[發明專利]改善薄膜封裝有機薄膜層平坦度的方法及裝置

在審

• 申請號: 201811324127.3
• 申請日: 2018-11-08
• 公開（公告）號: CN111162202A
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發明（設計）人: 陳秉宏
• 申請（專利權）人: 陜西坤同半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L51/52
• 代理公司: 西安亞信智佳知識產權代理事務所(普通合伙) 61241
• 代理人: 楊亞會

本發明是關于一種改善薄膜封裝有機薄膜層平坦度的方法和裝置，以及薄膜封裝方法和封裝薄膜。該方法可包括：將有機材料構成的墨水涂布于一顯示基板上的無機薄膜層的表面；將該顯示基板平放于一振動裝置上，控制該振動裝置以預設振動頻率和預設振動幅度水平平移振動，以使所述墨水流動而形成有機薄膜層。本發明可以節省柔性顯示器薄膜封裝工藝處理時間，減少墨水耗材，使得有機薄膜層平坦度較好，提高柔性顯示器的顯示質量。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種改善薄膜封裝有機薄膜層平坦度的方法及裝置。

背景技術

有機發光二極管OLED(Organic Light Emitting Diode)作為一種發光器件，因其所具有自發光、快速響應、寬視角和可制作在柔性襯底上等特點而越來越多地被應用于高性能顯示領域當中。OLED顯示裝置中的AMOLED(Active Matrix Driving OLED，有源矩陣驅動有機發光二極管)顯示裝置具有低制造成本、高響應速度、省電、可用于便攜式設備等優點而成為下一代新型平面顯示器。

現有技術中，對AMOLED顯示面板進行封裝的方式有玻璃膠(Frit Seal)封裝、UV膠結合干燥片(Getter)封裝、面膠封裝(Face Seal)、原子層沉積封裝(Atomic LayerDeposition，ALD)和薄膜封裝(Thin Film Encapsulation，TFE)等多種方法。其中，對于柔性顯示器而言，薄膜封裝TFE為最常用的封裝方式之一。

現行薄膜封裝多以無機薄膜/有機薄膜/無機薄膜的堆疊方式進行封裝，在一個示例中TFE封裝結構100如圖1所示，可以包括兩無機薄膜層30和有機薄膜層10，其中有機薄膜層10通常采用噴墨打印設備(Ink Jet Printer)進行制備。在制備過程中，為了避免墨水(Ink)在襯底基板11上流平后形成的有機薄膜的邊界出現參差不齊或者超出基底的范圍的現象，通常會在襯底基板11上對應墨水打印邊界的位置設置擋墻20(Bank)，且擋墻20與顯示基板01上的像素界定層12(Pixel Definition Layer，PDL)可通過掩膜、曝光(MASK)工藝形成。

由于有機薄膜層10的成膜方式多采用噴墨打印印刷，通常噴墨印刷在涂布后，須進行有機墨水在無機薄膜層30上進行靜置的平坦化過程處理形成有機薄膜層10，平坦化如果不佳，即可出現Mura或者是表面的凹凸點，而不平坦的區域多發生于像素定義層PDL的凹坑里，這些均引起柔性顯示器的顯示質量問題。

為解決上述平坦化不佳引起的不良現象，相關改善方式為加厚有機墨水厚度或增加平坦化的靜置時間。但是依然存在一些問題，例如增加有機墨水厚度會影響面板柔性的彎折半徑，并且增加材料的耗損、成本及工藝時間。而增加平坦化的靜置時間則會進一步增加工藝時間。因此，有必要提供一種新的技術方案改善上述方案中存在的一個或者多個問題。

需要注意的是，本部分旨在為權利要求書中陳述的本發明的實施方式提供背景或上下文。此處的描述不因為包括在本部分中就承認是現有技術。

發明內容

本發明的目的在于提供一種改善薄膜封裝有機薄膜層平坦度的方法及裝置，進而至少在一定程度上克服由于相關技術的限制和缺陷而導致的一個或者多個問題。

根據本發明實施例的第一方面，提供一種改善薄膜封裝有機薄膜層平坦度的方法，該方法包括：

將有機材料構成的墨水涂布于一顯示基板上的無機薄膜層的表面；

將該顯示基板平放于一振動裝置上，控制該振動裝置以預設振動頻率和預設振動幅度水平平移振動，以使所述墨水流動而形成有機薄膜層。

本發明的實施例中，所述預設振動頻率為10Hz以下，所述預設振動幅度為10um以下。

本發明的實施例中，所述預設振動頻率和預設振動幅度中的至少一個可調。