[發(fā)明專利]發(fā)光器件及其制備方法和掩膜版在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811319511.4 | 申請日: | 2018-11-07 |
| 公開(公告)號: | CN111162189A | 公開(公告)日: | 2020-05-15 |
| 發(fā)明(設計)人: | 劉新 | 申請(專利權(quán))人: | 廣東聚華印刷顯示技術(shù)有限公司 |
| 主分類號: | H01L51/52 | 分類號: | H01L51/52;H01L51/56;C23C14/04 |
| 代理公司: | 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人: | 林青中 |
| 地址: | 510000 廣東省廣州市廣州*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 發(fā)光 器件 及其 制備 方法 掩膜版 | ||
1.一種發(fā)光器件,其特征在于,包括基板、底電極層、像素限定層、發(fā)光單元層和頂電極層,所述底電極層設于所述基板上,所述像素限定層設于所述基板上,且所述像素限定層圍繞所述底電極層形成像素坑,所述底電極層至少部分暴露于所述像素坑中,所述發(fā)光單元層設于所述像素坑內(nèi)且覆蓋于所述底電極層上,所述頂電極層設于所述發(fā)光單元層上,且所述頂電極層與每個所述像素坑對應的區(qū)域形成至少兩個相互間隔的子電極區(qū)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光器件,其特征在于,所述子電極區(qū)之間的間隔距離為20μm~50μm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光器件,其特征在于,還包括遮光層,所述遮光層設于所述頂電極層上且覆蓋所述子電極區(qū)之間的間隙。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的發(fā)光器件,其特征在于,所述遮光層的阻抗大于1014Ω/cm,所述遮光層的光密度值大于3.9/μm,所述遮光層的厚度為0.5μm~2μm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光器件,其特征在于,所述頂電極層與每個所述像素坑對應的區(qū)域形成兩個相互間隔的子電極區(qū)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的發(fā)光器件,其特征在于,所述頂電極層與每個所述像素坑對應的區(qū)域形成四個相互間隔的子電極區(qū)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1~6任一項所述的發(fā)光器件,其特征在于,所述發(fā)光單元層包括空穴注入層、空穴傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸層和電子注入層。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光器件,其特征在于,所述像素限定層的厚度為0.5μm~2.5μm。
9.一種發(fā)光器件的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:
在基板上形成底電極層;
在所述基板上形成像素限定層,所述像素限定層圍繞所述底電極層形成像素坑,所述底電極層至少部分暴露于所述像素坑中;
在所述像素坑內(nèi)的所述底電極層上形成發(fā)光單元層;
在所述發(fā)光單元層上形成頂電極層,且使所述頂電極層與每個所述像素坑對應的區(qū)域形成至少兩個相互間隔的子電極區(qū)。
10.一種掩膜版,用于制備權(quán)利要求1~8任一項所述的發(fā)光器件的頂電極層,其特征在于,所述掩膜版包括掩膜版主體及遮擋部,所述掩膜版主體設有蒸鍍開口,所述遮擋部位于所述蒸鍍開口內(nèi),且所述遮擋部的正投影至少部分位于所述像素坑內(nèi),以用于蒸鍍時使所述頂電極層與每個所述像素坑對應的區(qū)域形成至少兩個相互間隔的子電極區(qū)。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態(tài)器件;專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的;具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射;專門適用于將這些輻射能轉(zhuǎn)換為電能,或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發(fā)射的,如有機發(fā)光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇





