[發(fā)明專利]液體化學(xué)回收系統(tǒng)、供應(yīng)系統(tǒng)和制造半導(dǎo)體裝置的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811300516.2
• 申請日: 2018-11-02
• 公開（公告）號: CN110176408A
• 公開（公告）日: 2019-08-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 金伶厚;樸晟見;盧炫佑;車知勳;崔溶俊
• 申請（專利權(quán)）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B01D35/02;B01D35/16
• 代理公司: 北京銘碩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11286
• 代理人: 劉燦強;董婷

提供了液體化學(xué)回收系統(tǒng)、液體化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)和制造半導(dǎo)體裝置的方法。液體化學(xué)回收系統(tǒng)包括：緩沖槽，從外部接收第一液體化學(xué)品；真空槽，具有連接至此的真空泵并使用真空泵從緩沖槽接收第一液體化學(xué)品；以及回收槽，從真空槽接收第一液體化學(xué)品并向外部提供作為回收的第一液體化學(xué)品的第二液體化學(xué)品，其中，緩沖槽包括提供第一液體化學(xué)品的第一注入部分以及將第一液體化學(xué)品提供到真空槽的第一供應(yīng)部分，并且緩沖槽的底部朝向第一供應(yīng)部分向下傾斜，以防止包含在第一液體化學(xué)品中的物質(zhì)積累在緩沖槽中。

于2018年2月20日在韓國知識產(chǎn)權(quán)局提交的名稱為“液體化學(xué)回收系統(tǒng)、液體化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)和使用液體化學(xué)回收系統(tǒng)制造半導(dǎo)體裝置的方法”的第10-2018-0019746號韓國專利申請通過引用全部包含于此。

技術(shù)領(lǐng)域

實施例涉及液體化學(xué)回收系統(tǒng)、液體化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)和使用液體化學(xué)回收系統(tǒng)制造半導(dǎo)體裝置的方法。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體世代的更新，蝕刻設(shè)備的世代已經(jīng)從批量式硅蝕刻設(shè)備轉(zhuǎn)變?yōu)閱尉臀g刻設(shè)備。

發(fā)明內(nèi)容

實施例涉及一種液體化學(xué)回收系統(tǒng)，所述液體化學(xué)回收系統(tǒng)包括：緩沖槽，從外部接收第一液體化學(xué)品；真空槽，具有連接至此的真空泵并使用真空泵從緩沖槽接收第一液體化學(xué)品；以及回收槽，從真空槽接收第一液體化學(xué)品，并向外部提供作為回收的第一液體化學(xué)品的第二液體化學(xué)品，其中，緩沖槽包括提供第一液體化學(xué)品的第一注入部分以及將第一液體化學(xué)品提供到真空槽的第一供應(yīng)部分，緩沖槽的底部朝向第一供應(yīng)部分向下傾斜，以防止包含在第一液體化學(xué)品中的物質(zhì)積累在緩沖槽中。

實施例也涉及一種液體化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)，所述液體化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)包括：第一儲存槽，包括第一液位傳感器并儲存第一液體化學(xué)品；第二儲存槽，包括第二液位傳感器并儲存第二液體化學(xué)品；主槽，連接到第一儲存槽和第二儲存槽，并接收第一液體化學(xué)品和第二液體化學(xué)品中的一個；工藝腔室，從主槽接收第一液體化學(xué)品和第二液體化學(xué)品中的一個，并且在其中執(zhí)行濕法蝕刻工藝；緩沖槽，從工藝腔室接收在濕法蝕刻工藝中使用的第三液體化學(xué)品；以及真空槽，包括第三液位傳感器并從緩沖槽接收第三液體化學(xué)品，其中，第三液體化學(xué)品沿著緩沖槽的傾斜表面被提供到真空槽，以防止包含在第三液體化學(xué)品中的物質(zhì)積累在緩沖槽中。

實施例還涉及一種制造半導(dǎo)體裝置的方法，所述方法包括：提供包括第一薄膜的基底；通過對基底執(zhí)行濕法蝕刻工藝去除第一薄膜的至少一部分，其中，濕法蝕刻工藝涉及使用液體化學(xué)回收系統(tǒng)，并且液體化學(xué)回收系統(tǒng)包括：緩沖槽，從工藝腔室接收第一液體化學(xué)品；真空槽，具有連接至此的真空泵，并使用真空泵并從緩沖槽接收第一液體化學(xué)品；以及回收槽，從真空槽接收第一液體化學(xué)品，并向工藝腔室提供作為回收的第一液體化學(xué)品的第二液體化學(xué)品，其中，緩沖槽包括提供第一液體化學(xué)品的第一注入部分和將第一液體化學(xué)品提供到真空槽的第一供應(yīng)部分，并且緩沖槽的底部朝向第一供應(yīng)部分向下傾斜，以防止包含在第一液體化學(xué)品中的物質(zhì)積累在緩沖槽中。

附圖說明

通過參照附圖詳細地描述示例實施例，特征對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言將變得明顯，在附圖中：

圖1示出了根據(jù)示例實施例的液體化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)的示意圖。

圖2示出了根據(jù)示例實施例的液位傳感器的示意圖。

圖3示出了根據(jù)示例實施例的在緩沖槽中析出的固體溶質(zhì)的示意圖。

圖4示出了根據(jù)示例實施例的緩沖槽的剖視圖。

圖5示出了根據(jù)示例實施例的會在真空槽中發(fā)生的固體溶質(zhì)的析出的剖視圖。

圖6示出了根據(jù)示例實施例的會在過濾器中發(fā)生的固體溶質(zhì)的析出的剖視圖。

圖7示出了根據(jù)示例實施例的液位傳感器的示意圖。

圖8A示出了根據(jù)示例實施例的液位傳感器的示意圖。