[發明專利]光掩模及其制作方法和制作顯示器件的方法

有效

• 申請號: 201811260306.5
• 申請日: 2018-10-26
• 公開（公告）號: CN109407461B
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發明（設計）人: 謝昌翰;舒適
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G03F1/38
• 分類號: G03F1/38;G09F9/30
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 趙天月

本發明提供了光掩模及其制作方法和制作顯示器件的方法。該光掩模包括：基板；圖案化遮光層，所述圖案化遮光層設置在所述基板的表面上；平坦化層，所述平坦化層與所述圖案化遮光層位于所述基板的同一表面上，且覆蓋所述圖案化遮光層；以及準直結構，所述準直結構設置在所述平坦化層遠離所述基板的表面上。該光掩模對光具有自準直功能，可適用于對光的準直度要求高的應用環境，進而可使得柔性顯示器中的聚合物墻在制作時無需準直光源，使得聚合物墻的生產更加簡便，且生產設備的集成化高，可顯著降低柔性顯示器中聚合物墻的生產成本。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，具體的，涉及光掩模及其制作方法和制作顯示器件的方法。

背景技術

在相關技術中，聚合物墻用于支撐和粘附柔性顯示器的上基板和下基板，同時聚合物墻還可以在柔性顯示器彎折時用于固定液晶盒厚，確保顯示質量。為了實現較小的線寬和較高的外觀準直度，聚合物墻在制作過程中必須經過高度準直的光進行照射。然而，目前行業內缺少大型準直光設備，導致聚合物墻的制作難度較高。

因而，現有的制作聚合物墻的相關技術仍有待改進。

發明內容

本發明旨在至少在一定程度上解決相關技術中的技術問題之一。為此，本發明的一個目的在于提出一種對光具有自準直功能、可適用于對光的準直度要求高的應用環境、可使得柔性顯示器中的聚合物墻在制作時無需準直光源、使得聚合物墻的生產更加簡便、生產設備的集成化高、或者可顯著降低柔性顯示器中聚合物墻的生產成本的光掩模。

在本發明的一個方面，本發明提供了一種光掩模。根據本發明的實施例，該光掩模包括：基板；圖案化遮光層，所述圖案化遮光層設置在所述基板的表面上；平坦化層，所述平坦化層與所述圖案化遮光層位于所述基板的同一表面上，且覆蓋所述圖案化遮光層；以及準直結構，所述準直結構設置在所述平坦化層遠離所述基板的表面上。由于該光掩模包括準直結構，故該光掩模對光具有自準直功能，可適用于對光的準直度要求高的應用環境，進而可使得柔性顯示器中的聚合物墻在制作時無需準直光源，使得聚合物墻的生產更加簡便，且生產設備的集成化高，可顯著降低柔性顯示器中聚合物墻的生產成本。

根據本發明的實施例，所述準直結構包括光子晶體層。

根據本發明的實施例，形成所述光子晶體層的材料包括壓印膠或無機材料。

根據本發明的實施例，所述光子晶體層滿足以下條件的至少之一：厚度為30nm～1mm；光子晶體單元之間的間隔為10nm～5μm。

在本發明的另一個方面，本發明提供了一種制作前面所述的光掩模的方法。根據本發明的實施例，該方法包括：在基板的表面上形成圖案化遮光層；在所述基板與所述圖案化遮光層同一側的表面上形成平坦化層；在所述平坦化層遠離所述基板的表面上形成準直結構，以便得到所述光掩模。該方法操作簡單、方便，容易實現，易于工業化生產，且制作所得的光掩模由于包括準直結構，因此制作所得的光掩模對光具有自準直功能，可適用于對光的準直度要求高的應用環境，進而可使得柔性顯示器中的聚合物墻在制作時無需準直光源，使得聚合物墻的生產更加簡便，且生產設備的集成化高，可顯著降低柔性顯示器中聚合物墻的生產成本。

根據本發明的實施例，所述準直結構為光子晶體層，形成所述光子晶體層的步驟包括：在所述平坦化層遠離所述基板的表面上形成第一壓印膠層；對所述第一壓印膠層進行第一納米壓印處理，以便得到所述光子晶體層。

根據本發明的實施例，在形成所述第一壓印膠層之后，進行所述第一納米壓印處理之前，進一步包括：將所述第一壓印膠層進行第一預固化處理。

根據本發明的實施例，所述準直結構為光子晶體層，形成所述光子晶體層的步驟包括：在所述平坦化層遠離所述基板的表面上形成無機材料層；在所述無機材料層遠離所述平坦化層的表面上形成第二壓印膠層；將所述第二壓印膠層進行第二納米壓印處理，得到刻蝕保護層；以所述刻蝕保護層為掩膜版，對所述無機料層進行刻蝕處理，以便得到所述光子晶體層；去除所述刻蝕保護層。