[發(fā)明專利]蒸鍍設(shè)備及其調(diào)磁裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811256677.6
• 申請日: 2018-10-26
• 公開（公告）號: CN109295421B
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊濤
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

1.一種調(diào)磁裝置，用于一蒸鍍設(shè)備，其特征在于：所述調(diào)磁裝置包括：

一板體；

數(shù)個(gè)電磁件，均勻分布于所述板體的一表面；及

數(shù)個(gè)電驅(qū)動組件，將所述數(shù)個(gè)電磁件可移動地結(jié)合于所述板體，所述各電驅(qū)動組件為一電動二維移動平臺，所述電動二維移動平臺結(jié)合于所述數(shù)個(gè)電磁件中的一個(gè)與所述板體之間，使所述各電磁件在一平面上沿二維方向移動。

2.如權(quán)利要求1所述的調(diào)磁裝置，其特征在于：所述調(diào)磁裝置還包括：

一控制器，電性連接所述電磁件及所述電驅(qū)動組件，所述控制器傳輸數(shù)個(gè)控磁信號到所述數(shù)個(gè)電磁件，所述控磁信號由一軟件調(diào)節(jié)。

3.如權(quán)利要求2所述的調(diào)磁裝置，其特征在于：所述控制器傳輸數(shù)個(gè)移控信號到所述數(shù)個(gè)電驅(qū)動組件，所述移控信號由所述軟件調(diào)節(jié)。

4.如權(quán)利要求1所述的調(diào)磁裝置，其特征在于：所述數(shù)個(gè)電磁件陣列分布于所述板體的所述表面。

5.如權(quán)利要求1所述的調(diào)磁裝置，其特征在于：所述電動二維移動平臺具有一固定座、二螺桿、二馬達(dá)及一滑臺，所述固定座結(jié)合于所述板體，所述二螺桿設(shè)置在所述固定座且分別沿所述二維方向延伸，所述二馬達(dá)分別轉(zhuǎn)動地耦合所述二螺桿，所述二螺桿與所述滑臺螺紋地耦合，所述滑臺結(jié)合所述數(shù)個(gè)電磁件中的一個(gè)。

6.如權(quán)利要求1所述的調(diào)磁裝置，其特征在于：所述數(shù)個(gè)電磁件中的一個(gè)與相鄰的另一電磁件之間的一間距，且所述數(shù)個(gè)電磁件中的一個(gè)在所述平面上具有一定位點(diǎn)，所述定位點(diǎn)移向所述相鄰的另一電磁件的一最大行程距離小于所述間距。

7.如權(quán)利要求1所述的調(diào)磁裝置，其特征在于：所述電磁件具有一鐵芯及數(shù)個(gè)線圈繞組，所述線圈繞組纏繞于所述鐵芯。

8.如權(quán)利要求1所述的調(diào)磁裝置，其特征在于：所述板體為用于所述蒸鍍設(shè)備中的一軛板。

9.一種蒸鍍設(shè)備，包括一腔體，其特征在于：包括如權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述的調(diào)磁裝置，所述調(diào)磁裝置設(shè)置于所述腔體內(nèi)。