[發(fā)明專利]靶材組件及其制造方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811319205.0
• 申請日: 2018-11-07
• 公開（公告）號: CN111155059A
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚力軍;潘杰;王學(xué)澤;廖培君
• 申請（專利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B23P15/00
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 吳敏

一種靶材組件及其制造方法，制造方法包括：提供靶材和背板，所述靶材具有靶材焊接面，所述背板具有背板焊接面；在所述靶材焊接面或所述背板焊接面上形成螺紋；形成所述螺紋后，將所述靶材焊接面與所述背板焊接面相貼合設(shè)置形成初始組件；對所述初始組件進(jìn)行焊接處理，以獲得靶材組件。利用所述制造方法形成的所述靶材組件中，所述靶材與所述背板貼合緊密，能夠避免在所述靶材焊接面及所述背板焊接面間形成縫隙，有助于提高所述靶材組件的焊接質(zhì)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種靶材組件及其制造方法。

背景技術(shù)

濺射鍍膜屬于物理氣相沉積方法制備薄膜的工藝之一，具體是指利用高能粒子轟擊靶材表面，使得靶材原子或分子獲得足夠的能量逸出，并沉積在基材或工件表面，從而形成薄膜。

在濺射鍍膜工藝中，靶材需與背板焊接在一起，構(gòu)成靶材組件，共同裝配至濺射基臺。所述背板具有良好的導(dǎo)電導(dǎo)熱性能，且還可以起到固定支撐作用。

濺射鍍膜過程中，靶材組件處于高溫環(huán)境中，為了對所述靶材組件進(jìn)行降溫，通常采用持續(xù)的高壓冷卻水沖擊所述背板。所述高壓冷卻水在靶材與背板間造成較大的壓力差，因此要求所述靶材與所述背板具有較強(qiáng)的焊接牢固度。

然而，現(xiàn)有技術(shù)制造的靶材組件的焊接質(zhì)量有待提高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明解決的問題是提供一種靶材組件及其制造方法，能夠提高所述靶材與所述背板貼合的緊密度，避免在所述靶材焊接面及所述背板焊接面間形成縫隙，從而改善所述靶材組件的焊接質(zhì)量。

為解決上述問題，本發(fā)明提供一種靶材組件的制造方法，包括：提供靶材和背板，所述靶材具有靶材焊接面，所述背板具有背板焊接面；在所述靶材焊接面或所述背板焊接面上形成螺紋；形成所述螺紋后，將所述靶材焊接面與所述背板焊接面相貼合設(shè)置形成初始組件；對所述初始組件進(jìn)行焊接處理，以獲得靶材組件。

可選的，形成所述螺紋的工藝中，所述螺紋為平面螺紋。

可選的，形成所述螺紋的工藝中，所述螺紋由多個(gè)凸起構(gòu)成。

可選的，形成所述螺紋的工藝中，所述凸起的高度為0.5mm～0.65mm。

可選的，形成所述螺紋的工藝中，相鄰所述凸起的間距為0.7mm～0.95mm。

可選的，形成所述螺紋后，且在形成所述初始組件前，所述制造方法還包括：對所述靶材及所述背板進(jìn)行清洗處理；進(jìn)行清洗處理后，對所述靶材及所述背板進(jìn)行干燥處理。

可選的，所述靶材的材料為鋁或銅。

可選的，當(dāng)所述靶材的材料為鋁時(shí)，所述清洗處理包括：提供酸洗液，將所述靶材浸泡于所述酸洗液中。

可選的，當(dāng)所述靶材的材料為銅時(shí)，所述清洗處理包括：利用異丙醇溶液對所述靶材進(jìn)行超聲波清洗處理。

可選的，所述背板的材料為鋁合金或銅合金。

可選的，當(dāng)所述背板的材料為鋁合金時(shí)，所述清洗處理包括：提供酸洗液，將所述背板浸泡于所述酸洗液中。

可選的，當(dāng)所述背板的材料為銅合金時(shí)，所述清洗處理包括：利用異丙醇溶液對所述背板進(jìn)行超聲波清洗處理。

可選的，所述酸洗液為氫氟酸及硝酸的混合溶液，所述氫氟酸及硝酸的質(zhì)量百分比濃度總和為30％～60％。

可選的，所述氫氟酸及硝酸的質(zhì)量百分比濃度的比值為0.125～0.25。

可選的，采用熱等靜壓工藝對所述初始組件進(jìn)行焊接處理。

可選的，形成所述初始組件后，且進(jìn)行所述熱等靜壓工藝前，所述制造方法還包括：利用真空包套對所述初始組件進(jìn)行真空包裝。