[發明專利]一種蒸鍍腔體

有效

• 申請號: 201811271840.6
• 申請日: 2018-10-29
• 公開（公告）號: CN109321886B
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發明（設計）人: 張瑞軍;伍豐偉;王松
• 申請（專利權）人: TCL華星光電技術有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04;C23C14/50
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

本發明提供一種蒸鍍腔體設計，包括基板夾持裝置、基板對位裝置、磁鐵、冷板、曝光掩膜、蒸鍍坩堝加熱裝置、轉動裝置以及壓力傳感器；所述壓力傳感器均勻對稱的排布在冷板的下表面，通過預設壓力傳感器的數值來控制基板的壓合，通過各個壓力傳感器的差值來判斷基板的壓合狀態；本發明保證了每片玻璃基板受到的壓合量相同，且該壓合量設計在合理范圍內，既可以保證基板不發生偏移，又可以保證基板不會因壓合量過大而產生破片，極大的提高了蒸鍍制程的成功率。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種蒸鍍設備的腔體。

背景技術

顯示面板，如有機發光二極管(Organic Light-Emitting Diode，簡稱：OLED)因其在固態照明和平板顯示的方向擁有巨大的發展潛力而得到了學術界和產業界的極大關注。有機發光二極管(OLED)平板可以做的更輕更薄，因而柔性顯示技術將是未來的發展趨勢。

目前有機發光二極管(OLED)制程，多采用蒸鍍設備執行。其制備方法為，將玻璃基板與曝光掩膜(Mask)緊貼，靠Mask與冷板的夾持力跟隨Mask與冷板進行同步旋轉鍍膜。而目前Mask與冷板的間距是預先設定的一個固定值，其值為玻璃基板的厚度。但玻璃基板有一定的厚度偏差，例如：當前0.5mm的玻璃基板的偏差為±0.05mm。因此，當Mask與冷板間距設置為固定的玻璃基板厚度時，厚度較厚的基板將會受到較大的夾持力，若基板存在前制程造成的微型裂紋，則很容易導致壓合破片；厚度較薄的基板，將會受到較小的夾持力，造成玻璃基板制程時出現偏移，對制程造成影響。

發明內容

本發明提供一種蒸鍍腔體，能夠改善現有技術的蒸鍍設備中Mask與冷板之間的距離值為固定設置，因而容易導致壓合破片或玻璃基板制程時出現偏移的缺陷。

為解決上述問題，本發明提供的技術方案如下：

一種蒸鍍腔體，包括:

蒸鍍坩堝加熱裝置，設置于所述蒸鍍腔體底部；

曝光掩膜，放置于所述蒸鍍坩堝加熱裝置的上方；

基板夾持裝置，對稱設置于所述蒸鍍腔體兩側，所述基板夾持裝置用以夾持基板，并將所述基板放置在所述曝光掩膜上方；

冷板，位于所述基板的上方，所述冷板的下表面設置有壓力傳感器，所述壓力傳感器具有預設定的壓力值，通過預設定得壓力值來控制所述冷板與所述基板的壓合量，保證每片基板所受到的壓合量相同；

根據本發明實施例所提供的蒸鍍腔體，所述壓力傳感器均勻對稱排布在所述冷板下表面。

根據本發明實施例所提供的蒸鍍腔體，當所述壓力傳感器，所感應到的壓力值到達預設定的壓力值時，所述冷板將停止壓合。

根據本發明實施例所提供的蒸鍍腔體，當各個所述壓力傳感器所感應到的壓力值的最大值與最小值的差值到達預設定的壓力差值時，發出壓力差值預警提醒。

根據本發明實施例所提供的蒸鍍腔體，所述基板送入所述蒸鍍腔體后，所述基板夾持裝置將所述基板承接夾持，所述曝光掩膜上移至距離所述基板5毫米位置，通過基板對位裝置調節所述基板夾持裝置移動，完成所述基板與所述曝光掩膜對位。

根據本發明實施例所提供的蒸鍍腔體，所述冷板通過伺服馬達控制向下移動進行壓合。

根據本發明實施例所提供的蒸鍍腔體，所述腔體內設置有磁鐵，所述磁鐵上表面設置有轉動裝置，所述磁鐵將冷板吸附在其下表面，所述轉動裝置帶動所述磁鐵、所述冷板、所述基板、所述曝光掩膜一起轉動。

根據本發明實施例所提供的蒸鍍腔體，完成蒸鍍制程后，所述冷板向上移動，所述曝光掩膜放置裝置向下移動使所述基板與所述冷板分離，所述基板夾持裝置將所述基板進行夾持承接。