[發(fā)明專利]一種具有任意曲面、用于相差校正的光學(xué)器件的直接制作方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201811301053.1
• 申請日: 2018-11-02
• 公開（公告）號: CN109304540A
• 公開（公告）日: 2019-02-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙曉杰;陶沙;秦國雙
• 申請（專利權(quán)）人: 英諾激光科技股份有限公司;常州英諾激光科技有限公司
• 主分類號: B23K26/00
• 分類號: B23K26/00;B24B13/00;B08B7/00
• 代理公司: 深圳市精英專利事務(wù)所 44242
• 代理人: 任哲夫

本發(fā)明公開了一種具有任意曲面、用于相差校正的光學(xué)器件的直接制作方法，涉及激光加工技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明具體通過光路補償用光學(xué)器件特定的曲面設(shè)計以及高精度的激光照射固化，從而得到具有特定曲面并用于相差校正的光學(xué)器件。該方法制作光學(xué)器件，不僅方便、快速，制作步驟簡單，成本低廉，同時該種方法所制得的光學(xué)器件具有較高的精度，使得被校正的光路可以被精準(zhǔn)地校正，消除相應(yīng)的光程差。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及激光加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其是指一種具有任意曲面、用于相差校正的光學(xué)器件的直接制作方法。

背景技術(shù)

在現(xiàn)有技術(shù)中，光學(xué)系統(tǒng)中的相差校正有著廣泛的需求。相差校正的一種可行方法是根據(jù)現(xiàn)有光路中的光程差(optical path difference)設(shè)計特定曲面的光學(xué)器件，并將其置于該光路中以消除原有的光程差，從而校正原光路系統(tǒng)中的相差。然而，現(xiàn)有技術(shù)中制作相差校正的光學(xué)器件方法復(fù)雜，步驟繁瑣，而且其制作出的光學(xué)器件精度、效率較低，制作成本卻較高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是：如何提供了一種方便、快速、低成本地制作具有任意曲面的光學(xué)器件的方法。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明公開了一種具有任意曲面、用于相差校正的光學(xué)器件的直接制作方法，具體包括以下步驟：

S1、檢測待校正光路系統(tǒng)的光程差；

S2、根據(jù)光程差設(shè)計一具有特定曲面的并可補償該光程差的光學(xué)器件；

S3、選擇用于制作所設(shè)計光學(xué)器件的光學(xué)材料和激光光源；

S4、根據(jù)光學(xué)器件的設(shè)計，激光照射并固化光學(xué)材料特定的部分；

S5、去除未固化的光學(xué)材料，得到所設(shè)計的擁有特定曲面的光學(xué)器件。

在進(jìn)一步的方案中，所述S4步驟中，通過調(diào)節(jié)激光光路系統(tǒng)中的振鏡來調(diào)整激光照射并固化的位置。

在進(jìn)一步的方案中，所述S4步驟中，通過調(diào)節(jié)待固化光學(xué)材料的空間位置來調(diào)整激光照射并固化的位置。

在進(jìn)一步的方案中，所述S4步驟中，通過使被激光照射的光學(xué)材料產(chǎn)生單光子聚合或雙光子聚合而固化被照射的光學(xué)材料。

在進(jìn)一步的方案中，所述S5步驟中，采用化學(xué)清洗的方式，去除未固化的光學(xué)材料，留下的已固化部分即為所需的補償用光學(xué)器件。

在進(jìn)一步的方案中，所述S5步驟中，采用等離子體清洗的方式，去除未固化的光學(xué)材料，留下的已固化部分即為所需的補償用光學(xué)器件。

在進(jìn)一步的方案中，所述S5步驟后，還包括S6后處理步驟，即對光學(xué)器件進(jìn)行表面處理，以使得其表面符合光學(xué)要求。

在進(jìn)一步的方案中，所述S6后處理步驟中，包括對光學(xué)器件表面進(jìn)行拋光、親/疏水表面處理。

本發(fā)明通過光路補償用光學(xué)器件的曲面設(shè)計以及高精度的激光照射固化，從而得到具有特定曲面并用于相差校正的光學(xué)器件。該方法制作光學(xué)器件，不僅方便、快速，制作步驟簡單，成本低廉，同時該種方法所制得的光學(xué)器件具有較高的精度，使得被校正的光路可以被精準(zhǔn)地校正，消除光程差。

附圖說明

下面結(jié)合附圖詳述本發(fā)明的具體流程

圖1為本發(fā)明光學(xué)器件制作方法的流程圖。

具體實施方式

為詳細(xì)說明本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、所實現(xiàn)目的及效果，以下結(jié)合實施方式并配合附圖詳予說明。

結(jié)合附圖1，在一具體實施例中公開了一種具有任意曲面、用于相差校正的光學(xué)器件的直接制作方法，具體包括以下步驟：