[發(fā)明專利]壓電驅(qū)動裝置、電子元件輸送裝置以及機器人

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811338700.6
• 申請日: 2018-11-12
• 公開（公告）號: CN109787507A
• 公開（公告）日: 2019-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 荒川豊;巖崎友壽
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H02N2/06
• 分類號: H02N2/06;H02N2/04
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 玉昌峰;吳孟秋

1.一種壓電驅(qū)動裝置，其特征在于，具有：

支承部；

第一移動部，被所述支承部支承，能夠相對于所述支承部沿第一方向移動；

第二移動部，被所述第一移動部支承，能夠相對于所述第一移動部沿與所述第一方向交叉的第二方向移動；

第一驅(qū)動部，具備第一壓電致動器，通過所述第一壓電致動器的驅(qū)動而使所述第一移動部相對于所述支承部沿所述第一方向移動，并通過所述第一壓電致動器的停止而使所述第一移動部保持于所述支承部；以及

第二驅(qū)動部，具備第二壓電致動器，通過所述第二壓電致動器的驅(qū)動而使所述第二移動部相對于所述第一移動部沿所述第二方向移動，并通過所述第二壓電致動器的停止而使所述第二移動部保持于所述第一移動部，

將所述第一移動部保持于所述支承部的第一保持力與將所述第二移動部保持于所述第一移動部的第二保持力互不相同。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電驅(qū)動裝置，其特征在于，

使所述第一移動部相對于所述支承部移動的第一驅(qū)動力和使所述第二移動部相對于所述第一移動部移動的第二驅(qū)動力互不相同。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電驅(qū)動裝置，其特征在于，

所述第一壓電致動器以及所述第二壓電致動器為彼此相同的結(jié)構(gòu)，

所述第一驅(qū)動部所具備的所述第一壓電致動器的數(shù)量與所述第二驅(qū)動部所具備的所述第二壓電致動器的數(shù)量互不相同。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的壓電驅(qū)動裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動部具有層疊有多個所述第一壓電致動器的壓電模塊，

所述第二驅(qū)動部具有層疊有多個所述第二壓電致動器的壓電模塊。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的壓電驅(qū)動裝置，其特征在于，所述支承部能夠沿所述第二方向移動，

所述第二保持力比所述第一保持力大。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的壓電驅(qū)動裝置，其特征在于，所述壓電驅(qū)動裝置具有：

第三移動部，被所述第二移動部支承，能夠相對于所述第二移動部繞沿與所述第一方向以及所述第二方向交叉的第三方向的軸轉(zhuǎn)動；以及

第三驅(qū)動部，具備第三壓電致動器，通過所述第三壓電致動器的驅(qū)動而使所述第三移動部相對于所述第二移動部轉(zhuǎn)動，并通過所述第三壓電致動器的停止而使所述第三移動部保持于所述第二移動部。

7.一種電子元件輸送裝置，其特征在于，

具備權(quán)利要求1至6中任一項所述的壓電驅(qū)動裝置。

8.一種機器人，其特征在于，具有：

第一部件；

第二部件，被所述第一部件支承，能夠相對于所述第一部件位移；

第三部件，被所述第二部件支承，能夠相對于所述第二部件位移；

第一驅(qū)動部，具備第一壓電致動器，通過所述第一壓電致動器的驅(qū)動而使所述第二部件相對于所述第一部件位移，并通過所述第一壓電致動器的停止而使所述第二部件保持于所述第一部件；以及第二驅(qū)動部，具備第二壓電致動器，通過所述第二壓電致動器的驅(qū)動而使所述第三部件相對于所述第二部件位移，并通過所述第二壓電致動器的停止而使所述第三部件保持于所述第二部件，

將所述第二部件保持于所述第一部件的第一保持力與將所述第三部件保持于所述第二部件的第二保持力互不相同。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的機器人，其特征在于，

使所述第二部件相對于所述第一部件移動的第一驅(qū)動力與使所述第三部件相對于所述第二部件移動的第二驅(qū)動力互不相同。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的機器人，其特征在于，

所述第一壓電致動器以及所述第二壓電致動器為彼此相同的結(jié)構(gòu)，

所述第一驅(qū)動部所具備的所述第一壓電致動器的數(shù)量與所述第二驅(qū)動部所具備的所述第二壓電致動器的數(shù)量互不相同。