[發明專利]負型光阻組合物及其用途

有效

• 申請號: 201811338084.4
• 申請日: 2018-11-12
• 公開（公告）號: CN111176070B
• 公開（公告）日: 2023-09-01
• 發明（設計）人: 吳旻霏;黃新義;葉子瑭;邱美秀
• 申請（專利權）人: 臺灣永光化學工業股份有限公司
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/038;G09F9/33
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 樊曉

一種負型光阻組合物，包括：一雙酚類樹脂，是由一雙酚F與一醛類化合物縮合而得的堿可溶性樹脂；一酚醛類樹脂，是由一酚類化合物與另一醛類化合物縮合而得的堿可溶性樹脂；一光酸產生劑；一交聯劑；一添加劑；以及一溶劑。本發明更涉及一種前述負型光阻組合物的用途，其用于形成一顯示設備用的倒梯形間隔壁。

技術領域

本發明涉及一種負型光阻組合物及其用途，尤其涉及一種可用于形成倒梯形圖案且具有高耐熱性的負型光阻組合物及其用途。

背景技術

在顯示設備(例如，有機發光二極管顯示設備)的制備中，常使用負型光阻形成倒梯形的間隔壁，通過間隔壁可隔開后續形成的電極線及有機材料層，以避免短路的情形發生。

目前常見的負型光阻組合物，例如酚醛樹脂，其耐熱溫度僅約120度。然而，形成電極線及有機材料層的濺鍍或蒸鍍工藝溫度往往高于200度以上，故一般常見的酚醛樹脂因耐熱性不高，而無法應用于后續的濺鍍或蒸鍍工藝上。

除了酚醛樹脂外，PHS樹脂(Polyhydroxystyrene?resin)或聚亞酰胺樹脂(Polyimide?resin)也可用于形成倒梯形的間隔壁上；但PHS樹脂或聚亞酰胺樹脂成本較高。此外，雙酚A樹脂雖也可以形成倒梯形的間隔壁，但雙酚A樹脂(同雙酚F樹脂合成方法)中所含的雙酚A為環境荷爾蒙，對環境有危害。另外，其他具有特殊官能基的雙酚類樹脂雖可解決此問題，但卻面臨合成復雜且成本高的問題。

有鑒于此，目前亟需發展一種負型光阻組合物，其可形成倒梯形的間隔壁，并同時具有耐高溫、低成本及/或對環境友善的效果。

發明內容

本發明的主要目的在于提供一種負型光阻組合物，其曝光顯影后可形成倒梯形圖形，且所形成的圖形具有耐高溫的特性。

本發明的負型光阻組合物包括：一雙酚類樹脂，是由一雙酚F與一醛類化合物縮合而得的堿可溶性樹脂；一酚醛類樹脂，是由一酚類化合物與另一醛類化合物縮合而得的堿可溶性樹脂；一光酸產生劑；一交聯劑；一添加劑；以及一溶劑。

常見的負型光阻組合物，例如酚醛樹脂，因其耐熱溫度僅約120度，故不具有耐高溫的特性，而無法適應顯示設備間隔壁形成后的高溫(200度以上)濺鍍或蒸鍍工藝。至于雙酚A樹脂，對環境有害；而其他具有特殊官能基的雙酚類樹脂，則面臨合成復雜且成本高的問題。因此，在本發明的負型光阻組合物中，借由將雙酚類樹脂與酚醛類樹脂合并使用，使得所形成的光阻圖案具有耐高溫及/或圖形良好的特性，繼而可適應顯示設備間隔壁形成后的高溫濺鍍或蒸鍍工藝。此外，在本發明的負型光阻組合物中，所使用的雙酚類樹脂為雙酚F與醛類化合物縮合而得的堿可溶性樹脂，進而達到低成本及/或對環境友善的功效。另外，本發明的負型光阻組合物經過黃光微影工藝后，可形成倒梯形的圖案，屬于上底較長的圖案，進而可應用于顯示設備用的間隔壁上。

在本發明的負型光阻組合物中，雙酚類樹脂的含量可介于4wt％至30wt％，酚醛類樹脂的含量可介于4wt％至40wt％，光酸產生劑的含量可介于0.05wt％至5wt％，交聯劑的含量可介于3wt％至20wt％，添加劑的含量可介于0.05wt％至5wt％，而余量為溶劑。

在本發明的負型光阻組合物中，雙酚類樹脂是由雙酚F與醛類化合物縮合而得的堿可溶性樹脂；更具體而言，雙酚類樹脂是由雙酚F與甲醛縮合而得的堿可溶性樹脂。其中，雙酚類樹脂的分子量并無特殊限制；在本發明的一實施例中，雙酚類樹脂的分子量介于5000至20000之間；在本發明的另一實施例中，雙酚類樹脂的分子量介于8000至15000之間；在本發明的再一實施例中，雙酚類樹脂的分子量介于10000至12000之間。