[發明專利]一種漏水檢測設備及具有該漏水檢測設備的曝光機

在審

• 申請號: 201811282256.0
• 申請日: 2018-10-29
• 公開（公告）號: CN111103097A
• 公開（公告）日: 2020-05-05
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: G01M3/16
• 分類號: G01M3/16
• 代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438
• 代理人: 袁禮君;闞梓瑄

本發明提供一種漏水檢測設備及具有該漏水檢測設備的曝光機，漏水檢測設備用于對一裝置進行漏水檢測，漏水檢測設備包括檢測部和儲液部。檢測部包括漏液檢測器，其與裝置連接，當裝置內的液體泄露時，漏液檢測器能夠被觸發，并發出漏水信號。儲液部與裝置連接，能夠容納自裝置泄露的液體。

技術領域

本發明涉及半導體制造領域，特別涉及一種具有漏水檢測設備的曝光機。

背景技術

曝光機是半導體制造工藝中所使用的重要設備。如圖1所示，曝光機通常包括曝光單元110、防震臺120及電控柜130。曝光單元110支撐于防震臺120上，電控柜130設置于防震臺120的下方。曝光過程中，曝光單元110中的水可能會發生泄露，漏出的水會沿著防震臺向下滴落到電控柜130上，從而造成設備短路、損毀，導致嚴重經濟損失。并且，電控柜130的重新恢復時間較長(約花費十幾小時)，若購入新機，則訂購周期較長(至少1周)，且訂購費高昂(至少上百萬人民幣)。可見，曝光機漏水將給整個制造設備帶來嚴重的經濟及時間損失。

因此，如何降低曝光機漏水帶來的損失，實為半導體制造領域亟待解決的問題。

發明內容

基于上述問題，本發明提供了一種漏水檢測設備及具有該漏水檢測設備的曝光機，降低曝光機漏水帶來的損失。

為達成上述目的，本發明提供一種漏水檢測設備，用于對一裝置進行漏水檢測，漏水檢測設備包括檢測部和儲液部。

檢測部包括漏液檢測器，其與裝置連接，當裝置內的液體泄露時，漏液檢測器能夠被觸發，并發出漏水信號。儲液部與裝置連接，能夠容納自裝置泄露的液體。

根據一實施例，漏液檢測器包括帶狀傳感器和一檢測器，檢測器能夠對傳感器提供電壓以及對漏水信號進行收集放大處理。

根據一實施例，帶狀傳感器圍繞設置于至少部分裝置的外周。

根據一實施例，帶狀傳感器連續的圍繞裝置的整個外周。

根據一實施例，帶狀傳感器與裝置的外周緊密貼合。

根據一實施例，儲液部包括蓄水槽，蓄水槽位于漏液檢測器的下方，用于接收由裝置泄露的液體。

根據一實施例，蓄水槽設置于至少部分裝置的外周。

根據一實施例，蓄水槽連續的圍繞裝置的整個外周。

根據一實施例，蓄水槽的一側與裝置的外周緊密貼合。

根據一實施例，儲液部還包括儲水桶，用于接收來自蓄水槽的液體。

根據一實施例，儲液部還包括導液管，導液管的兩端分別與蓄水槽和儲水桶連通，從而將蓄水槽內的液體導入儲水桶內。

根據一實施例，蓄水槽的底部具有開孔，導液管的一端與開孔連通，儲水桶位于蓄水槽的下方。

根據一實施例，檢測部還包括警報器，其能夠接收來自漏液檢測器發出的漏水信號，并發出警報。

本發明另一方面，提供一種曝光機，其包括曝光單元、防震臺、電控柜及如上述的漏水檢測設備，曝光機支撐于防震臺上，電控柜設置于防震臺的下方，漏液檢測器和儲液部與曝光單元或防震臺連接，當曝光單元內的液體泄露時，漏液檢測器能夠被觸發，并發出漏水信號。

根據一實施例，漏液檢測器圍繞設置于至少部分曝光單元或防震臺的外周，儲液部圍繞設置于至少部分曝光單元或防震臺的外周。

本發明相較于現有技術的有益效果在于：發明的漏水檢測設備能夠及時檢測到漏水，并收集漏水，同時實現了檢測和阻漏，從而有效的保護曝光機的部件不會損壞，降低財產損失和設備停機時間。

附圖說明

圖1為現有的曝光機的示意圖。