[發明專利]一種集成電路板加工工藝有效
| 申請號: | 201811279722.X | 申請日: | 2018-10-30 |
| 公開(公告)號: | CN109390257B | 公開(公告)日: | 2021-07-30 |
| 發明(設計)人: | 徐亞琴;王志強 | 申請(專利權)人: | 中山市木林森微電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 中山華文專利代理事務所(普通合伙) 44737 | 代理人: | 鮑璐璐;曹聰聰 |
| 地址: | 528400 廣東省*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 集成 電路板 加工 工藝 | ||
1.一種集成電路板加工工藝,其特征在于,該工藝包括如下步驟:
S1:在電路板加工設備的輸送前端安裝一臺七自由度關節機器人,通過七自由度關節機器人將電路板放置在電路板加工設備的輸送結構上;
S2:在S1中的電路板加工設備的高度調節結構的下方安裝精確定位裝置,所述精確定位裝置包括定位模塊、工業鏡頭、無線傳輸模塊;精確定位裝置對輸送到打碼機下方的電路板進行精確定位,同時通過無線傳輸模塊將位置的偏移量傳輸給S1中的七自由度關節機器人;
S3:在S2中的電路板加工設備的另一端放置一臺服務機器人,通過服務機器人輔助電路板加工設備對S2中精確定位后的電路板進行加工,同時服務機器人對電路板加工設備出現的緊急情況進行處理,保證電路板加工設備的正常運行;
該工藝通過電路板加工設備對電路板進行加工,所述電路板加工設備包括工作臺(1)、標示結構(2)、支撐架(3)、高度調節結構(4)、輸送結構(5)和驅動結構(6);所述工作臺(1)的頂端設有U形結構的所述支撐架(3),所述支撐架(3)與所述工作臺(1)之間通過螺栓連接,且所述支撐架(3)上設有用于對不同大小的集成電路板進行打碼的所述驅動結構(6),且所述驅動結構(6)與所述支撐架(3)之間可拆卸連接;所述驅動結構(6)的底端設有用于安裝打碼機的所述高度調節結構(4);所述高度調節結構(4)的底端設有用于輸送集成電路板的所述輸送結構(5),且所述輸送結構(5)與所述工作臺(1)之間可拆卸連接;所述工作臺(1)上設有用于配合所述輸送結構(5)對集成電路板進行定位的所述標示結構(2);
所述輸送結構(5)包括驅動盤(51)、防滑套(52)、輸送帶(53)、支撐桿(54)、驅動套(55)、兩個轉軸(56)和多個限位桿(57),所述支撐桿(54)與所述工作臺(1)之間通過螺栓連接,兩個所述轉軸(56)分別固定于所述支撐桿(54)和所述工作臺(1),圓柱體結構的所述驅動套(55)固定于所述轉軸(56),所述驅動套(55)的圓周方向上圓周陣列設有多個凹槽,所述驅動套(55)的直徑從兩端往中間逐漸減小,所述輸送帶(53)纏繞于兩個所述驅動套(55),所述輸送帶(53)的厚度從中間往兩端逐漸減小,所述輸送帶(53)上設有多個等距分布的梯形結構的所述限位桿(57),所述限位桿(57)與所述驅動套(55)嚙合,且所述輸送帶(53)上固定有橡膠的用于固定集成電路板的所述防滑套(52),所述驅動盤(51)固定于所述工作臺(1)上的所述轉軸(56);
所述標示結構(2)包括刻度條(21)和指示條(22),所述指示條(22)固定于所述防滑套(52)的拐角處,所述指示條(22)為三角形結構,所述工作臺(1)上設有與所述指示條(22)對應的所述刻度條(21);
所述驅動結構(6)包括第二驅動桿(61)、兩個驅動輪(62)、皮帶(63)、蓋板(64)、傳動塊(65)和驅動絲桿(66),所述傳動塊(65)與所述支撐架(3)之間滑動連接,所述支撐架(3)上設有用于對所述傳動塊(65)進行限位的所述蓋板(64),所述蓋板(64)與所述支撐架(3)之間通過螺栓進行連接,所述驅動絲桿(66)貫穿于所述支撐架(3)延伸至所述傳動塊(65)的內部,所述驅動絲桿(66)與所述支撐架(3)之間轉動連接,所述驅動絲桿(66)與所述傳動塊(65)之間螺紋連接,所述第二驅動桿(61)貫穿連接于一個所述驅動輪(62)與所述工作臺(1),所述第二驅動桿(61)與所述工作臺(1)之間轉動連接,另一個所述驅動輪(62)固定于所述驅動絲桿(66),所述皮帶(63)纏繞于兩個所述驅動輪(62);
所述高度調節結構(4)包括安裝室(41)、套筒(42)、安裝架(43)、第一驅動桿(44)和導向桿(45),所述套筒(42)固定于所述傳動塊(65),所述安裝架(43)與所述套筒(42)之間滑動連接,所述套筒(42)的內部矩形陣列安裝有四個圓柱體結構的所述導向桿(45),所述導向桿(45)與所述安裝架(43)之間滑動連接,所述安裝架(43)的底端設有矩形結構的所述安裝室(41),所述第一驅動桿(44)貫穿于所述傳動塊(65)延伸至所述安裝架(43)的內部,所述第一驅動桿(44)與所述安裝架(43)之間螺紋連接。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





