[發明專利]注入機真空計損壞復機控制裝置及復機方法

在審

• 申請號: 201811327433.2
• 申請日: 2018-11-08
• 公開（公告）號: CN109489900A
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發明（設計）人: 劉佳磊;裴雷洪;嚴駿;石慶球
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G01L27/00
• 分類號: G01L27/00
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

1.一種注入機真空計損壞復機控制裝置，應用于半導體技術領域，其特征在于，所述復機控制裝置包括一真空計和至少一個備用真空計以及至少一個開關閥，所述真空計和所述備用真空計均安裝于所述注入機內，用于監測注入機反應腔體內的真空值，所述開關閥用于在所述真空計與所述備用真空計之間進行切換，于同一時間內，在所述注入機內存在有單一的所述真空計進行工作。

2.如權利要求1所述的一種注入機真空計損壞復機控制裝置，其特征在于，所述備用真空計的數量為一個。

3.如權利要求1所述的一種注入機真空計損壞復機控制裝置，其特征在于，所述開關閥的數量為一個。

4.如權利要求1所述的一種注入機真空計損壞復機控制裝置，其特征在于，所述真空計和所述備用真空計均包括熱電阻真空計、彈性變形真空計、隔膜真空計和電離真空計。

5.如權利要求1所述的一種注入機真空計損壞復機控制裝置，其特征在于，所述開關閥包括隔離閥和電磁閥。

6.如權利要求1所述的一種注入機真空計損壞復機控制裝置，其特征在于，所述開關閥可移動地設置在所述真空計和所述備用真空計的檢測端，與所述注入注入機的內腔之間；

所述開關閥初始處于所述備用真空計的檢測端與所述注入機的內腔之間，以隔絕所述備用真空計與所述注入機；

當所述真空計損壞時，所述開關閥被移動至所述真空計與所述注入機的內腔之間，以隔絕所述真空計與所述注入機，此時所述備用真空計開始工作。

7.如權利要求6所述的一種注入機真空計損壞復機控制裝置，其特征在于，所述復機控制裝置還包括一控制部件，所述控制部件通信連接所述真空計、所述備用真空計和所述開關閥，所述控制部件可接收所述真空計和所述備用真空計的工作狀態信息，并且當所述真空計損壞時，可控制所述開關閥啟用所述備用真空計并停用所述真空計。

8.一種應用如權7所述的注入機真空計損壞復機控制裝置實現注入機復機的方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟L1，所述真空計損壞后向所述復機控制裝置的所述控制部件發送一真空計損壞信號；

步驟L2，所述控制部件在接收到所述真空計發來的損壞信號后，向所述開關閥發送一打開信號，所述開關閥根據接收的打開信號自動打開以啟用所述備用真空計，并停用原本使用的所述真空計。