[發(fā)明專(zhuān)利]輸送裝置、輸送方法及外觀(guān)檢查裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811319217.3
• 申請(qǐng)日: 2018-11-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110031475B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-05-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小寺克義
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東京威爾斯股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01N21/95
• 分類(lèi)號(hào): G01N21/95;G01N21/01
• 代理公司: 北京派特恩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11270
• 代理人: 林軍;姚開(kāi)麗

1.一種輸送裝置，輸送層疊有多個(gè)電極的電子部件，其特征在于，包括：

第一輸送路徑，其輸送所述電子部件；

第二輸送路徑，其從所述第一輸送路徑借助高度差被配置在下方，輸送由所述第一輸送路徑輸送的所述電子部件；

第三輸送路徑，其從所述第二輸送路徑借助高度差被配置在下方，輸送由所述第二輸送路徑輸送的所述電子部件；以及

磁場(chǎng)生成部，其從所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑及所述第三輸送路徑隔開(kāi)規(guī)定距離配置，并且在所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑及所述第三輸送路徑生成磁場(chǎng)，

所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑以及所述第三輸送路徑為順磁性體，通過(guò)由所述磁場(chǎng)生成部生成的磁場(chǎng)在各自的輸送面上形成磁極，

所述第一輸送路徑的輸送面具有兩個(gè)平坦面，該兩個(gè)平坦面抑制所述電子部件的旋轉(zhuǎn)并且各自相對(duì)于基準(zhǔn)面的面方向傾斜，

所述第二輸送路徑的輸送面具有：兩個(gè)平坦面，其向規(guī)定方向輸送所述電子部件并且各自相對(duì)于所述基準(zhǔn)面的面方向傾斜；以及曲面，其齊平并連續(xù)所述兩個(gè)平坦面之間，

所述第三輸送路徑的輸送面具有兩個(gè)平坦面，該兩個(gè)平坦面抑制所述電子部件的旋轉(zhuǎn)并且各自相對(duì)于所述基準(zhǔn)面的面方向傾斜，

由所述磁場(chǎng)生成部生成的所述磁場(chǎng)的方向?yàn)橄鄬?duì)于形成所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑以及所述第三輸送路徑各自形成的兩個(gè)平坦面的面方向傾斜60度至90度的方向。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述輸送裝置，其特征在于，

所述基準(zhǔn)面是放置有所述輸送裝置的基底的表面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述輸送裝置，其特征在于，在所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑以及所述第三輸送路徑的輸送面進(jìn)行了低摩擦處理。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述輸送裝置，其特征在于，所述磁場(chǎng)生成部具有電磁體或永磁體。

5.一種輸送方法，利用輸送裝置輸送層疊有多個(gè)電極的電子部件，其特征在于，包括：

通過(guò)第一輸送路徑輸送所述電子部件的第一輸送步驟；

通過(guò)從所述第一輸送路徑借助高度差被配置在下方的第二輸送路徑，輸送由所述第一輸送路徑輸送的所述電子部件的第二輸送步驟；

通過(guò)從所述第二輸送路徑借助高度差被配置在下方的第三輸送路徑，輸送由所述第二輸送路徑輸送的所述電子部件的第三輸送步驟；以及

通過(guò)從所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑及所述第三輸送路徑隔開(kāi)規(guī)定距離配置的磁場(chǎng)生成部，在所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑及所述第三輸送路徑生成磁場(chǎng)的磁場(chǎng)生成步驟，

所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑以及所述第三輸送路徑為順磁性體，通過(guò)由所述磁場(chǎng)生成部生成的磁場(chǎng)在各自的輸送面上形成磁極，

所述第一輸送路徑的輸送面具有兩個(gè)平坦面，該兩個(gè)平坦面抑制所述電子部件的旋轉(zhuǎn)并且各自相對(duì)于作為放置有所述輸送裝置的基底的表面的基準(zhǔn)面的面方向傾斜，

所述第二輸送路徑的輸送面具有：兩個(gè)平坦面，其向規(guī)定方向輸送所述電子部件并且各自相對(duì)于所述基準(zhǔn)面的面方向傾斜；以及曲面，其齊平并連續(xù)所述兩個(gè)平坦面之間，

所述第三輸送路徑的輸送面具有兩個(gè)平坦面，該兩個(gè)平坦面抑制所述電子部件的旋轉(zhuǎn)并且各自相對(duì)于所述基準(zhǔn)面的面方向傾斜，

由所述磁場(chǎng)生成部生成的所述磁場(chǎng)的方向?yàn)橄鄬?duì)于形成所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑以及所述第三輸送路徑各自形成的兩個(gè)平坦面的面方向傾斜60度至90度的方向。

6.一種外觀(guān)檢查裝置，檢查層疊有多個(gè)電極的電子部件的外觀(guān)，其特征在于，包括：

第一輸送路徑，其輸送所述電子部件；

第二輸送路徑，其從所述第一輸送路徑借助高度差被配置在下方，輸送由所述第一輸送路徑輸送的所述電子部件；

第三輸送路徑，其從所述第二輸送路徑借助高度差被配置在下方，輸送由所述第二輸送路徑輸送的所述電子部件；

磁場(chǎng)生成部，其從所述所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑及所述第三輸送路徑隔開(kāi)規(guī)定距離配置，并且在所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑及所述第三輸送路徑生成磁場(chǎng)；

旋轉(zhuǎn)自如的輸送臺(tái)，其輸送通過(guò)所述第二輸送路徑移載并被放置在輸送圓弧上的所述電子部件；以及

拍攝部，其拍攝所述輸送臺(tái)上的所述電子部件，

所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑以及所述第三輸送路徑為順磁性體，通過(guò)由所述磁場(chǎng)生成部生成的磁場(chǎng)在各自的輸送面上形成磁極，

所述第一輸送路徑的輸送面具有兩個(gè)平坦面，該兩個(gè)平坦面抑制所述電子部件的旋轉(zhuǎn)并且各自相對(duì)于作為放置有所述外觀(guān)檢查裝置的基底的表面的基準(zhǔn)面的面方向傾斜，

所述第二輸送路徑的輸送面具有：兩個(gè)平坦面，其向規(guī)定方向輸送所述電子部件并且各自相對(duì)于所述基準(zhǔn)面的面方向傾斜；以及曲面，其齊平并連續(xù)所述兩個(gè)平坦面之間，

所述第三輸送路徑的輸送面具有兩個(gè)平坦面，該兩個(gè)平坦面抑制所述電子部件的旋轉(zhuǎn)并且各自相對(duì)于所述基準(zhǔn)面的面方向傾斜，

由所述磁場(chǎng)生成部生成的所述磁場(chǎng)的方向?yàn)橄鄬?duì)于形成所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑以及所述第三輸送路徑各自形成的兩個(gè)平坦面的面方向傾斜60度至90度的方向。