[發明專利]1KΩ高精度電阻網絡電路及其修調方法

在審

• 申請號: 201811290170.2
• 申請日: 2018-10-31
• 公開（公告）號: CN109411446A
• 公開（公告）日: 2019-03-01
• 發明（設計）人: 顧祥;趙文彬;洪根深;吳建偉
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第五十八研究所
• 主分類號: H01L23/525
• 分類號: H01L23/525;H01L27/22
• 代理公司: 無錫派爾特知識產權代理事務所(普通合伙) 32340
• 代理人: 楊立秋

本發明公開了一種1KΩ高精度電阻網絡電路及其修調方法，修調方法包括以下步驟：S1、通過標準工藝制備高精度電阻網絡電路，測量引腳PADA和引腳PADB之間的電阻值，得出測量電阻值；S2、若測量電阻值大于目標1KΩ，則燒通第一量子化霍爾器件至第八量子化霍爾器件上串聯的反熔絲中的一個或一個以上；若測量電阻值小于目標1KΩ，則先燒斷金屬熔絲，再燒通第九量子化霍爾器件至第十六量子化霍爾器件上串聯的反熔絲中的一個或一個以上。本發明采用柵氧電容作為反熔絲，并結合金屬熔絲，可以同時完成電阻增大和減小兩個方向的調節，并通過新穎的電阻網絡電路結構，使得電阻精度在±0.5％以內，從而制備非常精準的電阻。

技術領域

本發明屬于半導體技術領域，具體涉及一種工藝簡單、成本低廉的1KΩ高精度電阻網絡電路及其修調方法，廣泛應用于電源管理、數模轉換、放大器等芯片系統中。

背景技術

高精度電阻網絡廣泛應用于電源管理、數模轉換等模擬電路中，通常在帶隙基準、頻率調制等模塊都會用到電阻網絡，為了達到準確的基準電壓、頻率等，需要設計可修調電阻網絡。

傳統的電阻網絡一般由多晶電阻、熔絲組成，只能將電阻往一個方向進行修正，因此，該方法存在一定的缺陷。

發明內容

為了解決上述技術問題，本發明提供了一種工藝簡單、成本低廉的1KΩ高精度電阻網絡電路及其修調方法，可用于電源管理、數模轉換、放大器等芯片設計中，實現準確的基準電壓、時鐘頻率等關鍵電參數。

為了達到上述目的，本發明的技術方案如下：

本發明提供一種1KΩ高精度電阻網絡電路，包括串聯的第一電路和第二電路，第一電路由第零量子化霍爾器件R、串聯的第一量子化霍爾器件4R和反熔絲、串聯的第二量子化霍爾器件8R和反熔絲、串聯的第三量子化霍爾器件16R和反熔絲、串聯的第四量子化霍爾器件32R和反熔絲、串聯的第五量子化霍爾器件64R和反熔絲、串聯的第六量子化霍爾器件128R和反熔絲、串聯的第七量子化霍爾器件256R和反熔絲、以及串聯的第八量子化霍爾器件512R和反熔絲并聯而成，第二電路由金屬熔絲、串聯的第九量子化霍爾器件R/4和反熔絲、串聯的第十量子化霍爾器件R/4和反熔絲、串聯的第十一量子化霍爾器件R/4和反熔絲、串聯的第十二量子化霍爾器件R/4和反熔絲、串聯的第十三量子化霍爾器件R/4和反熔絲、串聯的第十四量子化霍爾器件R/4和反熔絲、串聯的第十五量子化霍爾器件R/4和反熔絲、以及串聯的第十六量子化霍爾器件R/4和反熔絲并聯而成，第一電路的兩端設有引腳PADA和引腳PADB，第二電路未與第一電路連接的一端設有引腳PADC。

其中，R為1個量子化霍爾器件，4R為4個量子化霍爾器件的串聯，8R為8個量子化霍爾器件的串聯，16R為16個量子化霍爾器件的串聯，32R為32個量子化霍爾器件的串聯，64R為64個量子化霍爾器件的串聯，128R為128個量子化霍爾器件的串聯，256R為256個量子化霍爾器件的串聯，512R為512個量子化霍爾器件的串聯，R/4為4個量子化霍爾器件的并聯。

本發明還提供1KΩ高精度電阻網絡電路的修調方法，包括以下步驟：

S1、通過標準工藝制備1KΩ高精度電阻網絡電路，測量引腳PADA和引腳PADB之間的電阻值，得出測量電阻值；

S2、相對目標1KΩ判斷測量電阻值，若測量電阻值大于目標1KΩ，則燒通第一量子化霍爾器件4R至第八量子化霍爾器件512R上串聯的反熔絲中的一個或一個以上用于減小電阻；

若測量電阻值小于目標1KΩ，則先燒斷金屬熔絲，再燒通第九量子化霍爾器件R/4至第十六量子化霍爾器件R/4上串聯的反熔絲中的一個或一個以上用于增大電阻。

作為優選的方案，燒斷金屬熔絲的電應力條件為：電壓值為3v,時間為5ms；燒通反熔絲的電應力條件為：電壓值為4.5v,時間為5ms。