[發明專利]鍍覆裝置及鍍覆方法

有效

• 申請號: 201811277023.1
• 申請日: 2018-10-30
• 公開（公告）號: CN109722704B
• 公開（公告）日: 2021-04-27
• 發明（設計）人: 張紹華;增田泰之;藤方淳平;下山正;中田勉
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: C25D21/10
• 分類號: C25D21/10;C25D17/00
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 張麗穎

1.一種鍍覆裝置，對基板進行鍍覆，其特征在于，具有：

鍍覆槽，該鍍覆槽構成為收納鍍覆液；

攪動件，該攪動件構成為配置于所述鍍覆槽的內部，并且沿著所述基板的表面在往復方向上移動而對所述鍍覆液進行攪拌；

支承部件，該支承部件支承所述攪動件的第一端部；

第一磁石，該第一磁石設置于所述攪動件；以及

第二磁石，該第二磁石設置于所述鍍覆槽，

所述第一磁石和所述第二磁石構成為，在所述攪動件移動的期間，互相施加磁力，以抑制所述攪動件的與所述第一端部相反的一側的第二端部向靠近所述基板的方向和遠離所述基板的方向振動，

所述第二磁石包括：基板側磁石，該基板側磁石配置于所述第一磁石的所述基板側；以及相反側磁石，該相反側磁石配置于所述第一磁石的與所述基板側相反的一側，

所述第一磁石設置于所述攪動件的所述第二端部的端面，并被夾在所述基板側磁石與所述相反側磁石之間，

所述第一磁石的第一極朝向所述基板側磁石，所述第一磁石的第二極朝向所述相反側磁石，

所述基板側磁石和所述相反側磁石分別被配置成相對于所述第一磁石施加排斥的磁力。

2.根據權利要求1所述的鍍覆裝置，其特征在于，

所述攪動件具有格子部，該格子部從所述第一端部向所述第二端部延伸，

所述格子部至少具有相對于所述攪動件的移動方向既不成直角也不平行的面。

3.一種鍍覆方法，對基板進行鍍覆，其特征在于，具有以下工序：

在鍍覆槽收納基板以及陽極；

支承攪動件的第一端部；

在所述攪動件設置第一磁石；

在所述鍍覆槽設置第二磁石；

使所述攪動件沿所述基板的表面在往復方向上移動而對收納在所述鍍覆槽的鍍覆液進行攪拌；以及

在所述攪動件移動的期間，所述第二磁石對所述第一磁石施加磁力，以抑制所述攪動件的與所述第一端部相反的一側的第二端部向靠近所述基板的方向和遠離所述基板的方向振動，

在設置所述第二磁石的工序中，包含以下工序：將基板側磁石配置于所述第一磁石的基板側，將相反側磁石配置于所述第一磁石的與所述基板側相反的一側，將所述第一磁石夾在所述基板側磁石與所述相反側磁石之間，

在設置所述第一磁石的工序中，包含以下工序：以所述第一磁石的第一極朝向所述基板側磁石、所述第一磁石的第二極朝向所述相反側磁石的方式將所述第一磁石設置于所述攪動件的所述第二端部的端面，

在設置所述第二磁石的工序中，包含以下工序：將所述基板側磁石和所述相反側磁石分別配置成相對于所述第一磁石施加排斥的磁力。

4.根據權利要求3所述的鍍覆方法，其特征在于，

所述攪動件具有格子部，該格子部從所述第一端部向所述第二端部延伸，

所述格子部至少具有相對于所述攪動件的移動方向既不成直角也不平行的面。