[發明專利]負型光阻組合物及其用途

有效

• 申請號: 201811338084.4
• 申請日: 2018-11-12
• 公開（公告）號: CN111176070B
• 公開（公告）日: 2023-09-01
• 發明（設計）人: 吳旻霏;黃新義;葉子瑭;邱美秀
• 申請（專利權）人: 臺灣永光化學工業股份有限公司
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/038;G09F9/33
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 樊曉

1.一種負型光阻組合物，包括：

一雙酚類樹脂，是由一雙酚F與一醛類化合物縮合而得的堿可溶性樹脂；

一酚醛類樹脂，是由一酚類化合物與另一醛類化合物縮合而得的堿可溶性樹脂；

一光酸產生劑；

一交聯劑；

一添加劑；以及

一溶劑；

其中，該雙酚類樹脂的含量介于4wt％至30wt％，該酚醛類樹脂的含量介于4wt％至40wt％，該光酸產生劑的含量介于0.05wt％至5wt％，該交聯劑的含量介于3wt％至20wt％，該添加劑的含量介于0.05wt％至5wt％，而余量為該溶劑；

其中，該酚類化合物是選自由苯酚、甲基苯酚、二甲基苯酚、三甲基苯酚及其組合所組成的群組。

2.如權利要求1所述的負型光阻組合物，其中該酚醛類樹脂是由間甲基苯酚及對甲基苯酚與甲醛縮合而得的堿可溶性樹脂；由間甲基苯酚、對甲基苯酚、2，4-二甲基苯酚及2，5-二甲基苯酚與甲醛縮合而得的堿可溶性樹脂；或由間甲基苯酚及2，3，5-三甲基苯酚與甲醛縮合而得的堿可溶性樹脂。

3.如權利要求1所述的負型光阻組合物，其中該酚醛類樹脂的分子量介于1500至40000之間。

4.如權利要求1所述的負型光阻組合物，其中該光酸產生劑為2，4-二(三氯甲基)-6-[1-4-(甲氧基)萘基]-1，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-[2-(5-甲基-2-呋喃基)乙酰基]-s-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-[2-(3，5-二乙氧基苯基)乙酰基]-s-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-(3-溴-4-甲氧基)苯乙酰基苯基-s-三嗪、2-甲基-α-[2-[[(丙基磺酰基)氧]亞胺]-3(2H)-噻吩亞基苯乙腈、α-(2-丙磺酰氧基亞氨基噻吩-3-烯基-鄰甲基苯乙腈)、α-(三氟甲基磺酸基氧亞胺基)-苯基乙腈或其混合物。

5.如權利要求1所述的負型光阻組合物，其中該交聯劑為1，3，5-三嗪-2，4，6-三胺與甲醛和甲縮醛的聚合物甲基化物、甲氧基甲基化三聚氰胺樹脂、乙氧基甲基化三聚氰胺樹脂、丙氧基甲基化三聚氰胺樹脂、甲氧基甲基化尿素樹脂、乙基甲基化尿素樹脂、丙氧基甲基化尿素樹脂或其混合物。

6.如權利要求1所述的負型光阻組合物，其中該添加劑為一胺類化合物或一吸收活性放射線的化合物。

7.如權利要求6所述的負型光阻組合物，其中該胺類化合物為三甲基胺、三乙基胺、三正丙基胺、三異丙基胺、二乙胺、二正乙基胺、三丁基胺、苯胺、N-甲基苯胺、N，N’-二甲基苯胺、二苯胺、吡啶、鄰甲基吡啶或其混合物。

8.如權利要求6所述的負型光阻組合物，其中該吸收活性放射線化合物為兩末端具有疊氮基的雙疊氮基化合物、偶氮染料、次甲基染料、姜黃素、呫噸酮、二烷基胺基化合物、1，2-二氰基乙烯或其混合物。

9.一種如權利要求1至8任一項所述的負型光阻組合物的用途，用于形成一顯示設備用的倒梯形間隔壁。

10.如權利要求9所述的用途，其中該顯示設備為一有機發光二極管顯示設備。