[發(fā)明專利]一種漏水檢測(cè)設(shè)備及具有該漏水檢測(cè)設(shè)備的曝光機(jī)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811282256.0
• 申請(qǐng)日: 2018-10-29
• 公開（公告）號(hào): CN111103097A
• 公開（公告）日: 2020-05-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 不公告發(fā)明人
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G01M3/16
• 分類號(hào): G01M3/16
• 代理公司: 北京律智知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11438
• 代理人: 袁禮君;闞梓瑄

1.一種漏水檢測(cè)設(shè)備，用于對(duì)一裝置進(jìn)行漏水檢測(cè)，漏水檢測(cè)設(shè)備包括：

檢測(cè)部，包括漏液檢測(cè)器，其與裝置連接，當(dāng)裝置內(nèi)的液體泄露時(shí)，漏液檢測(cè)器能夠被觸發(fā)，并發(fā)出漏水信號(hào)；及

儲(chǔ)液部，其與裝置連接，能夠容納自裝置泄露的液體。

2.如權(quán)利要求1所述的漏水檢測(cè)設(shè)備，其中，漏液檢測(cè)器包括帶狀傳感器和一檢測(cè)器，檢測(cè)器能夠?qū)鞲衅魈峁╇妷阂约皩?duì)漏水信號(hào)進(jìn)行收集放大處理。

3.如權(quán)利要求2所述的漏水檢測(cè)設(shè)備，其中，帶狀傳感器圍繞設(shè)置于至少部分裝置的外周。

4.如權(quán)利要求3所述的漏水檢測(cè)設(shè)備，其中，帶狀傳感器連續(xù)的圍繞裝置的整個(gè)外周。

5.如權(quán)利要求4所述的漏水檢測(cè)設(shè)備，其中，帶狀傳感器與裝置的外周緊密貼合。

6.如權(quán)利要求1所述的漏水檢測(cè)設(shè)備，其中，儲(chǔ)液部包括蓄水槽，蓄水槽位于漏液檢測(cè)器的下方，用于接收由裝置泄露的液體。

7.如權(quán)利要求6所述的漏水檢測(cè)設(shè)備，其中，蓄水槽設(shè)置于至少部分裝置的外周。

8.如權(quán)利要求7所述的漏水檢測(cè)設(shè)備，其中，蓄水槽連續(xù)的圍繞裝置的整個(gè)外周。

9.如權(quán)利要求8所述的漏水檢測(cè)設(shè)備，其中，蓄水槽的一側(cè)與裝置的外周緊密貼合。

10.如權(quán)利要求1所述的漏水檢測(cè)設(shè)備，其中，儲(chǔ)液部還包括儲(chǔ)水桶，用于接收來(lái)自蓄水槽的液體。

11.如權(quán)利要求10所述的漏水檢測(cè)設(shè)備，其中，儲(chǔ)液部還包括導(dǎo)液管，導(dǎo)液管的兩端分別與蓄水槽和儲(chǔ)水桶連通，從而將蓄水槽內(nèi)的液體導(dǎo)入儲(chǔ)水桶內(nèi)。

12.如權(quán)利要求11所述的漏水檢測(cè)設(shè)備，其中，蓄水槽的底部具有開孔，導(dǎo)液管的一端與開孔連通，儲(chǔ)水桶位于蓄水槽的下方。

13.如權(quán)利要求1所述的漏水檢測(cè)設(shè)備，其中，檢測(cè)部還包括警報(bào)器，其能夠接收來(lái)自漏液檢測(cè)器發(fā)出的漏水信號(hào)，并發(fā)出警報(bào)。

14.一種曝光機(jī)，其包括曝光單元、防震臺(tái)、電控柜及如權(quán)利要求1至13中任一項(xiàng)所述的漏水檢測(cè)設(shè)備，曝光機(jī)支撐于防震臺(tái)上，電控柜設(shè)置于防震臺(tái)的下方，漏液檢測(cè)器和儲(chǔ)液部與曝光單元或防震臺(tái)連接，當(dāng)曝光單元內(nèi)的液體泄露時(shí)，漏液檢測(cè)器能夠被觸發(fā)，并發(fā)出漏水信號(hào)。

15.如權(quán)利要求14所述的曝光機(jī)，其中，漏液檢測(cè)器圍繞設(shè)置于至少部分曝光單元或防震臺(tái)的外周，儲(chǔ)液部圍繞設(shè)置于至少部分曝光單元或防震臺(tái)的外周。