[發明專利]共享干泵系統的控制方法以及共享干泵系統

有效

• 申請號: 201811286292.4
• 申請日: 2018-10-31
• 公開（公告）號: CN111120281B
• 公開（公告）日: 2021-07-09
• 發明（設計）人: 張璐
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: F04B49/06
• 分類號: F04B49/06;F04B49/22
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;姜春咸

1.一種共享干泵系統的控制方法，所述共享干泵系統包括干泵和多個具有工藝腔的設備模塊，多個所述設備模塊包括至少一個第一設備模塊和至少一個第二設備模塊，所述第一設備模塊還包括冷泵，其特征在于，所述控制方法包括：

確定多個所述設備模塊的優先級；

接收到申請使用所述干泵的多個申請信號后，根據所述優先級以及接收到各個申請信號的時間對發送所述申請信號的多個設備模塊使用所述干泵的次序進行排序；

所述控制方法還包括在工藝階段進行的以下步驟：

當當前使用次序的設備模塊為第一設備模塊時，控制可控閥處于開啟狀態，以使得所述干泵的抽氣口與相應的冷泵的出氣口通過開啟狀態的可控閥連通，并控制所述干泵對相應的冷泵抽真空，

當當前使用次序的設備模塊為第二設備模塊時，控制所述可控閥處于關閉狀態，以使得所述干泵的抽氣口與所有冷泵的出氣口斷開，并控制所述干泵對相應的第二設備模塊的工藝腔進行抽真空。

2.根據權利要求1所述的控制方法，其特征在于，根據所述優先級以及接收到各個申請信號的時間對發送所述申請信號的多個設備模塊使用所述干泵的次序進行排序包括：

當發出申請信號的多個所述設備模塊優先級相同時，按照接收到所述申請信號的時間順序，對發送所述申請信號的多個所述設備模塊使用所述干泵的次序進行排序；

當發出申請信號的多個所述設備模塊優先級不同時，按照所述設備模塊的優先級，對發送所述申請信號的多個所述設備模塊使用所述干泵的次序進行排序。

3.根據權利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述第一設備模塊中的至少一個的工藝腔為外延生長腔室，所述第二設備模塊中的至少一個的工藝腔為冷卻腔室，包括所述冷卻腔室的第二設備模塊的優先級高于包括外延生長腔室的第一設備模塊的優先級。

4.根據權利要求1至3中任意一項所述的控制方法，其特征在于，所述控制方法還包括在初始化階段進行的以下步驟：

控制所述可控閥處于關閉狀態，以使得所述干泵的抽氣口與所有冷泵的出氣口斷開，并控制所述干泵同時對所有設備模塊的工藝腔抽真空，其中，

所述初始化階段在所述工藝階段之前進行。

5.一種共享干泵系統，所述共享干泵系統包括干泵、控制模塊和多個具有工藝腔的設備模塊，多個所述設備模塊包括至少一個第一設備模塊和至少一個第二設備模塊，所述第一設備模塊還包括冷泵，其特征在于，

所述共享干泵系統還包括可控閥，所述可控閥的入口與所述冷泵的出氣口連通，所述可控閥的出口與所述干泵的抽氣口連通，所述控制模塊包括：

優先級確定單元，用于確定多個所述設備模塊的優先級；

排序單元，用于接收到申請使用所述干泵的多個申請信號后，根據所述優先級以及接收到各個申請信號的時間對發送所述申請信號的多個設備模塊使用所述干泵的次序進行排序；

控制單元，用于當當前使用次序的設備模塊為第一設備模塊時，控制所述可控閥處于開啟狀態，并控制所述干泵對相應的冷泵抽真空，所述控制單元還用于當當前使用次序的設備模塊為第二設備模塊時，控制所述可控閥處于關閉狀態，并控制所述干泵對相應的第二設備模塊的工藝腔抽真空。

6.根據權利要求5所述的共享干泵系統，其特征在于，

所述排序單元用于在當發出申請信號的多個所述設備模塊優先級相同時，按照接收到所述申請信號的時間順序，對發送所述申請信號的多個所述設備模塊使用所述干泵的次序進行排序；

所述排序單元還用于在當發出申請信號的多個所述設備模塊優先級不同時，按照所述設備模塊的優先級，對發送所述申請信號的多個所述設備模塊使用所述干泵的次序進行排序。

7.根據權利要求5所述的共享干泵系統，其特征在于，所述第一設備模塊中的至少一個的工藝腔為外延生長腔室，所述第二設備模塊中的至少一個的工藝腔為冷卻腔室，所述優先級確定單元用于將包括所述冷卻腔室的第二設備模塊的優先級確定為高于包括外延生長腔室的第一設備模塊的優先級。