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[發明專利]圖像傳感器在審

專利信息
申請號: 201811325849.0 申請日: 2018-11-08
公開(公告)號: CN109755264A 公開(公告)日: 2019-05-14
發明(設計)人: 鄭慶鴻;張凱峯 申請(專利權)人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
主分類號: H01L27/146 分類號: H01L27/146
代理公司: 南京正聯知識產權代理有限公司 32243 代理人: 顧伯興
地址: 中國臺灣新竹科*** 國省代碼: 中國臺灣;71
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 柵極介電層 存儲柵極 電極 刻蝕終止層 存儲元件 屏蔽層 圖像傳感器 存儲節點 感光元件 驅動電路 保護層 夾置 覆蓋
【權利要求書】:

1.一種圖像傳感器,其特征在于,包括:

感光元件;

存儲元件,與所述感光元件相鄰,且包括:

存儲節點;

柵極介電層,位于所述存儲節點上;

存儲柵極電極,位于所述柵極介電層上;

刻蝕終止層,覆蓋所述柵極介電層及所述存儲柵極電極;

屏蔽層,位于所述存儲柵極電極上;以及

保護層,夾置在所述刻蝕終止層與所述屏蔽層之間;以及驅動電路,與所述存儲元件相鄰。

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