[發明專利]輸送裝置、輸送方法及外觀檢查裝置有效
| 申請號： | 201811319217.3 | 申請日： | 2018-11-07 |
| 公開（公告）號： | CN110031475B | 公開（公告）日： | 2022-05-10 |
| 發明（設計）人： | 小寺克義 | 申請（專利權）人： | 東京威爾斯股份有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/95 | 分類號： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270 | 代理人： | 林軍;姚開麗 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 輸送 裝置 方法 外觀 檢查 | ||
1.一種輸送裝置，輸送層疊有多個電極的電子部件，其特征在于，包括：
第一輸送路徑，其輸送所述電子部件；
第二輸送路徑，其從所述第一輸送路徑借助高度差被配置在下方，輸送由所述第一輸送路徑輸送的所述電子部件；
第三輸送路徑，其從所述第二輸送路徑借助高度差被配置在下方，輸送由所述第二輸送路徑輸送的所述電子部件；以及
磁場生成部，其從所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑及所述第三輸送路徑隔開規定距離配置，并且在所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑及所述第三輸送路徑生成磁場，
所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑以及所述第三輸送路徑為順磁性體，通過由所述磁場生成部生成的磁場在各自的輸送面上形成磁極，
所述第一輸送路徑的輸送面具有兩個平坦面，該兩個平坦面抑制所述電子部件的旋轉并且各自相對于基準面的面方向傾斜，
所述第二輸送路徑的輸送面具有：兩個平坦面，其向規定方向輸送所述電子部件并且各自相對于所述基準面的面方向傾斜；以及曲面，其齊平并連續所述兩個平坦面之間，
所述第三輸送路徑的輸送面具有兩個平坦面，該兩個平坦面抑制所述電子部件的旋轉并且各自相對于所述基準面的面方向傾斜，
由所述磁場生成部生成的所述磁場的方向為相對于形成所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑以及所述第三輸送路徑各自形成的兩個平坦面的面方向傾斜60度至90度的方向。
2.根據權利要求1所述輸送裝置，其特征在于，
所述基準面是放置有所述輸送裝置的基底的表面。
3.根據權利要求1所述輸送裝置，其特征在于，在所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑以及所述第三輸送路徑的輸送面進行了低摩擦處理。
4.根據權利要求1所述輸送裝置，其特征在于，所述磁場生成部具有電磁體或永磁體。
5.一種輸送方法，利用輸送裝置輸送層疊有多個電極的電子部件，其特征在于，包括：
通過第一輸送路徑輸送所述電子部件的第一輸送步驟；
通過從所述第一輸送路徑借助高度差被配置在下方的第二輸送路徑，輸送由所述第一輸送路徑輸送的所述電子部件的第二輸送步驟；
通過從所述第二輸送路徑借助高度差被配置在下方的第三輸送路徑，輸送由所述第二輸送路徑輸送的所述電子部件的第三輸送步驟；以及
通過從所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑及所述第三輸送路徑隔開規定距離配置的磁場生成部，在所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑及所述第三輸送路徑生成磁場的磁場生成步驟，
所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑以及所述第三輸送路徑為順磁性體，通過由所述磁場生成部生成的磁場在各自的輸送面上形成磁極，
所述第一輸送路徑的輸送面具有兩個平坦面，該兩個平坦面抑制所述電子部件的旋轉并且各自相對于作為放置有所述輸送裝置的基底的表面的基準面的面方向傾斜，
所述第二輸送路徑的輸送面具有：兩個平坦面，其向規定方向輸送所述電子部件并且各自相對于所述基準面的面方向傾斜；以及曲面，其齊平并連續所述兩個平坦面之間，
所述第三輸送路徑的輸送面具有兩個平坦面，該兩個平坦面抑制所述電子部件的旋轉并且各自相對于所述基準面的面方向傾斜，
由所述磁場生成部生成的所述磁場的方向為相對于形成所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑以及所述第三輸送路徑各自形成的兩個平坦面的面方向傾斜60度至90度的方向。
6.一種外觀檢查裝置，檢查層疊有多個電極的電子部件的外觀，其特征在于，包括：
第一輸送路徑，其輸送所述電子部件；
第二輸送路徑，其從所述第一輸送路徑借助高度差被配置在下方，輸送由所述第一輸送路徑輸送的所述電子部件；
第三輸送路徑，其從所述第二輸送路徑借助高度差被配置在下方，輸送由所述第二輸送路徑輸送的所述電子部件；
磁場生成部，其從所述所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑及所述第三輸送路徑隔開規定距離配置，并且在所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑及所述第三輸送路徑生成磁場；
旋轉自如的輸送臺，其輸送通過所述第二輸送路徑移載并被放置在輸送圓弧上的所述電子部件；以及
拍攝部，其拍攝所述輸送臺上的所述電子部件，
所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑以及所述第三輸送路徑為順磁性體，通過由所述磁場生成部生成的磁場在各自的輸送面上形成磁極，
所述第一輸送路徑的輸送面具有兩個平坦面，該兩個平坦面抑制所述電子部件的旋轉并且各自相對于作為放置有所述外觀檢查裝置的基底的表面的基準面的面方向傾斜，
所述第二輸送路徑的輸送面具有：兩個平坦面，其向規定方向輸送所述電子部件并且各自相對于所述基準面的面方向傾斜；以及曲面，其齊平并連續所述兩個平坦面之間，
所述第三輸送路徑的輸送面具有兩個平坦面，該兩個平坦面抑制所述電子部件的旋轉并且各自相對于所述基準面的面方向傾斜，
由所述磁場生成部生成的所述磁場的方向為相對于形成所述第一輸送路徑、所述第二輸送路徑以及所述第三輸送路徑各自形成的兩個平坦面的面方向傾斜60度至90度的方向。
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