[發明專利]改善薄膜封裝有機薄膜層平坦度的方法及裝置

在審

• 申請號: 201811324127.3
• 申請日: 2018-11-08
• 公開（公告）號: CN111162202A
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發明（設計）人: 陳秉宏
• 申請（專利權）人: 陜西坤同半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L51/52
• 代理公司: 西安亞信智佳知識產權代理事務所(普通合伙) 61241
• 代理人: 楊亞會

1.一種改善薄膜封裝有機薄膜層平坦度的方法，其特征在于，該方法包括：

將有機材料構成的墨水涂布于一顯示基板上的無機薄膜層的表面；

將該顯示基板平放于一振動裝置上，控制該振動裝置以預設振動頻率和預設振動幅度水平平移振動，以使所述墨水流動而形成有機薄膜層。

2.根據權利要求1所述方法，其特征在于，所述預設振動頻率為10Hz以下，所述預設振動幅度為10um以下。

3.根據權利要求2所述方法，其特征在于，所述預設振動頻率和預設振動幅度中的至少一個可調。

4.根據權利要求1～3之一所述方法，其特征在于，所述無機薄膜層為對該顯示基板進行薄膜封裝時在該顯示基板上形成。

5.根據權利要求1～3之一所述方法，其特征在于，所述平移振動的振動時長為5分鐘以內。

6.一種改善薄膜封裝有機薄膜層平坦度的裝置，其特征在于，該裝置包括：

振動平臺，該振動平臺上用以平放一顯示基板，該顯示基板的無機薄膜層表面涂布有機材料構成的墨水；

控制單元，與該振動平臺連接，用以控制該振動平臺以預設振動頻率和預設振動幅度水平平移振動，以使所述墨水流動而形成有機薄膜層。

7.根據權利要求6所述裝置，其特征在于，所述預設振動頻率為10Hz以下，所述預設振動幅度為10um以下。

8.一種薄膜封裝方法，用于對有機發光顯示基板進行封裝，其特征在于，該方法包括：

在所述有機發光顯示基板上形成第一無機薄膜層；

在所述第一無機薄膜層上形成有機薄膜層；

在所述有機薄膜層上形成第二無機薄膜層；

其中，在所述第一無機薄膜層上形成有機薄膜層，具體包括：

將有機材料構成的墨水涂布于所述第一無機薄膜層的表面，將該有機發光顯示基板平放于一振動裝置上，控制該振動裝置以預設振動頻率和預設振動幅度水平平移振動，以使所述墨水流動而形成有機薄膜層。

9.根據權利要求8所述方法，其特征在于，所述預設振動頻率為10Hz以下，所述預設振動幅度為10um以下。

10.一種封裝薄膜，其特征在于，采用如權利要求8或9所述的薄膜封裝方法制成。