[發明專利]一種微米線寬的四軸激光精密加工裝置

有效

• 申請號: 201811252259.X
• 申請日: 2018-10-26
• 公開（公告）號: CN109014629B
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發明（設計）人: 徐金龍
• 申請（專利權）人: 上海費米激光科技有限公司
• 主分類號: B23K26/70
• 分類號: B23K26/70
• 代理公司: 北京化育知識產權代理有限公司 11833
• 代理人: 尹均利

1.一種微米線寬的四軸激光精密加工裝置，包括大理石平臺（1），其特征在于：所述大理石平臺（1）的端面上固定設有大理石橫梁（2），所述大理石橫梁（2）為龍門式大理石結構，所述大理石橫梁（2）上的中心位置固定設有第一驅動電機（3），所述第一驅動電機（3）的下方固定設有第一驅動電機固定板（4），所述第一驅動電機固定板（4）固定連接在大理石橫梁（2）上，所述第一驅動電機（3）的驅動端固定連接有第一精密滾珠絲桿（5）并且貫穿第一驅動電機固定板（4），所述第一精密滾珠絲桿（5）上并且位于第一驅動電機固定板（4）的下方螺紋連接有精密Z軸（6），所述精密Z軸（6）滑動連接Z軸滑槽（7），所述Z軸滑槽（7）固定連接在大理石橫梁（2）上，所述精密Z軸（6）另一側壁固定連接有光路（8）并且與Z軸滑槽（7）滑動連接，所述光路（8）的右側固定連接有CCD相機（9），所述CCD相機（9）上固定設有高倍相機鏡頭（10），所述高倍相機鏡頭（10）通過高倍相機鏡頭固定環（11）固定連接在光路（8）上，所述高倍相機鏡頭固定環（11）的右下側并且位于光路（8）上固定連接有研磨塊（12），所述光路（8）下方并且位于大理石平臺（1）的端面上對應設有XY直線驅動平臺（13），所述XY直線驅動平臺（13）上固定設有彈性防護罩（14），所述XY直線驅動平臺（13）的端面上螺紋連接有載物臺（17），所述載物臺（17）的端面上并且與高倍相機鏡頭（10）對應設有高精密旋轉軸（16），所述高精密旋轉軸（16）的旋轉軸心固定連接有旋轉治具（15），所述XY直線驅動平臺（13）的右側并且位于大理石平臺（1）的端面上固定設有控制箱（18），所述光路（8）的內部固定設有光路底座（25），所述光路底座（25）上固定設有紫外激光器（19），所述紫外激光器（19）的下方并且位于光路底座（25）上固定設有三維調整架（20），所述三維調整架（20）的底部固定連接有高倍擴束鏡（21），所述高倍擴束鏡（21）的下方并且位于光路底座（25）上固定設有45°反射鏡組（22），所述45°反射鏡組（22）的右側并且位于光路底座（25）上固定設有振鏡（23），所述振鏡（23）的底部固定連接有遠心場鏡（24），所述XY直線驅動平臺（13）包括第一底板（26）和第二底板（35），所述第一底板（26）和第二底板（35）相互垂直設置，所述第一底板（26）中心位置固定設有第一U型槽直線驅動電機（29），所述第一底板（26）兩端設有第一柔性緩沖（28），所述第一U型槽直線驅動電機（29）的兩側平行安裝兩根第一直線滾動導軌組，所述第一U型槽直線驅動電機（29）和第一直線滾動導軌組之間平行安裝第一高精度光柵尺（31），所述第一直線滾動導軌組安裝第一連接板（32），所述第一連接板（32）側面安裝兩套第一防塵罩（40），所述第一連接板（32）連接第二底板（35）和第一直線滾動導軌組，所述第二底板（35）中心位置固定設有第二U型槽直線驅動電機（39），所述第二底板（35）兩端設有第二柔性緩沖（36），所述第二U型槽直線驅動電機（39）的兩側平行安裝兩根第二直線滾動導軌組，所述第二U型槽直線驅動電機（39）和第二直線滾動導軌組之間平行安裝第二高精度光柵尺（38），所述第二直線滾動導軌組上安裝第二連接板（41），所述第二連接板（41）側面安裝兩套第二防塵罩（33），所述第二連接板（41）螺絲固定載物臺（17）。

2.根據權利要求1所述的一種微米線寬的四軸激光精密加工裝置，其特征在于：所述第一驅動電機（3）為松下A6伺服電機并且電性連接控制箱（18），所述第一U型槽直線驅動電機（29）和第二U型槽直線驅動電機（39）通過松下A6直線電機驅動器驅動，并且電性連接控制箱（18）。

3.根據權利要求1所述的一種微米線寬的四軸激光精密加工裝置，其特征在于：所述第一直線滾動導軌組和第二直線滾動導軌組為SR型。

4.根據權利要求1所述的一種微米線寬的四軸激光精密加工裝置，其特征在于：所述光路（8）結構采用全鋁材質，并在Z軸方向移動。

5.根據權利要求1所述的一種微米線寬的四軸激光精密加工裝置，其特征在于：所述高精密旋轉軸（16）固定連接有驅動電機，并且驅動連接型號為松下A6伺服電機并且電性連接控制箱（18）。