[發明專利]一種蒸鍍設備及蒸鍍方法

有效

• 申請號: 201811296070.0
• 申請日: 2018-11-01
• 公開（公告）號: CN109112489B
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發明（設計）人: 金明洙
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;綿陽京東方光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04;H01L51/56
• 代理公司: 北京潤澤恒知識產權代理有限公司 11319
• 代理人: 莎日娜

本申請提供了一種蒸鍍設備及蒸鍍方法，其中，所述蒸鍍設備包括：蒸鍍腔室，以及位于所述蒸鍍腔室內部的供應裝置、加熱裝置、壓合裝置和蒸鍍裝置，供應裝置用于提供掩膜板和基板；加熱裝置用于對掩膜板進行加熱，以使掩膜板膨脹；壓合裝置用于將膨脹的掩膜板與基板進行壓合；蒸鍍裝置用于對完成壓合后的基板進行蒸鍍。本申請實施例提供的蒸鍍設備，通過加熱裝置將掩模板加熱到膨脹狀態，然后通過壓合裝置將膨脹狀態下的掩模板與基板進行壓合，膨脹狀態下的掩膜板能夠與基板之間進行更緊密地貼合，減小掩模板與基板之間的縫隙，從而提高蒸鍍精度和蒸鍍質量，并且可以進一步提升蒸鍍設備的信賴性。

技術領域

本發明涉及蒸鍍工藝技術領域，特別是涉及一種蒸鍍設備及蒸鍍方法。

背景技術

有機電致發光器件(Organic Light Emitting Diodes:OLED)是利用熒光性有機化合物通電后發光的自發光器件。因為OLED器件不需要使用背光源back light，所以可以制作成極其輕薄的平板顯示器。

利用有機電致發光器件制成的平板顯示器憑借著應答速度快、可視角度大的特性成為了下一代顯示器的代表。另外，因為制造工藝簡單，還具備生產原價比起之前的液晶顯示器大有縮減的優點。

有機電致發光器件除包括陽極(Anode)和陰極(Cathode)之外，還包括空穴注入層、空穴傳輸層、發光層、電子傳輸層及電子注入層等有機薄膜。這些有機薄膜都是用真空熱蒸鍍的方法來蒸鍍到基板上的。

真空熱蒸鍍法是在蒸鍍腔室內的基板支撐部(holder)上放置基板，在具有同樣圖案的掩膜板(shadow mask)和基板對位(align)后對盛有蒸發材料的蒸發源進行加熱，使從蒸發源升華的材料蒸鍍到基板上。

其中，基板是用基板holder支撐其兩側部分的方式進行loading后才和shadowmask進行壓合。隨著基板大型化發展，基板放在兩側的基板holder上后，中間部分會產生下垂，在這樣的狀態下進行壓合，基板和掩膜板之間的貼合不緊密，隨之蒸鍍精度下降進而導致蒸鍍質量低下的問題。

發明內容

本發明提供及一種蒸鍍設備及蒸鍍方法，以提高蒸鍍精度和蒸鍍質量。

為了解決上述問題，本發明公開了一種蒸鍍設備，所述蒸鍍設備包括：蒸鍍腔室，以及位于所述蒸鍍腔室內部的供應裝置、加熱裝置、壓合裝置和蒸鍍裝置，

所述供應裝置，用于提供掩膜板和基板；

所述加熱裝置，用于對所述掩膜板進行加熱，以使所述掩膜板膨脹；

所述壓合裝置，用于將膨脹的掩膜板與所述基板進行壓合；

所述蒸鍍裝置，用于對完成壓合后的基板進行蒸鍍。

可選地，所述蒸鍍設備還包括位于所述蒸鍍腔室內部的蒸鍍源，所述供應裝置包括：

掩膜板支撐部，用于支撐所述掩膜板；

掩膜板運動部，與所述掩膜板支撐部連接，位于所述掩膜板支撐部背離所述掩膜板的一側，用于移動所述掩膜板支撐部；

基板支撐部，位于所述掩膜板支撐部背離所述蒸鍍源的一側，用于支撐所述基板。

可選地，所述掩膜板支撐部分別與所述掩膜板運動部以及所述掩膜板電連接，所述加熱裝置包括：

通電單元，與所述掩膜板運動部電連接，用于通過所述掩膜板運動部和所述掩膜板支撐部，在所述掩膜板上通電，對所述掩膜板進行加熱。

可選地，所述壓合裝置包括：

移動單元，用于驅動所述基板支撐部帶動所述基板朝向膨脹的掩膜板移動，使膨脹的掩膜板與所述基板之間對位貼合。

可選地，所述蒸鍍設備還包括：