[發明專利]蒸鍍設備及其調磁裝置

有效

• 申請號: 201811256677.6
• 申請日: 2018-10-26
• 公開（公告）號: CN109295421B
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 楊濤
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

1.一種調磁裝置，用于一蒸鍍設備，其特征在于：所述調磁裝置包括：

一板體；

數個電磁件，均勻分布于所述板體的一表面；及

數個電驅動組件，將所述數個電磁件可移動地結合于所述板體，所述各電驅動組件為一電動二維移動平臺，所述電動二維移動平臺結合于所述數個電磁件中的一個與所述板體之間，使所述各電磁件在一平面上沿二維方向移動。

2.如權利要求1所述的調磁裝置，其特征在于：所述調磁裝置還包括：

一控制器，電性連接所述電磁件及所述電驅動組件，所述控制器傳輸數個控磁信號到所述數個電磁件，所述控磁信號由一軟件調節。

3.如權利要求2所述的調磁裝置，其特征在于：所述控制器傳輸數個移控信號到所述數個電驅動組件，所述移控信號由所述軟件調節。

4.如權利要求1所述的調磁裝置，其特征在于：所述數個電磁件陣列分布于所述板體的所述表面。

5.如權利要求1所述的調磁裝置，其特征在于：所述電動二維移動平臺具有一固定座、二螺桿、二馬達及一滑臺，所述固定座結合于所述板體，所述二螺桿設置在所述固定座且分別沿所述二維方向延伸，所述二馬達分別轉動地耦合所述二螺桿，所述二螺桿與所述滑臺螺紋地耦合，所述滑臺結合所述數個電磁件中的一個。

6.如權利要求1所述的調磁裝置，其特征在于：所述數個電磁件中的一個與相鄰的另一電磁件之間的一間距，且所述數個電磁件中的一個在所述平面上具有一定位點，所述定位點移向所述相鄰的另一電磁件的一最大行程距離小于所述間距。

7.如權利要求1所述的調磁裝置，其特征在于：所述電磁件具有一鐵芯及數個線圈繞組，所述線圈繞組纏繞于所述鐵芯。

8.如權利要求1所述的調磁裝置，其特征在于：所述板體為用于所述蒸鍍設備中的一軛板。

9.一種蒸鍍設備，包括一腔體，其特征在于：包括如權利要求1至8任一項所述的調磁裝置，所述調磁裝置設置于所述腔體內。