[發明專利]注入機真空計損壞復機控制裝置及復機方法

在審

• 申請號: 201811327433.2
• 申請日: 2018-11-08
• 公開（公告）號: CN109489900A
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發明（設計）人: 劉佳磊;裴雷洪;嚴駿;石慶球
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G01L27/00
• 分類號: G01L27/00
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

本發明公開了一種應用于半導體技術領域的注入機真空計損壞復機控制裝置，所述復機控制裝置包括一真空計和至少一個備用真空計以及至少一個開關閥，所述真空計和所述備用真空計均安裝于所述注入機內，用于監測注入機反應腔體內的真空值，所述開關閥用于在所述真空計與所述備用真空計之間進行切換，于同一時間內，在所述注入機內存在有單一的所述真空計進行工作，與現有技術相比，本發明結構簡單，制造成本低，而且應用該復機控制裝置在更換真空計時無需將注入機反應腔體從高真空狀態恢復為大氣狀態，也無需在更換真空計后進行真空監測測試，大大降低了真空計的更換復雜度，大幅減少了真空計的更換時間。

技術領域

本發明涉及一種控制裝置，尤其涉及一種用于監控注入機反應腔體內的真空度的真空計損壞后的注入機復機控制裝置及復機方法。

背景技術

在半導體制造領域，真空計通常用于測量注入機反應腔體在高真空環境下的真空值，對于判斷腔體內真空環境狀態具有重要作用。一旦真空計損壞，注入機將無法偵測到腔體內的真空環境狀態，對監控產品作業環境帶來障礙，甚至會影響產品質量。

目前更換真空計需要將注入機反應腔體從高真空狀態恢復為大氣狀態，而且更換真空計后還需要對真空監測情況進行相關測試，整套更換流程下來，通常需要花費數個小時的時間，對企業生產效率造成了較大影響。

發明內容

鑒于上述存在的技術問題，本發明的目的在于提供一種結構簡單，制造成本低的注入機真空計損壞后的復機控制裝置，該裝置在更換真空計時無需將注入機反應腔體從高真空狀態恢復為大氣狀態，也無需在更換真空計后進行真空監測測試，大大降低了真空計的更換復雜度，大幅減少了真空計的更換時間，有利于提高企業生產效率。

本發明解決其技術問題采取的技術方案是，提供一種注入機真空計損壞復機控制裝置，應用于半導體技術領域，所述復機控制裝置包括一真空計和至少一個備用真空計以及至少一個開關閥，所述真空計和所述備用真空計均安裝于所述注入機內，用于監測注入機反應腔體內的真空值，所述開關閥用于在所述真空計與所述備用真空計之間進行切換，于同一時間內，在所述注入機內存在有單一的所述真空計進行工作。

作為本發明的一種優選方案，所述備用真空計的數量為一個。

作為本發明的一種優選方案，所述開關閥的數量為一個。

作為本發明的一種優選方案，所述真空計和所述備用真空計均包括熱電阻真空計、彈性變形真空計、隔膜真空計和電離真空計。

作為本發明的一種優選方案，所述開關閥包括隔離閥和電磁閥。

作為本發明的一種優選方案，所述開關閥可移動地設置在所述真空計和所述備用真空計的檢測端，與所述注入注入機的內腔之間；

所述開關閥初始處于所述備用真空計的檢測端與所述注入機的內腔之間，以隔絕所述備用真空計與所述注入機；

當所述真空計損壞時，所述開關閥被移動至所述真空計與所述注入機的內腔之間，以隔絕所述真空計與所述注入機，此時所述備用真空計開始工作。

作為本發明的一種優選方案，所述復機控制裝置還包括一控制部件，所述控制部件通信連接所述真空計、所述備用真空計和所述開關閥，所述控制部件可接收所述真空計和所述備用真空計的工作狀態信息，并且當所述真空計損壞時，可控制所述開關閥啟用所述備用真空計并停用所述真空計。

本發明還提供一種應用所述的注入機真空計損壞復機控制裝置實現注入機復機的方法，包括如下步驟：

步驟L1，所述真空計損壞后向所述控復機制裝置的所述控制部件發送一真空計損壞信號；

步驟L2，所述控制部件在接收到所述真空計發來的損壞信號后，向所述開關閥發送一打開信號，所述開關閥根據接收的打開信號自動啟用所述備用真空計，并停用原本使用的所述真空計。