[發明專利]一種配向膜脫膜劑組合物及脫膜工藝有效
| 申請號： | 201811298244.7 | 申請日： | 2018-11-02 |
| 公開（公告）號： | CN109439468B | 公開（公告）日： | 2021-05-04 |
| 發明（設計）人： | 徐楊;邵勇;朱龍;陳林;承明忠;周勰;殷福華;趙文虎 | 申請（專利權）人： | 江陰江化微電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | C11D7/04 | 分類號： | C11D7/04;C11D7/06;C11D7/16;C11D7/26;C11D7/32;C11D7/34;C11D7/50;C11D7/60;G02F1/1337 |
| 代理公司： | 無錫堅恒專利代理事務所(普通合伙) 32348 | 代理人： | 杜興 |
| 地址： | 214400 江蘇省無*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 膜脫膜劑 組合 工藝 | ||
1.一種配向膜脫膜劑組合物，其特征在于，主要組成為堿性組分、非質子極性溶劑、有機醇溶劑和水，堿性組分中包含嗎啉；
按重量百分比計，配向膜脫膜劑組合物中主要組成包括2～20%的堿性組分、10～40%的非質子極性溶劑、5～30%的有機醇溶劑、30～45%的水，配向膜脫膜劑組合物中添加劑的重量百分比為0.5～20%；
堿性組分中還包括堿金屬氫氧化物、強堿弱酸鹽、氨水、水合肼和季銨堿中的一種或兩種以上的組合。
2.根據權利要求1所述的配向膜脫膜劑組合物，其特征在于，非質子極性溶劑為選自N-甲基吡咯烷酮、二甲基亞砜、二甲基甲酰胺和二甲基乙酰胺中的一種或兩種以上的組合。
3.根據權利要求2所述的配向膜脫膜劑組合物，其特征在于，堿性組分由堿金屬氫氧化物與嗎啉組合而成。
4.根據權利要求1所述的配向膜脫膜劑組合物，其特征在于，有機醇溶劑為選自C2～C4且具有兩個以上羥基的有機醇溶劑。
5.根據權利要求1所述的配向膜脫膜劑組合物，其特征在于，堿性組分由堿金屬氫氧化物、季銨堿與嗎啉組合而成，堿性組分中堿金屬氫氧化物、季銨堿與嗎啉的重量之比為（2～3）：（2～3）：1。
6.一種配向膜脫膜劑組合物的脫膜工藝，其特征在于，采用權利要求1-5中任意一項所述的配向膜脫膜劑組合物清洗具有表面配向膜的基板。
7.根據權利要求6所述的配向膜脫膜劑組合物的脫膜工藝，其特征在于，清洗溫度為45～65℃。
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