[發(fā)明專利]一種改善管式PECVD色差降級的鍍膜方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201811323234.4
• 申請日: 2018-11-08
• 公開（公告）號: CN109355642A
• 公開（公告）日: 2019-02-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 姚銀根
• 申請（專利權(quán)）人: 百力達太陽能股份有限公司
• 主分類號: C23C16/50
• 分類號: C23C16/50;C23C16/34
• 代理公司: 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種改善管式PECVD色差降級的鍍膜方法，其特征在于：包括以下步驟，

步驟一，分色：對所產(chǎn)生的色差片進行分色，以目標(biāo)顏色的膜厚為基準(zhǔn)，將低于或高于該準(zhǔn)色差片進行分類，分成低于該基準(zhǔn)的返工片和低于該基準(zhǔn)的降級片；

步驟二，測試：對于顏色不達標(biāo)的降級片通過膜厚測試，確定與基準(zhǔn)范圍的差距；

步驟三，調(diào)整膜厚：根據(jù)膜厚差距，在機臺上將膜厚不達標(biāo)的降級片重新進管式PECVD進行補鍍工藝，在補鍍工藝運行至等離子發(fā)射步時，根據(jù)膜厚和鍍膜時間關(guān)系，調(diào)整鍍膜時間來達到相差的膜厚，從而使色差降級片到達標(biāo)準(zhǔn)膜厚。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改善管式PECVD色差降級的鍍膜方法，其特征在于：補鍍工藝時間根據(jù)降級膜厚與基準(zhǔn)膜厚的差值進行計算，完成補鍍工藝，達到目標(biāo)顏色。