[發(fā)明專利]成膜裝置及零件剝離裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811329890.5
• 申請(qǐng)日: 2018-11-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109763105B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-10-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 西垣壽;鈴木端生;吉村浩司;神戸優(yōu)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 芝浦機(jī)械電子裝置株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 馬爽;臧建明

1.一種成膜裝置，其是針對(duì)電極露出面已被粘貼在保護(hù)片的粘著面上的電子零件的成膜裝置，其中，所述保護(hù)片的粘著面粘貼有框狀的框架，所述電極露出面位于所述保護(hù)片的粘著面的被所述框架包圍的區(qū)域，其特征在于，包括：

成膜處理部，使成膜材料在所述電子零件上成膜；以及

剝離處理部，在利用所述成膜處理部的成膜后，將所述電子零件從所述保護(hù)片上剝下；

其中，所述剝離處理部具有：

載置部，支撐已被粘貼在所述保護(hù)片上的所述電子零件；

夾頭，握持所述保護(hù)片的端部，相對(duì)于所述載置部相對(duì)地移動(dòng)，并朝所述端部的相反端連續(xù)進(jìn)行剝離；

片材止動(dòng)部，與所述夾頭一同沿著所述保護(hù)片移動(dòng)，并制造剝離的基點(diǎn)；

固定部，在所述電子零件被從所述保護(hù)片上剝離時(shí)，固定所述電子零件的位置；以及

引導(dǎo)部，從比所述框架的所述電子零件側(cè)的邊緣更外側(cè)，朝所述保護(hù)片的端部突出，

其中，所述夾頭在握持所述保護(hù)片的端部之前，位于所述引導(dǎo)部的突出目的地，所述引導(dǎo)部面向所述夾頭，朝所述夾頭引導(dǎo)所述保護(hù)片的端部，

所述固定部是：相對(duì)于所述片材止動(dòng)部保持未滿所述電子零件的長(zhǎng)度的距離來(lái)追隨，并按住所述電子零件的上浮的零件止動(dòng)部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成膜裝置，其特征在于，

所述引導(dǎo)部從設(shè)置在所述框架的引導(dǎo)部插通孔而突出。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成膜裝置，其特征在于，

所述片材止動(dòng)部在所述引導(dǎo)部的突出時(shí)，位于所述框架上的所述引導(dǎo)部的突出目的地附近，與所述引導(dǎo)部一同夾持所述引導(dǎo)部已剝下的所述保護(hù)片的端部，并朝所述夾頭引導(dǎo)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成膜裝置，其特征在于，

所述片材止動(dòng)部是具有與所述片材止動(dòng)部的移動(dòng)方向正交的軸的輥。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成膜裝置，其特征在于，

所述零件止動(dòng)部是：具有與所述零件止動(dòng)部的移動(dòng)方向正交的軸并能夠進(jìn)行軸旋轉(zhuǎn)的圓筒狀的輥。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的成膜裝置，其特征在于，

所述固定部設(shè)置在所述載置部上，并將所述電子零件固定在載置面上。

7.一種零件剝離裝置，其是將電極露出面已被粘貼在保護(hù)片的粘著面上、并使成膜材料成膜而成的電子零件從所述保護(hù)片上剝下的零件剝離裝置，其中，所述保護(hù)片的粘著面粘貼有框狀的框架，所述電極露出面位于所述保護(hù)片的粘著面的被所述框架包圍的區(qū)域，其特征在于，包括：

載置部，支撐已被粘貼在所述保護(hù)片上的所述電子零件；

夾頭，握持所述保護(hù)片的端部，相對(duì)于所述載置部相對(duì)地移動(dòng)，并朝所述端部的相反端連續(xù)進(jìn)行剝離；

片材止動(dòng)部，與所述夾頭一同沿著所述保護(hù)片移動(dòng)，并制造剝離的基點(diǎn)；

固定部，在所述電子零件被從所述保護(hù)片上剝離時(shí)，固定所述電子零件的位置；以及

引導(dǎo)部，從比所述框架的所述電子零件側(cè)的邊緣更外側(cè)，朝所述保護(hù)片的端部突出，

其中，所述夾頭在握持所述保護(hù)片的端部之前，位于所述引導(dǎo)部的突出目的地，

所述引導(dǎo)部面向所述夾頭，朝所述夾頭引導(dǎo)所述保護(hù)片的端部，

所述固定部是：相對(duì)于所述片材止動(dòng)部保持未滿所述電子零件的長(zhǎng)度的距離來(lái)追隨，并按住所述電子零件的上浮的零件止動(dòng)部。