[發明專利]一種柔性IC基板點線面缺陷的快速分類方法有效
| 申請號: | 201811328664.5 | 申請日: | 2018-11-09 |
| 公開(公告)號: | CN109615606B | 公開(公告)日: | 2023-01-06 |
| 發明(設計)人: | 胡躍明;李璐 | 申請(專利權)人: | 華南理工大學 |
| 主分類號: | G06T7/00 | 分類號: | G06T7/00;G06V10/764;G06N7/02;G06T7/13;G06T7/187 |
| 代理公司: | 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245 | 代理人: | 王東東 |
| 地址: | 511458 廣東省廣州市*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 柔性 ic 點線 缺陷 快速 分類 方法 | ||
1.一種柔性IC基板點線面缺陷的快速分類方法,其特征在于,包括:
根據點線面缺陷圖像檢測步驟,得到缺陷檢測結果;
采用點線面智能分類步驟,對缺陷檢測結果進行分類,得到分類結果;
所述根據點線面缺陷圖像檢測步驟,具體為:
依次采集單幅柔性IC基板圖像,通過圖像拼接得到整塊IC基板圖像,選取無缺陷的標準基板圖像建立匹配模板,將待檢測IC基板圖像與匹配模板進行匹配得到缺陷檢測結果;
所述依次采集單幅柔性IC基板圖像,通過圖像拼接得到整塊IC基板圖像,具體為:
采用“Z”字型方法獲取單幅柔性IC基板圖像,所采集的圖像需保留50%的重疊區域;
采用相位相關法,檢測兩幅待拼接圖像之間的相對位移,通過相對位移對準圖像,得到拼接圖像;
對拼接重疊邊界進行圖像融合,通過計算兩幅圖像重疊區域的加權平均值,然后對拼接圖像邊界進行融合得到整塊IC基板圖像;
所述將待檢測IC基板圖像與匹配模板進行得到檢測結果,具體為:
將拼接好的待檢測IC基板圖像與標準模板進行Mark點對準,求待檢測圖像與標準模板圖像灰度值之差的絕對值,若其閾值大于設定閾值,則置1,否則置0;
運用形態學開運算,保留面積區域大于設定值S的連通域,所獲得的N個連通域即為缺陷檢測結果,通過二值圖像的連通域信息得到缺陷的形狀,大小和位置信息;
所述采用點線面智能分類步驟,對缺陷檢測結果進行分類,得到分類結果,具體為:
提取缺陷的面積、周長及體態比特征,將提取的m維形狀特征輸入訓練好的模糊分類器內,得到分類結果;
所述模糊分類器的設計過程如下:
對訓練數據進行預處理,具體將缺陷檢測結果的面積、周長及體態比特征進行倍率歸一化處理;
建立三個IF-THEN模糊規則,具體為:
(1)IF面積S比較小AND周長C比較小AND體態比T比較小,THEN屬于點缺陷;
(2)IF面積S比較大AND周長C比較大AND體態比T很大,THEN屬于線缺陷;
(3)IF面積S很大AND周長C很大AND體態比T比較大,THEN屬于面缺陷;
設置輸入隸屬度函數,采用S型和高斯函數組合;
設置輸出隸屬度函數,采用三角形和∑函數組合;
確認隸屬度函數參數,由三個模糊規則得,模糊運算的結果為:
Q(v)=maxr(Qi(v))=maxr{mins{μi(z),μo(z,v)}}
其中,r={1,2,3},s={S,C,T},z表示特征參數的輸入值,μi(z)是在特定輸入下由輸入隸屬度函數得到的標量值,μo(z,v)是在特定輸入下由輸出隸屬度函數得到的標量值,Qi(v)表示由模糊規則和一個特定輸入導致的模糊輸出;Q(v)為最終的模糊輸出結果;
采用重心法進行去模糊,得到最終結果:
其中K為模糊規則數;
將提取的m維形狀特征輸入訓練好的模糊分類器內,得到分類結果,具體為:
將缺陷的面積、周長及體態比特征分別輸入確定的隸屬度函數,得到μi(z),計算μi(z)與μo(z,v)并集,即取最小值,得到由規則產生的模糊輸出Qi(v);
取Qi(v)的與集,即取最大值,得到最終的模糊輸出Q(v);
采用重心法進行去模糊化,得到分類結果。
2.根據權利要求1所述的快速分類方法,其特征在于,所述分類結果是將缺陷結果按照面積、形狀劃分為點、線及面類型,其中短路、開路、針孔、多銅、殘銅、線路異物、缺口劃分為點缺陷類型,過蝕刻、欠蝕刻、劃痕、折痕、線傷、線路鋸齒劃分為線缺陷,大面積的銅面異色、線路氧化、臟污劃分為面缺陷。
3.根據權利要求1所述的快速分類方法,其特征在于,計算連通域的像素個數Si,為面積特征參數;
計算連通域進行邊緣檢測,得到輪廓特征,該輪廓特征為周長特征參數;
每個連通域求最下外接矩形,計算外接矩形的體態比Ti=ai/bi,其中ai、bi分別為第i個區域最小外接矩形的長和寬。
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