[發明專利]蒸鍍設備及其調磁裝置

有效

• 申請號: 201811256677.6
• 申請日: 2018-10-26
• 公開（公告）號: CN109295421B
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 楊濤
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

本發明公開一種蒸鍍設備及其調磁裝置，所述調磁裝置包括：一板體；數個電磁件，均勻分布于所述板體的一表面；及數個電驅動組件，將所述數個電磁件可移動地結合于所述板體，使所述各電磁件在一平面上沿二維方向移動。

技術領域

本發明是有關于一種蒸鍍設備，特別是有關于一種可調節磁力分布的蒸鍍設備及其調磁裝置。

背景技術

現今，蒸鍍設備應用廣泛，舉例而言，有機發光二極管(OLED)生產技術采用真空蒸鍍工藝，以生產具有色彩鮮艷、高對比度、功耗低、可柔等諸多優點的OLED顯示器，蒸鍍環節的品質優劣直接影響產品的生產產能和成本。

在OLED顯示器生產過程中，通過蒸鍍設備中的磁性板(Magnet Plate)提供的磁力，致使基板(Mask base)與金屬掩模(Metal Mask)貼合，以便將蒸鍍材料(如有機電致發光材料)準確地鍍在所述基板上的對應位置，以形成發光層。如果基板與金屬掩模貼合處存在間隙，則會導致基板的蒸鍍品質不好，從而降低良品率。特別是，在高世代的蒸鍍線上及玻璃基板較大的情況下，對磁性板的磁力大小和均勻性有很高要求。

但是，目前實際應用中，在磁性板(如以永磁鐵排布拼裝定位)完成裝機后，所述磁性板的磁力強弱和均勻性已被定型，無法根據生產中的不同產品尺寸和良率優化等需求調整磁力分布。

因此，現有技術存在缺陷，急需改進。

發明內容

有鑒于此，本發明提供一種蒸鍍設備及其調磁裝置，可調節磁力分布，以解決現有技術在蒸鍍設備裝機后的磁力分布無法調整的問題。

本發明的一方面提供一種調磁裝置，用于一蒸鍍設備，所述調磁裝置包括：一板體；數個電磁件，均勻分布于所述板體的一表面；及數個電驅動組件，將所述數個電磁件可移動地結合于所述板體，使所述各電磁件在一平面上沿二維方向移動。

在一些實施例中，所述調磁裝置還包括：一控制器，電性連接所述電磁件及所述電驅動組件，所述控制器傳輸數個控磁信號到所述數個電磁件，所述控磁信號由一軟件調節。

在一些實施例中，所述控制器傳輸數個移控信號到所述數個電驅動組件，所述移控信號由所述軟件調節。

在一些實施例中，所述數個電磁件陣列分布于所述板體的所述表面。

在一些實施例中，所述各電驅動組件為一電動二維移動平臺，所述電動二維移動平臺結合于所述數個電磁件中的一個與所述板體之間。

在一些實施例中，所述電動二維移動平臺具有一固定座、二螺桿、二馬達及一滑臺，所述固定座結合于所述板體，所述二螺桿設置在所述固定座且分別沿所述二維方向延伸，所述二馬達分別轉動地耦合所述二螺桿，所述二螺桿與所述滑臺螺紋地耦合，所述滑臺結合所述數個電磁件中的一個。

在一些實施例中，所述數個電磁件中的一個與相鄰的另一電磁件之間的一間距，且所述數個電磁件中的一個在所述平面上具有一定位點，所述定位點移向所述相鄰的另一電磁件的一最大行程距離小于所述間距。

在一些實施例中，所述電磁件具有一鐵芯及數個線圈繞組，所述線圈繞組纏繞于所述鐵芯。

在一些實施例中，所述板體為用于所述蒸鍍設備中的一軛板。

本發明的另一方面提供一種蒸鍍設備，包括一腔體及如上所述的調磁裝置，所述調磁裝置設置于所述腔體內。

與現有技術相比較，本發明的蒸鍍設備及其調磁裝置通過所述電驅動組件將所述數個電磁件可移動地結合于所述板體，使所述各電磁件的位置及磁力特征均可改變。與其他蒸鍍設備的磁板(如固定所有磁鐵位置)相較，本發明的蒸鍍設備及其調磁裝置可以即時調整磁力分布以符合生產需求，可以避免磁力分布無法調整導致低良品率。

附圖說明