[發明專利]光信號采集裝置和刻蝕設備

有效

• 申請號: 201811267644.1
• 申請日: 2018-10-29
• 公開（公告）號: CN111105972B
• 公開（公告）日: 2022-11-25
• 發明（設計）人: 侯文潭;郭士選;曹永友;樓豐瑞;石鍺元
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;姜春咸

1.一種光信號采集裝置，所述光信號采集裝置包括安裝套筒、光信號收集件和透光件，所述光信號收集件包括導光腔，所述光信號收集件的導光腔的入口形成在所述光信號收集件的一端，其特征在于，所述安裝套筒的一端與所述光信號收集件上形成有所述導光腔的入口的一端固定連接，所述透光件設置在所述安裝套筒內或所述安裝套筒和所述光信號收集件之間，且從安裝套筒的內腔出射的光能夠穿過所述透光件進入所述導光腔；

所述光信號收集件包括收集本體和第一固定凸緣，所述導光腔形成在所述收集本體中，所述第一固定凸緣設置在所述光信號收集件上形成有所述導光腔的入口的一端，且環繞收集本體的外表面設置；

所述光信號采集裝置還包括具有第一安裝孔的壓環，所述收集本體穿過所述第一安裝孔，以使得所述壓環環繞所述收集本體設置，且所述第一安裝孔的直徑小于所述第一固定凸緣的外徑，并且，所述壓環通過緊固件與所述安裝套筒固定連接。

2.根據權利要求1所述的光信號采集裝置，其特征在于，所述安裝套筒包括安裝筒部和第二固定凸緣，所述第二固定凸緣設置在安裝筒部用于與所述光信號收集件固定的一端，且環繞所述安裝筒部的外表面設置，所述第二固定凸緣與所述壓環相對設置，所述緊固件連接所述第二固定凸緣和所述壓環。

3.根據權利要求2所述的光信號采集裝置，其特征在于，所述壓環上形成有第一頂絲孔，所述第一頂絲孔沿厚度方向貫穿所述壓環；

所述第二固定凸緣上形成有第二頂絲孔，所述第二頂絲孔沿厚度方向貫穿所述第二固定凸緣，且所述第一頂絲孔與所述第二頂絲孔同軸設置；

其中，所述第一頂絲孔和所述第二頂絲孔中的一者為螺紋孔，另一者為光孔，所述光孔的直徑不小于所述螺紋孔的外徑；

所述光信號采集裝置還包括頂絲，所述頂絲表面形成有頂絲螺紋，且所述頂絲螺紋能夠與所述螺紋孔相匹配，所述頂絲的長度滿足所述頂絲的一端能夠旋出所述第二頂絲孔背離所述壓環的一端。

4.根據權利要求1至3中任意一項所述的光信號采集裝置，其特征在于，所述光信號采集裝置還包括安裝板，所述安裝板包括安裝板本體和形成在所述安裝板本體上的結構孔，所述結構孔沿安裝板的厚度方向貫穿所述安裝板，所述結構孔包括同軸的容納孔和透光孔，所述容納孔的一個開口和所述透光孔的一開口分別形成在所述安裝板的兩個相對表面上；

所述透光件的至少一部分容納在所述容納孔中；

所述安裝套筒朝向光信號收集件的端面上形成有安裝槽，所述安裝板形成有容納孔的表面位于所述安裝槽中，所述安裝板本體與所述安裝套筒固定連接，以固定所述透光件。

5.根據權利要求1至3中任意一項所述的光信號采集裝置，其特征在于，所述安裝套筒由金屬材料制成。

6.根據權利要求5所述的光信號采集裝置，其特征在于，所述安裝套筒的內腔表面設置有防腐蝕層。

7.一種刻蝕設備，包括刻蝕腔和光信號采集裝置，其特征在于，所述光信號采集裝置為權利要求1至6中任意一項所述的光信號采集裝置，所述刻蝕腔的壁上形成有貫穿壁厚的第二安裝孔，所述安裝套筒的一部分設置在所述第二安裝孔中，以使得所述安裝套筒遠離所述光信號收集件的一端位于所述第二安裝孔中。

8.根據權利要求7所述的刻蝕設備，其特征在于，所述光信號采集裝置為權利要求2所述的光信號采集裝置，所述安裝套筒的安裝筒部設置在所述第二安裝孔中，所述安裝套筒的第二固定凸緣與所述刻蝕腔的壁的外側可拆卸地固定連接。

9.根據權利要求8所述的刻蝕設備，其特征在于，所述第二固定凸緣與所述刻蝕腔的壁的外表面之間形成密封。