[發明專利]芯片測試電路、存儲器以及晶圓

在審

• 申請號: 201811280386.0
• 申請日: 2018-10-30
• 公開（公告）號: CN111123066A
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發明（設計）人: 牟文杰
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;H01L21/66
• 代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438
• 代理人: 袁禮君;闞梓瑄

本公開涉及一種芯片測試電路、存儲器以及晶圓，本公開實施例提供的芯片測試電路包括：測試信號接口，用于接收測試信號；第一靜電防護電路，所述第一靜電防護電路的一端與所述測試信號接口相連；信號選擇電路，所述信號選擇電路的第一輸入端與所述第一靜電防護電路的另一端相連，第二輸入端用于接收工作信號，控制端用于接收與所述測試信號相關的特征信號，輸出端用于向待測試芯片輸出所述測試信號或者所述工作信號。本公開實施例所提供的芯片測試電路可以獲得更加接近芯片正常工作狀態的測試結果，提高了芯片測試結果的可靠性，進而也可以提高芯片生產加工中的良品率。

技術領域

本公開涉及集成電路技術領域，具體涉及一種芯片測試電路、存儲器以及晶圓。

背景技術

在芯片的生產加工過程中一般會涉及多道測試工序，例如在對晶圓進行切割之前需要對晶圓上各個芯片的工作電氣特性進行初步測試，檢測芯片是否能夠正常工作，是否符合規定標準。該測試通常在自動測試設備(Automatic Test Equipment，簡稱ATE)上進行，ATE時鐘常通過倍頻電路倍頻之后向芯片內部提供高頻時鐘以進行測試。在現有的測試方案中，測試模式下的測試信號會直接進入待測試芯片中，這與工作模式下的工作信號的傳輸路徑存在差異，因此會導致測試結果與實際工作結果產生較大誤差。

需要說明的是，在上述背景技術部分公開的信息僅用于加強對本公開的背景的理解，因此可以包括不構成對本領域普通技術人員已知的現有技術的信息。

發明內容

本公開的目的在于提供一種芯片測試電路、存儲器以及晶圓，進而至少在一定程度上克服由于相關技術的限制而導致的芯片測試結果可靠性差的技術問題。

根據本公開的一個方面，提供一種芯片測試電路，其特殊之處在于，包括：

測試信號接口，用于接收測試信號；

第一靜電防護電路，所述第一靜電防護電路的一端與所述測試信號接口相連；

信號選擇電路，所述信號選擇電路的第一輸入端與所述第一靜電防護電路的另一端相連，第二輸入端用于接收工作信號，控制端用于接收與所述測試信號相關的特征信號，輸出端用于向待測試芯片輸出所述測試信號或者所述工作信號。

在本公開的一種示例性實施方式中，所述芯片測試電路還包括：

工作信號接口，用于接收所述工作信號；

第二靜電防護電路，所述第二靜電防護電路的一端與所述工作信號接口相連，另一端與所述信號選擇電路的第二輸入端相連；

其中，所述第一靜電防護電路與所述第二靜電防護電路具有相同的電路結構。

在本公開的一種示例性實施方式中，所述信號選擇電路包括：

第一開關元件，所述第一開關元件的第一極與所述信號選擇電路的第一輸入端相連，第二極與所述信號選擇電路的輸出端相連，柵極與所述信號選擇電路的控制端相連；

第二開關元件，所述第二開關元件的第一極與所述信號選擇電路的第二輸入端相連，第二極與所述信號選擇電路的輸出端相連，柵極通過一反向器與所述信號選擇電路的控制端相連；

其中，所述第一開關元件與所述第二開關元件具有相同的開關驅動條件。

在本公開的一種示例性實施方式中，所述信號選擇電路包括：

第三開關元件，所述第三開關元件的第一極與所述信號選擇電路的第一輸入端相連，第二極與所述信號選擇電路的輸出端相連，柵極與所述信號選擇電路的控制端相連；

第四開關元件，所述第四開關元件的第一極與所述信號選擇電路的第二輸入端相連，第二極與所述信號選擇電路的輸出端相連，柵極與所述信號選擇電路的控制端相連；