[發明專利]一種適于氣浮系統的玻璃基板檢測方法有效
| 申請號： | 201811317601.X | 申請日： | 2018-11-06 |
| 公開（公告）號： | CN109323988B | 公開（公告）日： | 2021-01-19 |
| 發明（設計）人： | 黃斌;徐筱波;陳梅仙;周揚;劉春柱;張勇 | 申請（專利權）人： | 合肥工業大學 |
| 主分類號： | G01N21/01 | 分類號： | G01N21/01;G01N21/958 |
| 代理公司： | 北京輕創知識產權代理有限公司 11212 | 代理人： | 沈尚林 |
| 地址： | 230001 *** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 適于 系統 玻璃 檢測 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種適于氣浮系統的玻璃基板檢測方法，包括以下步驟：
(1)將氣浮板上的正壓噴嘴和負壓噴嘴設置為間隔點陣排列；
(2)沿氣浮板上斜向排列的負壓噴嘴位置設為掃描路徑；
(3)光源向下照射到由氣浮板承載的被測玻璃基板的表面，以相機作為接收器沿著掃描路徑對被測玻璃基板進行斜向掃描，實現被測玻璃基板不同位置的反射成像。
2.根據權利要求1所述的玻璃基板檢測方法，其特征在于：所述光源為激光器。
3.根據權利要求1所述的玻璃基板檢測方法，其特征在于：所述相機為線陣CCD相機。
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