[發明專利]直連空壓機的激光清洗一體機

在審

• 申請號: 201811328627.4
• 申請日: 2018-11-08
• 公開（公告）號: CN109570148A
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發明（設計）人: 王奕博;林學春;張志研;梁浩;劉燕楠;趙樹森
• 申請（專利權）人: 中國科學院半導體研究所
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 李坤

本公開提供了一種直連空壓機的激光清洗一體機，所述激光清洗一體機與所述空壓機相連，所述激光清洗一體機包括：氣體干燥過濾系統，內置于所述激光清洗一體機機柜，將空壓機輸出的氣體進行干燥、過濾后分為兩路氣體；第一路氣體進入準連續激光器，用于諧振腔內的除濕干燥；第二路氣體進入清洗頭，用于保護清洗頭前端的保護鏡，吹除清洗目標物產生的粉塵，避免灰塵污染保護鏡。本公開內置的氣體干燥過濾系統，能夠直接過濾空壓機吹出氣體中的粉塵、油污等雜質，使空壓機能夠直連激光清洗一體機，將輸出的空氣分為兩路，一路用于諧振腔內的除濕干燥，另一路用于保護清洗頭，兩路氣體的作用相互配合，利于激光清洗一體機的長期穩定運轉。

技術領域

本公開涉及激光清洗技術領域，尤其涉及一種直連空壓機的激光清洗一體機。

背景技術

激光清洗是一種高效、綠色清洗技術，相對于化學清洗，其不需任何化學藥劑和清洗液；相對于機械清洗，其無研磨、無應力、無耗材，對基材損傷極小，如在文物字畫清洗領域的應用；激光可利用光纖傳輸引導，清洗不易達到的部位，適用范圍廣，如在核管道清洗領域的應用。適用對象也比較廣泛，除銹、除漆、除泥污、晶片表面處理；清潔度高，一般可清除納米級以下污染微粒，該技術在國際上已應用于各領域，如模具清洗，戰機涂層清洗等等。

激光光源是激光清洗的核心部件，在獲得脈沖激光的方式上，鑒于系統的穩定便捷的應用性，大都采用激光調Q輸出，調Q方式也大都采用主動調Q技術。目前，國外典型的專業激光清洗公司主要有：德國的Clean laser公司和法國的Quantel laser公司，其研制的手持式及固定式多款激光清洗裝備，在工業清洗相關領域得到了廣泛應用，其清洗效果、速度、靈活性均優于傳統清潔方法。但國外裝備高昂的售價限制了其在我國相關行業中的大范圍推廣。

我國激光清洗技術的研究和設備的開發起步晚，與國外相比還存在明顯的差距。所以國內成熟的激光清洗設備并不多，大部分還處于實驗室研究階段。相比于光纖激光器，基于抗損傷性更好、性價比更高的納米級全固態激光器更適于產生高峰值的功率輸出，是激光清洗用的優選光源。

由于激光清洗需要幾百至千瓦級的大功率激光器，一般需配備單獨的水冷系統，甚至需要單獨的氮氣瓶用于除潮濕，整個激光清洗系統部件較多，不便搬運移動，限制了其在一些需要移動清洗的場合的應用。

發明內容

(一)要解決的技術問題

本公開提供了一種直連空壓機的激光清洗一體機，以至少部分解決以上所提出的技術問題。

(二)技術方案

根據本公開的一個方面，提供了一種直連空壓機的激光清洗一體機，所述激光清洗一體機與所述空壓機相連，所述激光清洗一體機包括：

氣體干燥過濾系統，內置于所述激光清洗一體機機柜，將空壓機輸出的氣體進行干燥、過濾后分為兩路氣體；

準連續激光器，經過氣體干燥過濾系統干燥過濾后的第一路氣體進入準連續激光器，用于諧振腔內的除濕干燥；

清洗頭，經過氣體干燥過濾系統干燥過濾后的第二路氣體進入清洗頭，用于保護清洗頭前端的保護鏡，吹除清洗目標物產生的粉塵，避免灰塵污染保護鏡。

在本公開的一些實施例中，所述氣體干燥過濾系統包括：

內置式冷干機，對所述空壓機輸出的氣體進行干燥；

多級過濾器，對所述空壓機輸出的氣體進行多級過濾。

在本公開的一些實施例中，所述多級過濾器為三級精密過濾器，包括：

除塵過濾部，所述空壓機輸出的氣體進入除塵過濾部進行除塵，再進入所述內置式冷干機進行干燥；

除水過濾部，干燥后的氣體進入除水過濾部進行除水；