[發(fā)明專(zhuān)利]芯片測(cè)試電路、存儲(chǔ)器以及晶圓

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811280386.0
• 申請(qǐng)日: 2018-10-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111123066A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 牟文杰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01R31/28
• 分類(lèi)號(hào): G01R31/28;H01L21/66
• 代理公司: 北京律智知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11438
• 代理人: 袁禮君;闞梓瑄

1.一種芯片測(cè)試電路，其特征在于，包括：

測(cè)試信號(hào)接口，用于接收測(cè)試信號(hào)；

第一靜電防護(hù)電路，所述第一靜電防護(hù)電路的一端與所述測(cè)試信號(hào)接口相連；

信號(hào)選擇電路，所述信號(hào)選擇電路的第一輸入端與所述第一靜電防護(hù)電路的另一端相連，第二輸入端用于接收工作信號(hào)，控制端用于接收與所述測(cè)試信號(hào)相關(guān)的特征信號(hào)，輸出端用于向待測(cè)試芯片輸出所述測(cè)試信號(hào)或者所述工作信號(hào)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片測(cè)試電路，其特征在于，還包括：

工作信號(hào)接口，用于接收所述工作信號(hào)；

第二靜電防護(hù)電路，所述第二靜電防護(hù)電路的一端與所述工作信號(hào)接口相連，另一端與所述信號(hào)選擇電路的第二輸入端相連；

其中，所述第一靜電防護(hù)電路與所述第二靜電防護(hù)電路具有相同的電路結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片測(cè)試電路，其特征在于，所述信號(hào)選擇電路包括：

第一開(kāi)關(guān)元件，所述第一開(kāi)關(guān)元件的第一極與所述信號(hào)選擇電路的第一輸入端相連，第二極與所述信號(hào)選擇電路的輸出端相連，柵極與所述信號(hào)選擇電路的控制端相連；

第二開(kāi)關(guān)元件，所述第二開(kāi)關(guān)元件的第一極與所述信號(hào)選擇電路的第二輸入端相連，第二極與所述信號(hào)選擇電路的輸出端相連，柵極通過(guò)一反向器與所述信號(hào)選擇電路的控制端相連；

其中，所述第一開(kāi)關(guān)元件與所述第二開(kāi)關(guān)元件具有相同的開(kāi)關(guān)驅(qū)動(dòng)條件。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片測(cè)試電路，其特征在于，所述信號(hào)選擇電路包括：

第三開(kāi)關(guān)元件，所述第三開(kāi)關(guān)元件的第一極與所述信號(hào)選擇電路的第一輸入端相連，第二極與所述信號(hào)選擇電路的輸出端相連，柵極與所述信號(hào)選擇電路的控制端相連；

第四開(kāi)關(guān)元件，所述第四開(kāi)關(guān)元件的第一極與所述信號(hào)選擇電路的第二輸入端相連，第二極與所述信號(hào)選擇電路的輸出端相連，柵極與所述信號(hào)選擇電路的控制端相連；

其中，所述第三開(kāi)關(guān)元件與所述第四開(kāi)關(guān)元件具有相反的開(kāi)關(guān)驅(qū)動(dòng)條件。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的芯片測(cè)試電路，其特征在于，所述信號(hào)選擇電路還包括：

電平轉(zhuǎn)換器，用于調(diào)整所述控制端接收到的所述特征信號(hào)的電壓值。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的芯片測(cè)試電路，其特征在于，所述測(cè)試信號(hào)接口包括所述待測(cè)試芯片的測(cè)試焊盤(pán)，所述工作信號(hào)接口包括所述待測(cè)試芯片的引線(xiàn)焊盤(pán)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片測(cè)試電路，其特征在于，所述第一靜電防護(hù)電路包括：

中間節(jié)點(diǎn)，用于連接所述測(cè)試信號(hào)接口和所述信號(hào)選擇電路；

第一二極管，所述第一二極管的正極與所述中間節(jié)點(diǎn)相連，負(fù)極與第一電壓端相連；

第二二極管，所述第二二極管的正極與第二電壓端相連，負(fù)極與所述中間節(jié)點(diǎn)相連。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的芯片測(cè)試電路，其特征在于，所述第一靜電防護(hù)電路還包括：

鎮(zhèn)流電阻，所述鎮(zhèn)流電阻位于所述中間節(jié)點(diǎn)與所述信號(hào)選擇電路的連接通路上。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的芯片測(cè)試電路，其特征在于，所述第一電壓端接入所述待測(cè)試芯片的工作電壓，所述第二電壓端接入接地電壓。

10.一種存儲(chǔ)器，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-9中任意一項(xiàng)所述的芯片測(cè)試電路。

11.一種晶圓，其特征在于，包括多個(gè)待測(cè)試芯片以及與所述待測(cè)試芯片相對(duì)應(yīng)的如權(quán)利要求1-9中任意一項(xiàng)所述的芯片測(cè)試電路。