[發明專利]反應槽設備的過濾器清洗裝置及其清洗方法、反應槽設備

在審

• 申請號: 201811283635.1
• 申請日: 2018-10-30
• 公開（公告）號: CN109316819A
• 公開（公告）日: 2019-02-12
• 發明（設計）人: 袁林濤;高英哲;葉日銓;劉家樺
• 申請（專利權）人: 德淮半導體有限公司
• 主分類號: B01D36/00
• 分類號: B01D36/00;B01J19/00;B08B9/08
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 武振華;吳敏

1.一種反應槽設備的過濾器清洗裝置，其特征在于，包括：

清洗槽，用于容置清洗液體；

清洗槽進液管路，用于向所述清洗槽輸入所述清洗液體；

清洗槽出液管路，用于從所述清洗槽輸出所述清洗液體；

備用過濾器，所述備用過濾器具有入口和出口；

第一三通閥，所述第一三通閥具有一個入口與兩個出口，所述第一三通閥的入口與所述清洗槽出液管路連通，所述第一三通閥的第一出口與所述備用過濾器的入口連通；

第二三通閥，所述第二三通閥具有一個入口與兩個出口，所述第二三通閥的第一出口與所述備用過濾器的入口連通；

第三三通閥，所述第三三通閥具有兩個入口與一個出口，所述第三三通閥的第一入口與所述備用過濾器的出口連通；

第四三通閥，所述第四三通閥具有兩個入口與一個出口，所述第四三通閥的第一入口與所述備用過濾器的出口連通，所述第四三通閥的出口與所述清洗槽進液管路連通。

2.根據權利要求1所述的反應槽設備的過濾器清洗裝置，其特征在于，所述反應槽設備包括反應槽、原始過濾器、反應槽進液管路以及反應槽出液管路；

其中，所述第一三通閥的第二出口以及所述第二三通閥的第二出口用于與所述原始過濾器的入口連通，所述第二三通閥的入口用于與所述反應槽出液管路連通，所述第三三通閥的第二入口以及所述第四三通閥的第二入口用于與所述原始過濾器的出口連通，所述第三三通閥的出口用于與所述反應槽進液管路連通。

3.根據權利要求1所述的反應槽設備的過濾器清洗裝置，其特征在于，所述清洗槽內的清洗液體為氫氟酸溶液。

4.根據權利要求3所述的反應槽設備的過濾器清洗裝置，其特征在于，所述氫氟酸溶液中氫氟酸與水的質量比為1：10至1：1000。

5.根據權利要求1所述的反應槽設備的過濾器清洗裝置，其特征在于，還包括清洗槽泵，所述清洗槽泵安裝在所述清洗槽出液管路上。

6.根據權利要求1所述的反應槽設備的過濾器清洗裝置，其特征在于，還包括清洗槽輸液管路以及清洗槽廢棄管路；

其中，所述清洗槽輸液管路在開啟時向所述清洗槽內輸入清洗液體；

所述清洗槽廢棄管路在開啟時排出所述清洗槽內的清洗后液體。

7.一種基于權利要求1至6任一項所述的反應槽設備的過濾器清洗裝置的備用過濾器清洗方法，其特征在于，包括：

提供反應槽設備以及權利要求1至6任一項所述過濾器清洗裝置，所述反應槽設備包括：

反應槽，用于容置反應液體；

反應槽進液管路，用于向所述清洗槽輸入所述反應液體；

反應槽出液管路，用于從所述清洗槽輸出所述反應液體；

原始過濾器，所述原始過濾器具有入口和出口；

將所述第一三通閥的第二出口與所述原始過濾器的入口連通，將所述第二三通閥的入口與所述反應槽出液管路連通，將所述第二三通閥的第二出口與所述原始過濾器的入口連通，將所述第三三通閥的第二入口與所述原始過濾器的出口連通，將所述第四三通閥的第二入口與所述原始過濾器的出口連通，將所述第三三通閥的出口與所述反應槽進液管路連通；

控制所述第一三通閥的入口與第一出口導通，且控制所述第四三通閥的第一入口以及出口導通，控制所述第二三通閥的入口與第二出口導通，且控制所述第三三通閥的第二入口與出口導通；

其中，所述反應槽中的反應液體流經所述第二三通閥、所述原始過濾器以及所述第三三通閥后回到所述反應槽中，所述清洗槽中的清洗液體流經所述第一三通閥、所述備用過濾器以及所述第四三通閥后回到所述清洗槽中。