[發(fā)明專利]一種微米線寬的四軸激光精密加工裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811252259.X
• 申請(qǐng)日: 2018-10-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109014629B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-03-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐金龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海費(fèi)米激光科技有限公司
• 主分類號(hào): B23K26/70
• 分類號(hào): B23K26/70
• 代理公司: 北京化育知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11833
• 代理人: 尹均利

本發(fā)明涉及微米線寬的四軸激光精密加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種微米線寬的四軸激光精密加工裝置，包括大理石平臺(tái)，所述大理石平臺(tái)的端面上固定設(shè)有大理石橫梁，所述大理石橫梁上的中心位置固定設(shè)有精密Z軸，所述精密Z軸滑動(dòng)上豎直并固定全鋁材料的光路，所述光路發(fā)射的激光角度可以高速偏轉(zhuǎn)，所述光路側(cè)方固定安裝高分辨率CCD相機(jī)和研磨塊，所述大理石平臺(tái)上固定安裝精密XY直線驅(qū)動(dòng)平臺(tái)，所述精密XY直線驅(qū)動(dòng)平臺(tái)在光路下方，所述精密XY直線驅(qū)動(dòng)平臺(tái)上安裝并固定高精密旋轉(zhuǎn)軸。本發(fā)明解決了平面和圓周面上激光微米級(jí)別高速精密加工的問(wèn)題，可以針對(duì)幾乎所有材料進(jìn)行加工，基本無(wú)熱影響。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及微米線寬的四軸激光精密加工技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種微米線寬的四軸激光精密加工裝置。

背景技術(shù)

目前微米級(jí)別線寬微細(xì)線槽加工，有聚焦離子束、微細(xì)電火花、光刻、超精密機(jī)床加工、激光微細(xì)加工等工藝，其中：聚焦離子束可以加工到納米級(jí)別，效果精細(xì)，但是加工速度非常低，設(shè)備成本過(guò)高；微細(xì)電火花，可以到數(shù)微米，但是微米加工不穩(wěn)定，對(duì)系統(tǒng)環(huán)境要求非常高，材料限制于特定導(dǎo)電材料；光刻，可以達(dá)到納米級(jí)別，但是工藝流程太過(guò)復(fù)雜，成本高昂，限定于特定的材料和加工形式；超精密機(jī)床加工，可以到達(dá)納米級(jí)別，成本高昂，對(duì)環(huán)境要求非常高，針對(duì)一些超硬材料沒(méi)法加工；激光微細(xì)加工，可以加工基本所有材料，線寬理論上到達(dá)百納米級(jí)別，但是目前國(guó)內(nèi)集中于數(shù)十微米尺寸結(jié)構(gòu)加工，沒(méi)有機(jī)床穩(wěn)定加工到微米級(jí)別。

現(xiàn)有激光技術(shù)只能達(dá)到數(shù)十微米級(jí)別，而且加工的線寬和深度不能保證很好的精度，而且有比較明顯的燒蝕。其他技術(shù)，要么受限于材料，比如光刻不能加工鉆石、陶瓷，微細(xì)電火花不能加工陶瓷、玻璃等不導(dǎo)電材料，要么受限于加工精度，微細(xì)電火花在微米尺寸電極不穩(wěn)不能高速持續(xù)加工。

綜上所述，本發(fā)明提出一種微米線寬的四軸激光精密加工裝置來(lái)解決此類存在的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種微米線寬的四軸激光精密加工裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：