，由于在第一移動體上配置有第二移動體，因此使第一移動體相對于支承臺沿X軸方向移動所需的驅動力以及使第一移動體相對于支承臺保持為不動所需的保持力大于使第二移動體相對于第一移動體沿Y軸方向移動所需的驅動力以及使第二移動體相對于第一移動體保持為不動所需的保持力。

然而，在專利文獻1中，雖未說明，但是根據附圖等推測，認為使用了相同的壓電致動器作為第一壓電致動器以及第二壓電致動器。因此，例若以用于使第一移動體相對于支承臺移動的驅動力以及用于使第一移動體保持于支承臺的保持力為基準來選擇第一壓電致動器、第二壓電致動器，則會導致第二壓電致動器的驅動力以及保持力過大。這樣，有可能會浪費驅動電力。反之，若以用于使第二移動體相對于第一移動體移動的驅動力以及用于使第二移動體保持于第一移動體的保持力為基準來選擇第一壓電致動器、第二壓電致動器，則會導致第一壓電致動器的驅動力以及保持力不足。這樣，有可能無法進行臺的穩定的驅動。

這樣，在專利文獻1所記載的臺中，有可能會產生難以兼顧臺的穩定的驅動和省電化這樣的問題。

發明內容

本發明的目的在于提供能夠實現兼顧穩定的驅動和省電化的壓電驅動裝置、電子元件輸送裝置以及機器人。

上述目的通過下述本發明來實現。

本發明的壓電驅動裝置的特征在于，所述壓電驅動裝置具有：支承部；第一移動部，被所述支承部支承，能夠相對于所述支承部沿第一方向移動；第二移動部，被所述第一移動部支承，能夠相對于所述第一移動部沿與所述第一方向交叉的第二方向移動；第一驅動部，具備第一壓電致動器，通過所述第一壓電致動器的驅動而使所述第一移動部相對于所述支承部沿所述第一方向移動，并通過所述第一壓電致動器的停止而使所述第一移動部保持于所述支承部；以及第二驅動部，具備第二壓電致動器，通過所述第二壓電致動器的驅動而使所述第二移動部相對于所述第一移動部沿所述第二方向移動，并通過所述第二壓電致動器的停止而使所述第二移動部保持于所述第一移動部，將所述第一移動部保持于所述支承部的第一保持力與將所述第二移動部保持于所述第一移動部的第二保持力互不相同。

由此，由于能夠獨立且恰當地設定第一保持力以及第二保持力，因此能夠抑制第一保持力以及第二保持力中的一方過大或者反之不足的情況。因此，成為能夠實現兼顧穩定的驅動和省電化的壓電驅動裝置。

在本發明的壓電驅動裝置中，優選的是，使所述第一移動部相對于所述支承部移動的第一驅動力和使所述第二移動部相對于所述第一移動部移動的第二驅動力互不相同。

由此，由于能夠獨立且恰當地設定第一驅動力以及第二驅動力，因此能夠抑制第一驅動力以及第二驅動力中的一方過大或者反之不足的情況。因此，成為能夠實現兼顧穩定的驅動和省電化的壓電驅動裝置。