[發明專利]一種適于氣浮系統的玻璃基板檢測方法

有效

• 申請號: 201811317601.X
• 申請日: 2018-11-06
• 公開（公告）號: CN109323988B
• 公開（公告）日: 2021-01-19
• 發明（設計）人: 黃斌;徐筱波;陳梅仙;周揚;劉春柱;張勇
• 申請（專利權）人: 合肥工業大學
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/958
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 沈尚林

本發明公開了一種適于氣浮系統的玻璃基板檢測方法。該檢測方法包括以下步驟：(1)將氣浮板上的正壓噴嘴和負壓噴嘴設置為間隔點陣排列；(2)沿氣浮板斜向排列的負壓噴嘴位置設為掃描路徑；(3)光源向下照射到由氣浮板承載的被測玻璃基板的表面，以相機作為接收器沿著掃描路徑對被測玻璃基板進行斜向掃描，實現被測玻璃基板不同位置的反射成像。本發明通過設計正負壓噴嘴排列方式以及控制相機掃描路徑，使得掃描路徑始終沿著玻璃基板振動的波谷進行檢測，從而將玻璃基板的振動對檢測結果的影響減少到最小，相應地提高了測量精度。

技術領域

本發明涉及精密工程技術領域，尤其涉及一種適于氣浮系統的玻璃基板檢測方法。

背景技術

液晶顯示器在手機、電腦、電視等眾多領域有廣泛的應用，市場空間巨大。而玻璃基板是構成液晶顯示器的基本構件，是平板顯示產業的關鍵部件之一。針對玻璃基板的玻璃表面質量要求必須具備超光潔度，任何3μm以上的劃痕和污物都會影響最終顯示屏的顯像并導致次品的產生，因而，對于玻璃基板的傳送，最合適的方案是采用靜壓氣浮技術的非接觸承載。非接觸承載的原理是：加壓氣體經由氣浮平臺表面的節流孔流出，在氣浮平臺與玻璃基板之間形成一層具有一定剛度的氣膜，利用氣膜承載玻璃基板的重量。氣浮傳輸運載系統正是利用氣體壓力使被傳輸玻璃基板飄浮起來，氣浮力與玻璃基板重力處于平衡狀態，是當前高世代平板顯示屏組件表面缺陷在線檢測的代表性技術。但是，在實際檢測時，因分散布置的吹、吸氣噴嘴出口處壓力峰值的存在，支承玻璃面板的氣墊中存在波動。當玻璃基板在氣浮墊上運動時，會產生相應的動態變形，在光學掃描路徑的截面上表現為波動，這種波動在各個質點的瞬時速度是不相等的，速度較大的地方波動誤差也較大。現有的技術都是直線掃描路徑，光學掃描點會遍歷上述波動波形的各個點，從掃描路徑上各點的波動來看，掃描路徑并不是一條速度最小的路徑，因此測量誤差較大。

發明內容

本發明要解決的技術問題是提供一種適于氣浮系統的玻璃基板檢測方法。

為了解決上述技術問題，本發明采用的技術方案是，一種適于氣浮系統的玻璃基板檢測方法，包括以下步驟：

(1)將氣浮板上的正壓噴嘴和負壓噴嘴設置為間隔點陣排列；

(2)沿氣浮板上斜向排列的負壓噴嘴位置設為掃描路徑；

(3)光源向下照射到由氣浮板承載的被測玻璃基板的表面，以相機作為接收器沿著掃描路徑對被測玻璃基板進行斜向掃描，實現被測玻璃基板不同位置的反射成像。

作為優選：

光源為激光器。

相機為線陣CCD相機。

本發明的有益效果是：

通過設計正負壓噴嘴排列方式以及控制相機掃描路徑，使得掃描路徑始終沿著玻璃基板振動的波谷進行檢測，從而將玻璃基板的振動對檢測結果的影響減少到最小，相應地提高了測量精度。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本發明作進一步詳細的說明。

圖1是本發明實施例的玻璃基板檢測裝置結構示意圖。

圖2是本發明實施例的氣浮板結構示意圖。

圖3是本發明實施例的氣浮支承傳輸原理圖。

圖4是本發明實施例的激光測量玻璃板缺陷示意圖。

圖5是本發明實施例的激光測量玻璃板振動波谷示意圖。

圖6是本發明實施例的氣模壓力分布示意圖。