[發(fā)明專利]共享干泵系統(tǒng)的控制方法以及共享干泵系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811286292.4
• 申請日: 2018-10-31
• 公開（公告）號: CN111120281B
• 公開（公告）日: 2021-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張璐
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號: F04B49/06
• 分類號: F04B49/06;F04B49/22
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;姜春咸

本發(fā)明提供一種共享干泵系統(tǒng)的控制方法，共享干泵系統(tǒng)包括干泵和多個具有工藝腔的設(shè)備模塊，多個設(shè)備模塊包括至少一個第一設(shè)備模塊和至少一個第二設(shè)備模塊，第一設(shè)備模塊還包括冷泵，控制方法包括：確定多個設(shè)備模塊的優(yōu)先級；接收到申請使用干泵的多個申請信號后，根據(jù)優(yōu)先級以及接收到各個申請信號的時間對發(fā)送申請信號的多個設(shè)備模塊使用干泵的次序進(jìn)行排序；控制方法還包括在工藝階段進(jìn)行的以下步驟：當(dāng)當(dāng)前使用次序的設(shè)備模塊為第一設(shè)備模塊時，控制可控閥處于開啟狀態(tài)，當(dāng)當(dāng)前使用次序的設(shè)備模塊為第二設(shè)備模塊時，控制可控閥處于關(guān)閉狀態(tài)。所述控制方法可以控制多個設(shè)備模塊使用干泵的順序，滿足用戶需求成為亟需解決的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種共享干泵系統(tǒng)的控制方法以及執(zhí)行所述控制方法的共享干泵系統(tǒng)。

背景技術(shù)

對于半導(dǎo)體設(shè)備而言，工藝腔室和傳輸腔室都有嚴(yán)格的真空度要求，通常情況下所述工藝腔室內(nèi)部壓強(qiáng)要達(dá)到10^-8Torr，而傳輸腔室的內(nèi)部壓強(qiáng)也要達(dá)到10^-7Torr。

為了實現(xiàn)高真空且節(jié)約設(shè)備成本，通常情況下，所述半導(dǎo)體設(shè)備中多個工藝腔室共用了一個干泵，如圖1所示，以Alpad PVD設(shè)備為例：多個第一工藝腔室1'、多個第二工藝腔室2'和以及該第二工藝腔室2'連接的冷泵共用一個干泵，由設(shè)備控制軟件提供相關(guān)機(jī)制來解決多個工藝腔室使用干泵的協(xié)調(diào)問題。

現(xiàn)有技術(shù)中，結(jié)構(gòu)類似于上述Alpad PVD設(shè)備的共享干泵系統(tǒng)中，所有干泵的使用模塊(即各個工藝腔室)擁有相同的優(yōu)先級，在干泵的使用上嚴(yán)格按照“先到先得”的原則，但是在實際生產(chǎn)過程中，所述“先到先得”的運行機(jī)制不能很好地滿足用戶需求，例如，第一工藝腔室(例如，冷卻腔室PsA)在工藝過程中申請使用所述干泵，若不能夠及時地獲得所述干泵的使用權(quán)，就會產(chǎn)生報警并中斷設(shè)備運行，造成產(chǎn)量損失。

因此，如何設(shè)計一種共享干泵系統(tǒng)的控制方法，以控制多個設(shè)備模塊使用干泵的順序，滿足用戶需求成為亟需解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種共享干泵系統(tǒng)的控制方法以及執(zhí)行所述控制方法的共享干泵系統(tǒng)。所述控制方法可以控制多個設(shè)備模塊使用干泵的順序，滿足用戶需求成為亟需解決的問題。

為了解決上述問題，作為本發(fā)明的一個方面，提供了一種共享干泵系統(tǒng)的控制方法，所述共享干泵系統(tǒng)包括干泵和多個具有工藝腔的設(shè)備模塊，多個所述設(shè)備模塊包括至少一個第一設(shè)備模塊和至少一個第二設(shè)備模塊，所述第一設(shè)備模塊還包括冷泵，其中，所述控制方法包括：

確定多個所述設(shè)備模塊的優(yōu)先級；

接收到申請使用所述干泵的多個申請信號后，根據(jù)所述優(yōu)先級以及接收到各個申請信號的時間對發(fā)送所述申請信號的多個設(shè)備模塊使用所述干泵的次序進(jìn)行排序；

所述控制方法還包括在工藝階段進(jìn)行的以下步驟：

當(dāng)當(dāng)前使用次序的設(shè)備模塊為第一設(shè)備模塊時，控制可控閥處于開啟狀態(tài)，以使得所述干泵的抽氣口與相應(yīng)的冷泵的出氣口通過開啟狀態(tài)的可控閥連通，并控制所述干泵對相應(yīng)的冷泵抽真空，

當(dāng)當(dāng)前使用次序的設(shè)備模塊為第二設(shè)備模塊時，控制所述可控閥處于關(guān)閉狀態(tài)，以使得所述干泵的抽氣口與所有冷泵的出氣口斷開，并控制所述干泵對相應(yīng)的第二設(shè)備模塊的工藝腔進(jìn)行抽真空。

優(yōu)選地，根據(jù)所述優(yōu)先級以及接收到各個申請信號的時間對發(fā)送所述申請信號的多個設(shè)備模塊使用所述干泵的次序進(jìn)行排序包括：

當(dāng)發(fā)出申請信號的多個所述設(shè)備模塊優(yōu)先級相同時，按照接收到所述申請信號的時間順序，對發(fā)送所述申請信號的多個所述設(shè)備模塊使用所述干泵的次序進(jìn)行排序；

當(dāng)發(fā)出申請信號的多個所述設(shè)備模塊優(yōu)先級不同時，按照所述設(shè)備模塊的優(yōu)先級，對發(fā)送所述申請信號的多個所述設(shè)備模塊使用所述干泵的次序進(jìn)行排序。