[發明專利]一種防報警的熱交換系統

有效

• 申請號: 201811303516.8
• 申請日: 2018-11-02
• 公開（公告）號: CN109468610B
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發明（設計）人: 朱亮;柳小敏
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;F28F27/00
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

1.一種防報警的熱交換系統，用于物理氣相沉積機臺，包括熱交換裝置(1)、第一腔體(2)、第二腔體(3)，所述熱交換裝置(1)與所述第一腔體(2)通過第一進水管路(4)和第一出水管路(5)形成第一循環回路，所述熱交換裝置(1)與所述第二腔體(3)通過第二進水管路(6)和第二出水管路(7)形成第二循環回路，所述第一進水管路(4)上設置有第一閥門(8)，所述第二進水管路(6)上設置有第二閥門(9)，其特征在于，還包括：

第一出水支管路(10)，所述第一出水支管路(10)的第一端與所述第一出水管路(5)連通，所述第一出水支管路(10)的第二端與所述熱交換裝置(1)連通；

第二出水支管路(11)，所述第二出水支管路(11)的第一端與所述第二出水管路(7)連通，所述第二出水支管路(11)的第二端與所述熱交換裝置(1)連通；

所述第一出水管路(5)上設置有第三閥門(12)，所述第二出水管路(7)上設置有第四閥門(13)；

所述第一出水支管路(10)的內徑小于所述第一出水管路(5)的內徑，所述第二出水支管路(11)的內徑小于所述第二出水管路(7)的內徑。

2.根據權利要求1所述的防報警熱交換系統，其特征在于，所述第一出水支管路(10)上設置有第一單向閥(14)，所述第二出水支管路(11)上設置有第二單向閥(15)。

3.根據權利要求1所述的防報警的熱交換系統，其特征在于，所述第一出水支管路(10)的內徑與所述第一出水管路(5)的內徑之比小于1/2。

4.根據權利要求1所述的防報警的熱交換系統，其特征在于，所述第二出水支管路(11)的內徑與所述第二出水管路(7)的內徑之比小于1/2。

5.根據權利要求1所述的防報警的熱交換系統，其特征在于，所述第一出水支管路(10)的內徑與所述第二出水支管路(11)的內徑相同。

6.根據權利要求1所述的防報警的熱交換系統，其特征在于，所述第一出水支管路(10)與所述第二出水支管路(11)連通，所述第一出水支管路(10)與所述第二出水支管路(11)形成第三出水管路(16)，所述第三出水管路(16)呈“T”形；

所述第三出水管路(16)的第一端與所述第一出水管路(5)連通，所述第三出水管路(16)的第二端與所述第二出水管路(7)連通，所述第三出水管路(16)的第三端與所述熱交換裝置(1)連通。

7.根據權利要求6所述的防報警的熱交換系統，其特征在于，所述第三出水管路(16)上設置有第一單向閥(14)和第二單向閥(15)，所述第一單向閥(14)設置在所述第三出水管路(16)的第一端，所述第二單向閥(15)設置在所述第三出水管路(16)的第二端。

8.根據權利要求6所述的防報警的熱交換系統，其特征在于，所述第三出水管路(16)的內徑與所述第一出水管路(5)的內徑之比小于1/2；和/或

所述第三出水管路(16)的內徑與所述第二出水管路(7)的內徑之比小于1/2。

9.根據權利要求1或6任一所述的防報警的熱交換系統，其特征在于，還包括：

溫度檢測裝置(17)，所述溫度檢測裝置(17)設置在所述熱交換裝置(1)內，所述溫度檢測裝置(17)用于檢測所述熱交換裝置(1)內的冷卻水的溫度。