[發明專利]靶材組件及其制造方法

在審

• 申請號: 201811319205.0
• 申請日: 2018-11-07
• 公開（公告）號: CN111155059A
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;王學澤;廖培君
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B23P15/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 吳敏

1.一種靶材組件的制造方法，其特征在于，包括：

提供靶材和背板，所述靶材具有靶材焊接面，所述背板具有背板焊接面；

在所述靶材焊接面或所述背板焊接面上形成螺紋；

形成所述螺紋后，將所述靶材焊接面與所述背板焊接面相貼合設置形成初始組件；

對所述初始組件進行焊接處理，以獲得靶材組件。

2.如權利要求1所述的制造方法，其特征在于，形成所述螺紋的工藝中，所述螺紋為平面螺紋。

3.如權利要求1所述的制造方法，其特征在于，形成所述螺紋的工藝中，所述螺紋由多個凸起構成。

4.如權利要求3所述的制造方法，其特征在于，形成所述螺紋的工藝中，所述凸起的高度為0.5mm～0.65mm。

5.如權利要求3所述的制造方法，其特征在于，形成所述螺紋的工藝中，相鄰所述凸起的間距為0.7mm～0.95mm。

6.如權利要求1所述的制造方法，其特征在于，形成所述螺紋后，且在形成所述初始組件前，還包括：對所述靶材及所述背板進行清洗處理；進行清洗處理后，對所述靶材及所述背板進行干燥處理。

7.如權利要求6所述的制造方法，其特征在于，所述靶材的材料為鋁或銅。

8.如權利要求7所述的制造方法，其特征在于，當所述靶材的材料為鋁時，所述清洗處理包括：提供酸洗液，將所述靶材浸泡于所述酸洗液中。

9.如權利要求7所述的制造方法，其特征在于，當所述靶材的材料為銅時，所述清洗處理包括：利用異丙醇溶液對所述靶材進行超聲波清洗處理。

10.如權利要求6所述的制造方法，其特征在于，所述背板的材料為鋁合金或銅合金。

11.如權利要求10所述的制造方法，其特征在于，當所述背板的材料為鋁合金時，所述清洗處理包括：提供酸洗液，將所述背板浸泡于所述酸洗液中。

12.如權利要求10所述的制造方法，其特征在于，當所述背板的材料為銅合金時，所述清洗處理包括：利用異丙醇溶液對所述背板進行超聲波清洗處理。

13.如權利要求8或11所述的制造方法，其特征在于，所述酸洗液為氫氟酸及硝酸的混合溶液，所述氫氟酸及硝酸的質量百分比濃度總和為30％～60％。

14.如權利要求13所述的制造方法，其特征在于，所述氫氟酸及硝酸的質量百分比濃度的比值為0.125～0.25。

15.如權利要求1所述的制造方法，其特征在于，采用熱等靜壓工藝對所述初始組件進行焊接處理。

16.如權利要求15所述的制造方法，其特征在于，形成所述初始組件后，且進行所述熱等靜壓工藝前，還包括：利用真空包套對所述初始組件進行真空包裝。

17.一種靶材組件，包括：采用焊接方式固定連接的靶材及背板；

其中，所述靶材具有靶材焊接面；

所述背板具有背板焊接面，所述靶材焊接面與所述背板焊接面相貼合設置；

所述靶材焊接面或所述背板焊接面上具有螺紋。