[發明專利]一種非導體陶瓷材料無荷電平衡電壓的計算方法有效
| 申請號： | 201811252842.0 | 申請日： | 2018-10-25 |
| 公開（公告）號： | CN111103316B | 公開（公告）日： | 2021-05-25 |
| 發明（設計）人： | 王墉哲;林初城;張積梅;姜彩芬;曾毅 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海硅酸鹽研究所 |
| 主分類號： | G01N23/2251 | 分類號： | G01N23/2251 |
| 代理公司： | 上海瀚橋專利代理事務所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;鄒蘊 |
| 地址： | 200050 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 非導體 陶瓷材料 無荷電 平衡 電壓 計算方法 | ||
1.一種非導體陶瓷材料無荷電平衡電壓的計算方法，包括：
將非導體陶瓷材料的待檢樣品置于掃描電鏡的樣品臺上，并設置X射線能譜分析的最佳工作距離；
所述掃描電鏡入射加速電壓在最低值至5KV的范圍內以規定間隔連續變化，并分別在不同的所述入射加速電壓下采集X射線能譜信號；
將采集的所述X射線能譜信號的全部計數點存儲為TXT格式并導入Matlab程序中，依據X射線能量上限Duane-Hunt原理，采用線性擬合計算各所述X射線能譜信號所對應的能譜譜線的上限電壓，即對能譜譜線尾端的計數點進行線性擬合；
將計算得到的所述上限電壓導入至Matlab程序中進行分段線性擬合，并計算出分段擬合曲線與理論直線的兩個交點值，所述兩個交點值為所述待檢樣品的無荷電平衡電壓。
2.根據權利要求1所述的非導體陶瓷材料無荷電平衡電壓的計算方法，其特征在于，
所述待檢樣品是將非導體陶瓷材料拋光后的表面或截面。
3.根據權利要求1所述的非導體陶瓷材料無荷電平衡電壓的計算方法，其特征在于，
所述掃描電鏡的放大倍數小于1000×。
4.根據權利要求1所述的非導體陶瓷材料無荷電平衡電壓的計算方法，其特征在于，
所述入射加速電壓的最低值為350V，所述規定間隔為100V以下。
5.根據權利要求1所述的非導體陶瓷材料無荷電平衡電壓的計算方法，其特征在于，
調節并固定入射電子束的電流值為0.2nA，采集所述X射線能譜信號的全部計數高于500e-，采集時間不超過500s。
6.根據權利要求1所述的非導體陶瓷材料無荷電平衡電壓的計算方法，其特征在于，
操作時，選取所述能譜譜線的尾端的所述上限電壓的100以上的計數點導入Matlab程序中進行線性擬合。
7.根據權利要求1所述的非導體陶瓷材料無荷電平衡電壓的計算方法，其特征在于，
所述計數點呈明顯線性收斂，且擬合后的擬合相關系數大于0.95；若所述擬合相關系數為0.95以下時，增加入射電子束的電流或延長采集時間。
8.根據權利要求1所述的非導體陶瓷材料無荷電平衡電壓的計算方法，其特征在于，
對所述上限電壓以1KV為分割點進行所述分段線性擬合，選擇所述分割點時，應保證兩段線性擬合相關系數均大于0.95。
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