[發明專利]一種防報警的熱交換系統

有效

• 申請號: 201811303516.8
• 申請日: 2018-11-02
• 公開（公告）號: CN109468610B
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發明（設計）人: 朱亮;柳小敏
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;F28F27/00
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

本發明涉及一種防報警的熱交換系統，包括熱交換裝置、第一腔體、第二腔體、第一進水管路、第一出水管路、第二進水管路、第二出水管路，第一出水支管路，所述第一出水支管路分別與所述第一出水管路換熱所述熱交換裝置連通；第二出水支管路，第二出水支管路分別與所述第二出水管路和所述熱交換裝置連通；所述第一出水支管路的內徑小于所述第一出水管路的內徑，所述第二出水支管路的內徑小于所述第二出水管路的內徑。其優點在于，通過設置小口徑的出水支管路，使得腔體在完成PM過程后，腔體內的低溫冷卻水能夠緩慢進入熱交換裝置內，從而避免低溫冷卻水短時間大流量進入熱交換裝置內，使得熱交換裝置內的冷卻水不會大幅度降溫，避免出現報警狀況。

技術領域

本發明涉及半導體制造技術領域，尤其涉及一種防報警的熱交換系統。

背景技術

在物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition，PVD)機臺中，兩個TxZ腔體共同使用同一個熱交換裝置，熱交換裝置為兩個腔體提供65℃的冷卻水，系統如圖1所示。當其中任一一個腔體進行預防性維護(Preventive Maintenance，PM)時，需要斷開熱交換裝置與該腔體之間的冷卻水循環回路。在PM過程中，65℃的冷卻水在腔體內部停留時間過長，導致冷卻水溫度降至室溫，在PM完成后，重新將該腔體與熱交換裝置之間冷卻水循環回路連接，此時腔體內的低溫的冷卻水短時間內大量進入熱交換裝置，使得熱交換裝置內的溫度大幅度低于65℃，進而導致熱交換裝置因低溫報警。

現有的解決方法是認為多次緩慢打開與該腔體連通的閥門，從而對冷卻水的流量進行控制，防止熱交換裝置報警。但是這種解決方法操作繁瑣，耗時較長，且不易控制，使得熱交換裝置出現報警。

因此，亟需一種能夠避免低溫冷卻水短時間大量進入熱交換裝置的熱交換系統，防止熱交換裝置報警，減少操作步驟，提高工作效率。

發明內容

本發明的目的是針對現有技術中的不足，提供一種防報警的熱交換系統。

為實現上述目的，本發明采取的技術方案是：

一種防報警的熱交換系統，用于物理氣相沉積機臺，包括熱交換裝置、第一腔體、第二腔體，所述熱交換裝置與所述第一腔體通過第一進水管路和第一出水管路形成第一循環回路，所述熱交換裝置與所述第二腔體通過第二進水管路和第二出水管路形成第二循環回路，所述第一進水管路上設置有第一閥門，所述第二進水管路上設置有第二閥門，還包括：

第一出水支管路，所述第一出水支管路的第一端與所述第一出水管路連通，所述第一出水支管路的第二端與所述熱交換裝置連通；

第二出水支管路，所述第二出水支管路的第一端與所述第二出水管路連通，所述第二出水支管路的第二端與所述熱交換裝置連通；

所述第一出水管路上設置有第三閥門，所述第二出水管路上設置有第四閥門；

所述第一出水支管路的內徑小于所述第一出水管路的內徑，所述第二出水支管路的內徑小于所述第二出水管路的內徑。

優選地，所述第一出水支管路上設置有第一單向閥，所述第二出水支管路上設置有第二單向閥。

優選地，所述第一出水支管路的內徑與所述第一出水管路的內徑之比小于1/2。

優選地，所述第二出水支管路的內徑與所述第二出水管路的內徑之比小于1/2。

優選地，所述第一出水支管路的內徑與所述第二出水支管路的內徑相同。

優選地，所述第一出水支管路與所述第二出水支管路連通，所述第一出水支管路與所述第二出水支管路形成第三出水管路，所述第三出水管路呈“T”形；

所述第三出水管路的第一端與所述第一出水管路連通，所述第三出水管路的第二端與所述第二出水管路連通，所述第三出水管路的第三端與所述熱交換裝置連通。