[發明專利]直連空壓機的激光清洗一體機在審
| 申請號： | 201811328627.4 | 申請日： | 2018-11-08 |
| 公開（公告）號： | CN109570148A | 公開（公告）日： | 2019-04-05 |
| 發明（設計）人： | 王奕博;林學春;張志研;梁浩;劉燕楠;趙樹森 | 申請（專利權）人： | 中國科學院半導體研究所 |
| 主分類號： | B08B7/00 | 分類號： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 100083 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光清洗 一體機 空壓機 兩路 直連 過濾系統 氣體干燥 清洗頭 諧振腔 除濕 粉塵 過濾 清洗 準連續激光器 長期穩定 灰塵污染 輸出 油污 吹出 吹除 機柜 內置 運轉 配合 | ||
1.一種直連空壓機的激光清洗一體機，所述激光清洗一體機與所述空壓機相連，所述激光清洗一體機包括：
氣體干燥過濾系統，內置于所述激光清洗一體機機柜，將空壓機輸出的氣體進行干燥、過濾后分為兩路氣體；
準連續激光器，經過氣體干燥過濾系統干燥過濾后的第一路氣體進入準連續激光器，用于諧振腔內的除濕干燥；
清洗頭，經過氣體干燥過濾系統干燥過濾后的第二路氣體進入清洗頭，用于保護清洗頭前端的保護鏡，吹除清洗目標物產生的粉塵，避免灰塵污染保護鏡。
2.根據權利要求1所述的激光清洗一體機，其中，所述氣體干燥過濾系統包括：
內置式冷干機，對所述空壓機輸出的氣體進行干燥；
多級過濾器，對所述空壓機輸出的氣體進行多級過濾。
3.根據權利要求2所述的激光清洗一體機，其中，所述多級過濾器為三級精密過濾器，包括：
除塵過濾部，所述空壓機輸出的氣體進入除塵過濾部進行除塵，再進入所述內置式冷干機進行干燥；
除水過濾部，干燥后的氣體進入除水過濾部進行除水；
除油過濾部，除水后的氣體進入除油過濾部進行除油。
4.根據權利要求1所述的激光清洗一體機，其中，還包括：
內置式水冷機，置于所述激光清洗一體機內，控制溫度為15～30℃；用于為所述準連續激光器提供恒溫冷卻的散熱環境。
5.根據權利要求1所述的激光清洗一體機，其中，還包括：
電控系統，監測所述準連續激光器諧振腔和所述激光清洗一體機機柜的溫濕度以及所述準連續激光器的水流量，控制所述空壓機和所述氣體干燥過濾系統的開關，進行直連空壓機的激光清洗一體機的報警診斷。
6.根據權利要求1所述的激光清洗一體機，其中，所述準連續激光器選用連續抽運的全固態調Q激光器，調Q重復頻率為10k～50kHz，脈寬50～200ns，可輸出10～1000W功率的1.06μm脈沖激光，最高峰值功率2MW。
7.根據權利要求2所述的激光清洗一體機，其中，所述內置冷干機，置于所述激光清洗一體機內，將壓縮空氣溫度降到2～10℃，通過降溫的方式將空氣中的水分液化過濾，得到干燥的氣體。
8.根據權利要求1所述的激光清洗一體機，其中，所述激光清洗一體機機柜底部裝設有輪子。
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