[發明專利]一種清洗機用無底籃

在審

• 申請號: 201811277389.9
• 申請日: 2018-10-30
• 公開（公告）號: CN109365392A
• 公開（公告）日: 2019-02-22
• 發明（設計）人: 魏澤武;周炎;王海慶
• 申請（專利權）人: 鎮江環太硅科技有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;B08B13/00;B23P15/00;C22C38/02;C22C38/04;C22C38/42;C22C38/00;C22C38/44;C22C38/50
• 代理公司: 南京利豐知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32256
• 代理人: 任立

本發明涉及一種清洗機用無底籃，屬于單晶硅加工技術領域。該清洗機用無底籃，包括長方體狀的支撐框架、支撐底架、和橫桿，支撐底架水平設置在支撐框架的中下部，橫桿水平設置在支撐框架上端與支撐底架之間，橫桿至少為四根；支撐底架包括長方形底框和底桿，底桿均勻間隔的平行設置在長方形底框上；支撐底架中含有C，Cr，Si，Zn，Fe等原料；再通過熔煉、連鑄連軋、熱處理、噴涂耐腐蝕涂層等工藝，最終與支撐框架組裝，制得清洗機用無底籃。本發明的清洗機用無底籃由于支撐框架底部沒有網格狀金屬絲的阻擋，超聲波直接對支撐底架上的硅片進行清洗，增強了超聲波清洗機的超聲效果，并且增強了清洗能力和效率，減少了清洗成本。

技術領域

本發明涉及一種清洗機用無底籃，屬于單晶硅加工技術領域。

背景技術

近年來，隨著科技的快速發展，對于單晶硅、多晶硅和壓電陶瓷等硬脆材料的需求急速上升。而超聲波清洗機作為單晶硅、多晶硅生產過程中清洗硅片的主要清洗設備，由于其具備清洗效率高、穩定性好等優點而得到越來越廣泛的應用。

目前超聲波清洗機使用的是網格狀花籃裝載待清洗硅片，此花籃在使用過程，由于底部有網格狀金屬絲，會阻擋部分超聲效果，不利于清洗，并且由于經常處于超聲波清洗機中，經常容易受到腐蝕，使用壽命短，需要經常更換。

發明內容

本發明要解決的技術問題是，針對現有技術不足，提出一種清洗效果好，使用壽命長的清洗機用無底籃。

本發明為解決上述技術問題提出的技術方案是：一種清洗機用無底籃，包括長方體狀的支撐框架、支撐底架、和橫桿，支撐底架水平設置在支撐框架的中下部，橫桿水平設置在支撐框架上端與支撐底架之間，橫桿至少為四根；支撐底架包括長方形底框和底桿，底桿均勻間隔的平行設置在長方形底框上；

支撐底架中各組分的質量百分比成分為：C：0.02-0.04%，Cr：0.01-0.08%，Si：0.01-0.02%，Mn：1.02-1.05%，Zn：0.43-0.55%，Cu：0.17-0.31%，Ag：0.16-0.18%，Au：0.02-0.05%，Pt：0.03-0.07%，Ni：0.15-0.36%，W：0.05-0.11%，Mo：0.05-0.12%，Nd：0.02-0.04%，Ce：0.01-0.03%，Eu：0.01-0.07%，Lu:0.31-0.43%，Ti：0.57-0.92%，碳化鎢:0.13-0.26%，余量為Fe；

支撐底架的加工工藝包括以下步驟：

（1）熔煉原料：按支撐底架預定的各成分的質量百分比將原料加入熔爐內，原料被熔煉形成合金溶液；

（2）連鑄連軋：將熔煉形成合金溶液送入連鑄機進行連鑄連軋制得管材；

（3）將制得的管材根據支撐底架的需要進行切割，值得支撐底架用管材；

（4）將支撐底架用管材進行焊接組裝，值得支撐底架；

（5）將支撐底架的焊接處進行打磨和拋光；

（6）將打磨和拋光后的支撐底架進行熱處理，具體工藝為：

A、加熱：將支撐底架加熱至650-660℃，并保溫45-50min；

B、冷卻：采用水冷以18-22℃/s的冷卻速率將支撐底架冷卻至室溫；

C、一次回火：將支撐底架加熱至600-650℃回火45-55min后，待溫35-45s，使支撐底架的溫度均勻化，之后以8-10℃/s的冷卻速率風冷至室溫；

D、二次回火：將支撐底架加熱至600-650℃回火10-15min后空冷至室溫；